電子顕微鏡
【課題】 電子顕微鏡の性能や取扱性を阻害することなく作業台や観察台を兼用し得るテーブル面を備えたコンパクトなシールドカバー付きの電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 電子顕微鏡であって、鏡筒部２００の下方に配置される凹部空間部３５０と、架台筐体１００に形成される凹状の下肢空間部３６０とを有し、前記凹部空間部３５０と下肢空間部３６０との間には中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出したテーブル面３８０を備えるようにする。
【解決手段】 電子顕微鏡であって、鏡筒部２００の下方に配置される凹部空間部３５０と、架台筐体１００に形成される凹状の下肢空間部３６０とを有し、前記凹部空間部３５０と下肢空間部３６０との間には中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出したテーブル面３８０を備えるようにする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、その周囲をシールドカバーで覆った構造を備えた電子顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡は、観察対象の試料に電子線をあて、それを透過してきた、あるいは反射してきた電子が作り出す干渉像を拡大して観察するタイプの電子顕微鏡であり、物理学、化学、工学、生物学、医学などで幅広く用いられている。この電子顕微鏡は、高い分解能で観察対象を拡大観察するために外部からの振動や気流あるいは塵埃の影響を受けやすいという課題がある。そこで近年の電子顕微鏡では、装置の外周をシールドカバーで覆った構造を備えたものが提案されている。
【０００３】
具体的には、電子銃や試料挿入部などからなる鏡筒部や、この鏡筒部が載置されている架台筐体全体を、シールドカバーによって覆う構造としている。このシールドカバーには、開閉扉が設けてあり、この開閉扉を介して観察対象の試料を鏡筒部にセットする構造としている。そして、観察対象の画像は、モニター装置で観察するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８ー３４２３１号公報
【特許文献２】特開平１１ー１５４４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電子顕微鏡には、大きく分けて、観察対象の試料に電子線をあて、それを透過してきた電子を拡大して観察する透過型電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope; TEM) と、観察対象の試料に電子線をあて、そこから反射してきた電子（または二次電子）から得られる像を観察する走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope; SEM)が知られている。また近年では、両者の特徴を合わせ持つ走査型透過電子顕微鏡 (Scanning Transmission Electron Microscope; STEM) も注目されている。これらの電子顕微鏡では、鏡筒部とこれを支持する架台筐体を含む電子顕微鏡本体部の外観全体をカバーで覆うことで、高い分解能を得やすくすることができる。
【０００６】
しかし、透過型電子顕微鏡では、観察対象の画像をモニター装置で間接的に見るだけでなく、電子顕微鏡本体部に設けられる観察窓部から観察対象の画像を直接観察することが行われている。具体的には、架台筐体のトップ面近傍にテーブル面を形成し、このテーブル面に対峙するように観察者が着座して観察窓部を覗き見る構造としている。
【０００７】
このような、観察対象の画像を直接見るタイプの電子顕微鏡では、観察者が長時間にわたって楽な着座姿勢をとれることが必要であるが、従来の電子顕微鏡本体部全体をシールドカバーで覆う構造では、この課題を解決していない。加えて、シールドカバーで装置全体を覆う従来構造では、シールドカバーの形状を箱形または筒型の直立する壁面を備えた構造としているため、装置が大型化すると、全体のボリュームがより際立ってしまうという課題がある。しかも、このような従来構造では、保守部品や観察対象を借り置きするスペースもないため、作業性にも課題を備えている。
