【課題】試料を搭載するトップテーブルの微小振動を抑えて観察像の像質あるいは寸法測定値の精度を向上させることができる試料位置決め技術を提供する。
【解決手段】本発明に係る試料位置決め装置は、トップテーブルを停止させるアクティブブレーキ、アクティブブレーキを囲む内枠、内枠を囲む外枠、およびアクティブブレーキを駆動するアクチュエータを備える。アクチュエータは、アクティブブレーキを駆動してトップテーブルをステージに対して停止させた後、外枠を押圧してトップテーブルの位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、試料ホルダーが有する固有振動を少しでも緩和するゴニオステージを提供することにある。
【解決手段】
本発明のゴニオステージは、試料ホルダーの固有振動を低減するための制振手段を有することを特徴とする。本発明のゴニオステージの好ましい実施態様において、前記制振手段が、コレット機構によるものであることを特徴とする。本発明のゴニオステージの好ましい実施態様において、前記コレット機構が、前記試料ホルダーの軸重心位置で前記試料ホルダーをクランプすることを特徴とする。また、本発明の電子顕微鏡は、本発明のゴニオステージを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置に新たに別の装置を搭載することなく、試料の荷電粒子線の照射領域に生じる帯電を高速に除電する方法を提供する。
【解決手段】試料の測定のために荷電粒子線を照射したのち、次の測定を行う前の段階において、リターディング電圧または／及び加速電圧を調整し、リターディング電圧の値と加速電圧の値の差が、測定時よりも小さくすることで除電を行うよう制御する。
【効果】荷電粒子線装置に別の装置を搭載することなく、試料の荷電粒子線の照射領域に生じる帯電を除電できるため、スループットを低下させることなく除電が可能となる。 （もっと読む）

【課題】複数個の試料を配置し、少なくとも一つの試料台が移動可能であり、試料ホルダ内に配置した全ての試料から高空間分解能で、透過型電子顕微鏡像等を取得可能な荷電粒子装置用試料ホルダを実現する。
【解決手段】試料ホルダ１８の先端部で試料ステージ３０、３１にそれぞれ試料台４０、４１が設置された後、押さえ板４２、４３が試料台４０、４１上に載せられ、その後、固定ネジ４４、４５により試料台４０、４１及び押さえ板４２、４３の両者が試料ステージ３０、３１に固定される。除振機構４６は、試料ホルダ１８の先端部側に配置されている。除振機構４６が試料台４１に接触した状態となることにより試料台４１の振動を防止または抑制することができる。これにより、高空間分解能で、透過型電子顕微鏡像等が取得可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一方の微小移動用駆動機構の駆動に基づく、他方の駆動機構への影響を抑制しつつ、高精度な位置決め、或いは振動抑制を実現することを目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、テーブルとトップテーブルの間に、トップテーブルを支持する支持部材を備え、当該支持部材は、当該支持部材の外枠を形成する第１の部分と、当該第１の部分の内側に配置される第２の部分と、当該第２の部分の更に内側に配置される第３の部分を有し、第１の部分と第２の部分、及び第２の部分と第３の部分とを弾性ヒンジを用いて連結するように構成し、第１の部分を第１の方向に駆動する駆動機構と、前記第２の部分を第２の方向へ駆動する駆動機構とを備えた試料ステージを提案する。 （もっと読む）

【課題】試料ステージ装置における、ギャップの初期状態等の駆動条件に影響されることなく、熱ドリフトや振動によるノイズを抑えることが可能で、安定した試料テーブルの高速な位置決め制御方式を提供する。
【解決手段】試料ステージ装置１０は、ギャップ２５，２６等による駆動条件の影響を受けない所定周期毎の理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)を算出し、この所定周期毎に、レーザー干渉計３３，３４等により構成される位置検出器によるリアルタイムな測定位値ｘ(i) ，ｙ(i)と理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)との偏差ｄｘ(i) ，ｄｙ(i)をリアルタイムに求める構成になっている。その上で、この求められた偏差ｄｘ(i) ，ｄｙ(i)から測定値ｘ(i) ，ｙ(i)が理想的な位置情報ｘtg(i) ， tg(i)に追従するようなモータ２７，２８の速度指令値ｖｘ(i) ，ｖｙ(i)を算出し、リアルタイムな速度制御を行うフィードバック制御により、安定した試料テーブル１１の高速な位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は、不感帯等の存在に依らず、高速且つ安定した位置決めを行う試料ステージの提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料ステージのテーブルと駆動機構との間の結合を機械的に分離可能な結合部と、当該結合部を駆動機構によるテーブルの移動停止の前に分離するように制御する制御装置と、テーブル位置の位置を検出する位置検出器を備え、制御装置は、テーブルの粗動時には位置検出器によるテーブルの位置情報に基づいて、フィードバック制御を実施し、微動時には予め設定した速度変位パターンを用いて前記駆動機構をオープン制御するシーケンス制御を実施する試料ステージを提案する。 （もっと読む）

