【課題】供給側と排気側の何れにも用いることができるパージ用の開閉バルブを備えた基板収納容器及びこれを用いた気体の置換方法を提供する。
【解決手段】貫通孔４２が形成された円筒状のボール開閉弁４０を、下筒１０に回転自在に軸支し、ボール開閉弁４０を収容する保持筒３０を、下筒１０に対して軸線方向に移動可能に収容し、保持筒３０の内壁に、下筒１０を軸線方向に案内する第一カム溝４４と、下筒１０の移動に伴いボール開閉弁４２を回転させる第二カム溝４５とを形成する。そして、第一カム溝４４及び第二カム溝４５の案内によりボール開閉弁４０を回転させ、通常時は、貫通孔４２が軸線方向に対して垂直な方向を向かせることで、容器内部を気密に保持し、保持筒３０に対して下筒１０が容器内部側に移動させて、貫通孔４２が軸線方向に対して平行な方向を向かせることで、容器内外を連通させる。 （もっと読む）

【課題】極めて僅かな制御操作力で制御可能で、閉弁時の漏れ損もない、理想的な方向制御弁装置を提供する。
【解決手段】複数のポペット弁要素３の各々は、ハウジング部材５内を軸方向に移動可能なポペット弁部材７と、カム機構４による押し込みに応じてポペット弁部材７の軸方向に移動する従動部材１５と、ポペット弁部材７と従動部材１５との間に介在され、ポペット弁部材７と従動部材１５との相対変位に応じて撓み量が変化するバネ要素１６とを有し、カム機構４は、複数のポペット弁要素３の内二つのポペット弁要素３を共に駆動するカム部材２４を有し、カム部材２４は、二つのポペット弁要素３の内一方のポペット弁要素３のバネ要素１６の撓み量が増加するときに、他方のポペット弁要素３のバネ要素１６の撓み量が減少するように、二つのポペット弁要素３を駆動するカム山２６を有する。 （もっと読む）

【課題】高圧タンクまたは高圧ガス供給システム内に残存する残存ガスの圧力を低減し、交換作業を容易にする。
【解決手段】圧力調整弁５０は、高圧ガスを貯留する高圧タンク２２，２４と、高圧タンク２２，２４に連結された充填用配管１２，１４、供給用配管１６，１８とを備える高圧ガス供給システム１００内に残存する残存ガスの圧力を調節する調圧部を備え、該調圧部は、残存ガスの排出圧力を調整可能な手動の調圧ハンドルを有する。 （もっと読む）

【課題】流体の流出口または流入口を開閉する弁部の、流出口または流入口に対する移動方向において、小型化を図ることが可能なバルブ機構を提供すること。
【解決手段】バルブ機構４は、内部に弁室１０が形成されるとともに流入口と流出口とが形成される本体部１１と、弾性材料で形成されるとともに流出口を開閉するための弁体１４と、一端側が弁体１４の内部に配置されるとともに他端側が本体部１１の外部に配置されるレバー部材１５とを備えている。弁体１４は、本体部１１に固定されレバー部材１５の揺動動作の支点となる支点部１４ａと、支点部１４ａよりもレバー部材１５の一端側に配置されるとともに弁室１０の内部に配置され流出口を塞ぐ弁部１４ｂとを備えている。弁部１４ｂは、支点部１４ａを支点とするレバー部材１５の揺動動作によって流出口を開閉する。 （もっと読む）

第１の開口のアレイを形成する第１の部分（４０１）と第２の開口のアレイを形成する第２の部分（２）とを備えるバルブ（５０）であって、第１の部分（４０１）が、バルブを通る流体の通過を実質上防止するために第１の開口と第２の開口のアレイが一致しない閉鎖構造と、流体を通過させるために第１の開口と第２の開口のアレイが一致する開放構造との間で、第２の部分（２）に対して横方向に移動可能であり、第１および第２の部分（４０１、２）がバルブ全体にわたる圧力差（５０）に応じて、閉鎖構造で係止するように構成されたバルブ。一実施形態では、第１および第２の部分（４０１、２）が閉鎖構造で係止されると、第１の部分（４０１）はバルブ全体にわたる圧力差によって第２の部分（２）に押し当てられ封止されるように構成することができる。
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【課題】 シール部材の長寿命化を達成することができる開閉バルブを提供すること。
【解決手段】内部を真空に保持可能なチャンバー１１と、排気装置５３、５４との間に設けられる開閉バルブ１００であって、チャンバー１１側と排気装置５３、５４側とを連通する開口１１１を備えた弁本体１１０と、弁本体１１０内にあって開口１１１に接離して開口を開閉する弁体１２０と、弁体１２０に設けられ弁体１２０が開口１１１を閉じた際に開口１１１をシールするシール部材１２０ｂと、弁体を進退させる直進移動手段１４０と、開口１１１から離隔した位置に設けられ、開口１１１から離反した弁体１２０が退避する弁退避部１１３ｂと、弁体１２０を、開口１１１に対応する位置と弁退避部１１３ｂに対応する位置との間で回動させる回動手段１５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 バルブ装置の小型化を図るとともに、電子機器自体の小型化を実現する。
【解決手段】 バルブ装置には、流入口及び流出口を有する流路に対して変位し、変位することにより前記流入口及び前記流出口の少なくとも一方の開度を変えるように動作する弾性を有する弁体部が設けられている。さらに、スライドすることにより弁体部と接触して、弁体部を変位させるスライド部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】操作部材の操作量が微小であるときには、オペレータが操作部材を所望の位置に静止させやすく、また、操作部材の操作範囲全体では、オペレータの肉体的な疲労を十分に軽減できる油圧操作装置の提供。
【解決手段】操作レバー５と、切換弁１４と、操作レバー５と切換弁１４の間に介在して操作レバー５に与えれた操作力を伝達されてスプール１８を操作するロッド９と、ロッド９を初期位置へ付勢するリターンスプリング１１とを備えた油圧操作装置において、ロッド９に受圧面２２を設け、この受圧面２２に出力ポート１７の圧力Ｐｏを導く油路２３を設けて、圧力Ｐｏでロッド９をリターンスプリング１１のばね力Ｆｓに抗する方向へ押圧するようにした。 （もっと読む）