【０００８】
また一方、大型の電子顕微鏡では、本体部をより安定設置するために、脚部を備えた架台筐体の設置面積を大きくする必要がある。これに伴って、架台筐体を覆うシールドカバーも大型化するため、架台筐体の上部に設置される本体部への観察対象の出し入れに際し、この架台筐体が邪魔になってアクセスし難いという課題がある。
【０００９】
そこで、この発明の目的とするところは、電子顕微鏡の性能や取扱性を阻害することなく作業台や観察台を兼用し得るテーブル面を備えたコンパクトなシールドカバー付きの電子顕微鏡を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために、この発明の電子顕微鏡では、鏡筒部と、この鏡筒部を支持する架台筐体の外周をシールドカバーで覆われた構造とし、前記シールドカバーの前面部は、前記鏡筒部の最上部に配置される電子銃を露出させる第１開口部と、前記鏡筒部の中段に配置される試料挿入部を露出させる第２開口部と、前記鏡筒部の下方に配置される観察窓部を露出させる凹部空間部と、その上部に鏡筒部を支持する前記架台筐体に形成される凹状の下肢空間部とに上下に分割され、前記第１開口部と前記第２開口部にはそれぞれシールド空間を構成する開閉蓋を備え、前記凹部空間部と前記下肢空間部との間には中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出したテーブル面を備えている。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、電子顕微鏡の性能や取扱性を阻害することなく作業台や観察台を兼用し得るテーブル面を備えたコンパクトなシールドカバー付きの電子顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明に係る電子顕微鏡システムの概略構造図である。
【図２】この発明に係る透過型電子顕微鏡システムの概略構成図である。
【図３】この発明に係る電子顕微鏡の構造図である。
【図４】この発明に係る電子顕微鏡の使用形態を示す縦断面図である。
【図５】この発明に係る開閉扉の開閉動作を示す横断面図である。
【図６】この発明に係る電子顕微鏡の応用例を示す外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１３】
以下、図１から図６を参照して、この発明に係る電子顕微鏡の実施例を具体的に説明する。ここで、図１は、この実施例に係る電子顕微鏡システムの概略構造図である。図２は、この実施例に係る透過型電子顕微鏡システムの概略構成図である。図３は、この実施例に係る電子顕微鏡の構造図である。図４は、この実施例に係る電子顕微鏡の使用形態を示す縦断面図である。図５は、この実施例に係る開閉扉の開閉動作を示す横断面図である。図６は、電子顕微鏡の応用例を示す外観斜視図である。なお、同様な部位や矢印などは同一符号をもって示し、重複した説明を省略する。
【００１４】
先ず、図１を参照して、この実施例に係る電子顕微鏡システムの概略構造を説明する。図１において、符号１で総括的に示す電子顕微鏡システムは、観察対象の試料２２１に電子線をあて、それを透過してきた電子を拡大して観察する透過型の電子顕微鏡２０と、この電子顕微鏡２０を操作制御して、取得した拡大画像をモニタするためのモニタ装置５０とを含んで構成される。
【００１５】
また、電子顕微鏡２０は、架台筐体１００の上部に支持される鏡筒部２００とを含んで構成される電子顕微鏡本体部３０と、この電子顕微鏡本体部３０の周囲を覆うシールドカバー４０とから構成される。
【００１６】