【課題】試料ステージの可動範囲を狭めることなく振動の影響を防止し荷電粒子発生部と試料ステージとの相対変位を抑制可能な荷電粒子装置を実現する。
【解決手段】荷電粒子装置１は上部に長筒状のカラム２を備えカラム２の下部には内部が空洞の試料室３がある。試料室３は水平方向の振動よりも垂直方向の振動が大きい試料室上部３ａと水平方向の振動が大きい試料室底部３ｂに分かれている。カラム２は荷電粒子銃及び試料検出系を備える。カラム１と試料ステージ５を支持する試料ステージ支持体４とが共に試料室上部３ａに支持され、カラム１の中心軸と試料ステージ支持体４の中心軸とが一致若しくは互いに平行となるように構成されている。環境音がカラム２や試料室３に加わってもカラム２と試料ステージ５が共に試料室上部３ａに固定され、互いに一体となって振動するので、荷電粒子発生部と試料との間に相対変位が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】ダミーウエハを必要とせず、製造コストを低減して、ウエハ装着部を照射イオンビームから保護しかつウエハディスクの処理回転中に発生するウエハの割れ等の問題を回避すること。
【解決手段】ウエハ装着用の複数のディスクパッド22を有するウエハディスク20を備え、このディスク20を円周方向に回転させながら、イオンビームを照射してウエハにイオンを注入するバッチ式イオン注入装置１において、前記ディスク20の円周上に配置されかつウエハを保持するディスクパッド22が、ディスク20に対して反転可能に取り付けられており、ディスクパッド22は、ディスク20の径方向に対して垂直方向に回転軸27を有し、かつディスクパッド22の重心Ｇが、ディスク20の中心方向に偏位した位置にあることを特徴とする。これにより、ウエハが載置されていないディスクパッドを反転させて、照射イオンビームからディスクパッド22を保護し、かつディスク20の偏心による振動の発生をなくす。 （もっと読む）

【課題】試料ステージの位置決め時に用いる複数のブレーキ機構においてそれぞれのギャップが異なるため、同じ駆動指令ではブレーキ機構で発生する制動力に差が生じ試料ステージの位置ずれが発生する。
【解決手段】複数のブレーキ機構それぞれのアクチュエータ３０１を、既定の駆動指令により駆動し、その駆動中にブレーキ機構１２５ａそれぞれの検知機構から出力される接触検知出力に基づいて、ブレーキ機構１２５ａそれぞれのブレーキパッド３０７がブレーキ被制動面１２４ｕに接触したときのブレーキ機構間における既定の駆動指令の状態差Ｖｂａを取得し、この取得した既定の駆動指令の状態差Ｖｂａを基に、ブレーキ機構毎に、ブレーキ作動時のアクチュエータ３０１の駆動状態に該当する最終駆動指令Ｖａｔ，…を決定し、ブレーキ機構１２５ａそれぞれのアクチュエータ３０１を、この決定した対応する前記ブレーキ機構の最終駆動指令により駆動する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料室内を大気開放することなく容易な作業により短時間で差動排気絞りの着脱，位置調整，交換が行え、高分解能化が可能になる環境制御型電子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は上記の目的を達成するために、電子線を放出する電子銃と、電子銃から放出された一次電子線を試料上に集束する対物レンズと、前記対物レンズ下に配置される試料室と、前記試料室内に備えられた試料微動装置と、前記試料室内の真空度を制御する排気系とを備えた電子顕微鏡において、前記試料微動装置に、差動排気絞りを着脱する交換部材を設置し、前記試料微動装置による前記交換部材の駆動により差動排気絞りを前記対物レンズに対して着脱することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料移動ステ−ジの耐振性、特にｙ，ｚ方向の耐振性を向上して分解能を高めることのできる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】ステージロック機構において、ロック軸を押して変位させる駆動軸とロック軸の接触面を楔のように傾けることによって、駆動軸がロック軸を押したときにロック軸が駆動軸とロック板とロック軸受内壁の３つに同時に接触して固定される。これによってロック軸はｘ，ｙおよびｚの全ての方向で固定され、ロック軸に接触固定された試料ステージも固定され、試料ステージの機械的振動が抑制される。 （もっと読む）