この実施例に係る電子顕微鏡２０は、鏡筒部２００の最上部に配置した電子銃２１０で発生した電子線を鏡筒部２００の中段に配置した試料挿入部２２０にセットされる観察対象の試料２２１を透過させ、この透過した電子線の像を鏡筒部２００の下方に配置した蛍光板部２３０に結像させ、この結像した像を蛍光板部２３０の下部に配置したカメラ部２４０で撮影して、これをモニタ装置５０で観察したり、あるいは、蛍光板部２３０に結像した像を観察窓部２５０から直接観察することができる。
【００１７】
また、シールドカバー４０は、架台筐体１００を覆う下部シールドカバー４１と、この下部シールドカバー４１の上面の投影面積内に配置される一回り小さい面積を備えた上部カバー４２とを備えて構成される。このシールドカバー４０は鋼材などで形成される骨組筺体３００にパーマロイや鉄板あるいはアルミニュームなどの金属材料の板材３１０で覆うシールド構造としている。
更に、このシールドカバー４０は、電子顕微鏡本体部３０と構造的に分離した構造としている。このように、この実施例では電子顕微鏡本体部３０をシールドカバー４０で覆うことにより、外部から受ける熱、気流、磁場、音波あるいは電波や塵埃さらには振動などを遮蔽し外乱を除去することで、高い分解能を維持ることができる。
【００１８】
モニタ装置５０は、各種の画像や観察画像を表示するためのディスプレイ部５１と、キーボードやマウスなどの入力装置５２や、電子顕微鏡システム１を統括的に制御する制御装置５３とを含んで構成される。このモニタ装置５０は、極一般的なパーソナルコンピュータの装置構成を備えており、画像情報や各種プログラムなどを格納する図示しない記憶装置や他のコンピュータシステムと接続するための通信装置を含むことができる。そして、このモニタ装置５０によれば、電子顕微鏡２０を円滑に操作制御できるとともに、この電子顕微鏡２０で取得した拡大画像を観察したり分析したり、あるいは、ネットワークを介して、他のシステムに送信したりすることができる。
【００１９】
そして、この実施例に係る電子顕微鏡２０の大きな特徴の１つは、電子顕微鏡本体部３０を覆うシールドカバー４０を、電子顕微鏡本体部３０の機能に対応して上下に複数に分割し、このそれぞれの区画部３２１の前面部の構造を前記機能に対応した構造とした点にある。
【００２０】
即ち、従来の電子顕微鏡本体部を保護するシールドカバーは、モニタ装置での観察を主眼にしているために、試料挿入部に試料をセットしたり、あるいは鏡筒部をメンテナンスするための開閉蓋を備えているものの、一様な箱体で電子顕微鏡本体部の外周を覆うことで、外から受ける振動あるいは塵埃あるいは電磁波などの外来障害を防いでいる。
【００２１】
しかし、これらの従来例では、鏡筒部に設けた観察窓部を介して直接観察する作業が考慮されていない。つまり、従来例では、観察者が長時間にわたって、楽な立位姿勢や座位姿勢をとって観察窓部を介しての直接観察ができないという課題がある。また、資料挿入部に資料をセットする際の作業台や補助具の載置台がないなどの課題もある。
【００２２】
そこで、この実施例では前記課題を解決するために、シールドカバー４０の前面部を、鏡筒部２００の最上部に配置される電子銃２１０を露出させる第１開口部３３０と、鏡筒部２００の中段に配置される試料挿入部２２０を露出させる第２開口部３４０と、鏡筒部２００の下方に配置される観察窓部２５０を露出させる凹部空間部３５０と、その上部に鏡筒部２００を支持する架台筐体１００に形成される凹状の下肢空間部３６０とに上下に分割し、第１開口部３３０と第２開口部３４０にはそれぞれシールド空間３２０を構成する開閉蓋３７０を備え、前記凹部空間部３５０と下肢空間部３６０との間には中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出したテーブル面３８０を備えるようにしている。ここで、前記凹部空間部３５０は、その下面をテーブル面３８０で構成し、下面以外はシールド構造としている。
【００２３】
この実施例によれば、シールドカバー４０の前面に、シールド空間３２０を解放する２つの開口部３３０，３４０を解放可能な２つの開閉扉３７０（第１開閉扉３７１、第２開閉扉３７２）を備えることで、使用頻度のある試料２２１の出し入れの際のシールド効果を最小限にとどめるとともに、メンテナンスでは大きく開放することができる。また、シールド空間３２０内に張り出すように凹部空間部３５０を設けたので、この凹部空間部３５０を利用して、観察機器や装備品収納スペースとして活用することができる。しかも、鏡筒部２００の中で観察窓部２５０の近傍のみが凹部空間部３５０に露出しているので、観察窓部２５０の近傍のみをパーマロイなどで覆うシールド構造とすれば足りる。
【００２４】
また、観察窓部２５０が露出する凹部空間部３５０は、その下面を作業台となるテーブル面３８０で構成される。このテーブル面３８０は、凹部空間部３５０と下肢空間部３６０との間に設けられるので、このテーブル面３８０を、観察窓部２５０を使用する際の広い作業テーブルとして活用することができる。また、テーブル面３８０は、中央が切り欠かれ、その両側を前方に張り出した形状としているので、作業者が観察窓部２５０に近づけるとともに、両側の張り出したテーブル面３８０の投影面積内に架台筐体１００の脚部１１０を配置することができる。
【００２５】
特に、電子顕微鏡２０においては、架台筐体１００を安定支持するための周囲に張り出した脚部１１０が必要である。この実施例によれば、安定設置のために必要な脚部１１０の上部をテーブル面３８０として活用することができるとともに、その中央を切り欠くことで、安定設置の機能を阻害することなく、着座姿勢や試料２２１の出し入れあるいはメンテナンスでの下肢空間を確保することができる。そして、このテーブル面３８０を凹部空間部３５０の下部と連続させることで、テーブル面３８０の有効利用をいっそう向上させることができる。
【００２６】
また、この実施例の大きな特徴の他の１つは、凹部空間部３５０に、その上部に配置される第１、第２開閉扉３７１，３７２と連続する第３開閉扉３７３を備えた点である。この構造によれば、第３開閉扉３７３の解放時には、観察窓部２５０を使用することができ、また、第３開閉扉３７３の閉鎖時には、観察窓部２５０を塵埃などから防ぐことができるとともに、意匠性をも向上することができる。加えて、凹部空間部３５０を工具などの収納空間として使用することもできる。
【００２７】
また、この実施例の大きな特徴の他の１つは、第１、第２、第３開閉扉３７１，３７２，３７３を、その中央で左右に解放可能な観音開きの開閉扉３７０とした点にある。この構造によれば、開閉時の開閉扉３７０の可動範囲を小さくすることができるので、設置性を高めることができる。
【００２８】
また、この実施例の大きな特徴の他の１つは、電子顕微鏡本体部３０を覆うシールドカバー４０を、架台筐体１００を覆う下部シールドカバー４１と、架台筐体１００の上部に設置される電子顕微鏡本体部３０を覆う上部カバー４２とに分割することで、安定設置のために広い接地空間が必要な架台筐体１００を大きな下部シールドカバー４１で覆い、この大きな下部シールドカバー４１に左右されることなく、上部シールドカバー４２をその上部に設けることができる。これにより、低重心で安定感を印象付ける構造とすることができる。そして、この実施例では、上部カバー４２の前面部を３分割し、最上部に第１開閉扉３７１、その下方の中段に第２開閉扉３７２、その下方の下段に凹部空間部３５０を設けている。また、この実施例では、凹部空間部３５０に前記第１開閉扉３７１と第２開閉扉３７２に連続する第３開閉扉３７３を設けることができる。
【００２９】
以下、図１を参照しながら図２から図６をもとに、この実施例に係る電子顕微鏡システム１を更に説明する。なお、この実施例が採用する透過型の電子顕微鏡は公知の構造を備えているために、概略構造の説明にとどめることとする。
【００３０】
先ず、図２において、この実施例に係る透過型の電子顕微鏡２０の概略構造を図２に示す。鏡筒部２００の最上部に配置される電子銃２１０からの電子線は、照射系を構成するコンデンサレンズ２１５を介して、鏡筒部２００の中段に設けられる試料部２２０にセットされる試料２２１に照射される。この照射により、試料２２１を透過した透過電子線は、結像系を構成する対物レンズ２２５、中間レンズ２２６及び投影レンズ２２７を介して、蛍光板部２３０に到達する。蛍光板部２３０上には、この透過電子線に基づく試料２２１の像が結像される。このときの結像される像としては、設定される観察条件により、透過像又は回折像が結像されることとなる。