【課題】分解能に振動が与える影響を軽減することができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】架台８と、該架台８上にダンパ７を介して支持された支持板１０と、該支持板１０により支持されていて、荷電粒子線を発生させる荷電粒子銃部１及び荷電粒子線を照射する試料を保持する試料ホルダ１１を少なくとも含む被支持要素３０とを備え、支持板１０及び被支持要素３０からなる振動体がその重心Ｇよりも下方にある回転一次中心Ｚ１と該回転一次中心Ｚ１よりも上方にある回転二次中心Ｚ２を有する荷電粒子線装置であって、振動体１００の回転二次中心Ｚ２を、試料ホルダ１１によって試料位置が調整可能な領域内に収める。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料の一部が浮いたように変形したウエハであっても、試料移動時の試料変形に効果的に抑制する試料保持装置、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、試料を第１の高さにて支持する複数の支持台を備えた試料保持装置において、前記試料が配置されていない状態で、前記第１の高さより高い第２の高さに、その先端が位置する接触体と、当該接触体を上下移動可能に支持するガイドと、当該ガイドに支持された前記接触体の先端が、前記第２の高さより下方に移動したときに、前記接触体を上方に押圧する押圧部材を備えた試料保持装置、及び当該試料保持装置を備えた荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、微細振動、ドリフトが起こりにくく、且つテーブルの歪がなく、摺動摩擦力の小さい安価な試料ステージの提供する。
【解決手段】試料ステージは、ベースと、移動テーブルと、前記ベースに対して前記移動テーブルを駆動させるための駆動機構と、前記ベースに対して前記移動テーブルを滑り接触させる固体滑り機構と、前記移動テーブルと前記ベースとの間に設けられ前記移動テーブルの移動方向を拘束する転がり案内機構と、前記移動テーブルと前記転がり案内機構の間に形成された間隙に設けられた弾性部材と、を有する。弾性部材は、前記移動テーブルの荷重を支持するように弾性変形可能であり、且つ、前記移動テーブルの移動方向に直交する方向の前記移動テーブルの移動を拘束するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】構成を複雑化することなくステージの移動時の振動を抑制することが可能なステージ装置を提供する。
【解決手段】ステージ装置は、ステージ機構とカウンタマス機構と制御装置とを有し、制御装置は、ステージ機構を制御するカウンタマス制御ユニットとカウンタマス機構を制御するカウンタマス制御ユニットを有する。カウンタマスの可動平面とステージの可動平面は、互いに平行であり、且つ、互いに隔てられて配置されている。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置の試料を保持するリングばねの飛散をなくし、薄型化かつ操作性の向上を可能にした試料支持装置を提供する。
【解決手段】試料支持台部２０１には、試料押さえ用のあり溝２０２が設けられ、且つ試料固定機構部Ｂは、あり溝と協働して試料２０７を押さえるリングばね２０３を有する。リングばね２０３は、試料の外縁部を押さえるリング部２０３ｂとリング部両端から延びる２本の脚部２０３ａを有する。この２本の脚部を介して、リングばね２０３が試料支持台部２０１から外れないように且つあり溝に対して装脱可能な上下方向の回動動作をなし得るように試料支持装置に取付けられている。リングばね２０３をあり溝２０２に装脱させる場合には、スライダー２０５によりばね脚部２０３ａを少し閉じてリング部２０３ｂの径をあり溝よりも縮めておこなう。 （もっと読む）

【課題】半導体製造分野で用いられる電子顕微鏡装置の試料ステージで要求されるような高いレベルでの位置決め精度やドリフトの低減を可能とする。
【解決手段】制動装置は、ベースに装着されたブレーキレールと、テーブルに装着された１対の制動機構を有する。１対の制動機構はそれぞれブレーキレールに接触する作動部を有する。ブレーキレールの表面に作用する押圧力は、ブレーキレールの表面の法線に対して傾斜して作用する。押圧力を、ブレーキレールの表面に沿った方向の接線分力と法線方向の法線分力に分解することができる。この接線分力は、ブレーキレールに対してテーブルを互いに反対方向に駆動する推力として機能する。 （もっと読む）

【課題】試料等の物体の微小な振動を簡便な手段によって抑制し、以って電子顕微鏡等の荷電粒子線装置の空間分解能を向上させる物体位置決め装置の提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置内に着脱可能な物体を保持し、且つ大気側から前記物体の移動を行う棒状の物体ホルダ２と、前記物体ホルダ２の側面２ａの少なくとも一箇所を摺動可能に支持し、以って前記物体ホルダ２の大気側後端部を自由端とする支持手段１１と、前記物体ホルダ２の大気側後端部に設けられ、該物体ホルダ２の振動を吸収する動吸振部２０とを備える。前記物体ホルダ２の長手方向と直角な方向に対する前記動吸振部２０の並進方向の作用周波数帯域は、前記物体ホルダ２の曲げモードにおける固有振動数を含む。 （もっと読む）