【００３１】
ここで、対物レンズ２２５の下方には、対物絞り手段２２８が、透過電子線の光軸上に対して挿脱可能に設置されている。対物絞り手段２２８には、開口２２９が形成されており、対物絞り手段２２８が透過電子線の光軸上に位置しているときには、透過電子線のうちの一部がこの開口２２９を通過する。この開口２２９を通過した透過電子線に基づいて、蛍光板部２３０上に像が結像される。
【００３２】
このようにして蛍光板部２３０上に結像された像は、カメラ部２４０により取得される。カメラ部２４０は、ＣＣＤ等の撮像素子を備えており、この撮像素子により像が撮像される。カメラ部２４０により取得された像の画像データは、モニタ装置５０に送られる。制御装置５３は、この画像データを画像処理してディスプレイ部５１に表示させる。また、この実施例では、観察窓部２５０を介して蛍光板部２３０上に結像された像を直接観察することができる。この観察窓部２５０を含む凹部空間部３５０に露出する鏡筒部２００は、パーマロイなどを巻きつけるなどしたシールド構造で形成される。そしてまた、この観察窓部２５０を露出させる凹部空間部３５０には拡大レンズ３５１を取り付けることができ、この拡大レンズ３５１を介して蛍光板部２３０上に結像された像を拡大して観察することができる。
【００３３】
この他、制御装置５３は、電子銃２１０の制御や、鏡筒部２００に配置されたコンデンサレンズ２１５を備える照射系の制御と、対物レンズ２２５、中間レンズ２２６と投影レンズ２２７を備える結像系の制御を行う。そして、コンピュータ３１は、対物絞り４の移動を行う絞り駆動部２５の制御と撮像部６の制御を行うことができる。そして、これらの制御操作は、ディスプレイ部５１に表示される監視画像を入力装置５２を介して操作指示することで行うことができる。
【００３４】
図１と図３において、この実施例では、鏡筒部２００が直立姿勢で架台筐体１００上に支持される。架台筐体１００は箱型の台部１２０を備え、その台部１２０の上面に観察窓部２５０が位置するように、振動を防ぐために図示しないダンパー部を介して鏡筒部２００を支持する。
【００３５】
図２の吹き出し内に示すように、台部１２０の両側下方には、前後または左右に伸びる脚部１１０が設けられている。これにより、架台筐体１００の床面に対する接地面積を大きくすることができるので、直立の姿勢の鏡筒部２００を支持する架台筐体１００を安定設置することができる。
【００３６】
そして、この実施例の発明者らは、特に前方に伸びる両側の一対の脚部１１０の間の空間１３０と脚部１１０の上部空間１３１がデッドスペースとなることに着目し、この空間１３０と上部空間１３１を観察者の作業スペースとして活用することを着想した。特に、この空間１３０は大型の電子顕微鏡であれば、観察者が十分に作業できる横幅を備えることができる。そして、この空間１３０は、架台筐体１００の上面のほぼ中央配置される鏡筒部２００に近距離でアクセスできる位置でもあるので、試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れや、観察窓部２５０での観察に極めて有効な位置となる。
【００３７】
また、前方または両側に伸びる脚部１１０は、架台筐体１００の安定設置には有効であるが、作業者にとっては足を引っ掛けてしまうなどの安全性に課題が残る。また、この脚部１１０全体を箱型のシールドカバー４０で覆うと、シールドカバー４０の大型化を招き、接地性に課題が残る。そこで、この実施例の発明者らは、前方または両側に伸びる脚部１１０の上部のデッドスペースとなる上部空間１３１を作業台とすることを着想した。
【００３８】
そして、この２つのデッドスペースの課題を解決する手段として、本発明者らは、一対の脚部１１０の間の空間１３０に対応して切り欠かれ、一対の脚部１１０の上部を覆うテーブル面３８０を設けることを着想した。そしてこのテーブル面３８０は、凹部空間部３５０の下面と連続するように形成した。これにより、観察者はテーブル面３８０に形成した切欠部３８１に体を挿入して観察窓部２５０を介しての観察が可能である。また同様に、この切欠部３８１に体を挿入して試料挿入部２２０への試料の出し入れの作業を容易に行うことができる。また、切欠部３８１の両側には、凹部空間部３５０の下面と連続する作業面が形成されるので、広いテーブル面３８０での作業が容易となる。
【００３９】
さて、この実施例では、鏡筒部２００を備えた架台筐体１００を接地面に設置した後で、この電子顕微鏡本体部３０の接地とは独立してシールドカバー４０を接地する。これにより、シールドカバー４０に受ける振動が電子顕微鏡本体部３０に波及することを軽減することができる。ここで、シールドカバー４０は、Ｌ型または角材などから構成される骨組筺体３００と、その周囲を囲む板材３１０とから構成する。骨組筺体３００は、複数に分割されたユニットを設置場所で組み立て、その組み立てが終了した骨組筺体３００に板材３１０を張る構造としている。
【００４０】
ここで、この実施例に係る骨組筺体３００は、脚部１１０の上方の上部空間１３１から架台筐体１００の前部上方の位置にテーブル面３８０を支持するテーブル支持部２９０を備え、このテーブル支持部２９０にテーブル面３８０を取り付ける構造としている。
【００４１】
また、この実施例に係る骨組筺体３００は、凹部空間部３５０とシールド空間３２０を上下に分割する複数の横桟部３９０を備えている。これにより、第１開口部３３０と第２開口部３４０と凹部空間部３５０を上下に区分けすることができる。この実施例では、第１開口部３３０と第２開口部３４０を第1横桟部２９１で分割し、第２開口部３４０と凹部空間部３５０を第２横桟部２９２で分割する。
【００４２】
そして、骨組筺体３００の両側に設けたヒンジ機構４００を介して、第１開口部３３０を覆う一対の第１開閉扉３７１と第２開口部３４０を覆う一対の第２開閉扉３７２をそれぞれ開閉可能に取り付ける構造としている。ここで、凹部空間部３５０に第３開閉扉３７３（図１参照）を開閉可能に取り付ける場合は、骨組筺体３００の両側に設けたヒンジ機構４００を介して取り付けるようにする。
【００４３】
なお、この実施例では、鏡筒部２００を露出する第１開口部３３０と第２開口部３４０の後方には、シールド空間３２０を前後に分割する仕切り壁３１１を設けるようにしている。これにより、電子銃２１０のメンテナンスや試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れの際に作業者が不用意に鏡筒部２００以外の機器に触れたり、あるいは、作業工具を後方のシールド空間３２０に落下させることを軽減することができるとともに、解放時の意匠性をも向上させることができる。ここで、この仕切り壁３１１は、ネジなどを介して、簡単に着脱可能に取り付ける構造としている。
【００４４】
図４を参照して、この実施例に係る電子顕微鏡２０の使用形態を説明する。図４において、この実施例では、電子顕微鏡２０の全体の高さＨが３１００ｍｍの事例を図示している。この大きさの電子顕微鏡２０によれば、床面からテーブル面３８０までの高さＨ１が７９５ｍｍ、第２開閉扉３７２の下端部までの高さＨ２が１４７０ｍｍ、第１開閉扉３７１の下端部までの高さＨ３が２４２０ｍｍに設定される。
【００４５】
また、図４には、成人アジア女性の５％タイル（１４７５ｍｍ）のモデルと、成人米国男性９５％タイル（１８９５ｍｍ）のモデルを図示している。（ａ）図は、各モデルの座位姿勢を示し、（ｂ）図は各モデルの立位の姿勢を示している。一般的、人体計測値の機器への応用を考えた場合、パーセントタイルが平均値参考数値として用いられる。特に、使用者が不特定多数の公共性の高い機器などでは、男性９５％タイル値（高めの人）から、女性の５％タイル値（低めの人）の幅広い範囲の人を対象にして、機器の開発が行われている。この実施例では、この公共性の高いパーセントタイルを用いている。
【００４６】
図から明らかなように、この大きさの電子顕微鏡であれば、成人米国男性は座位姿勢で観察窓部２５０を介しての観察作業を容易に行うことができるとともに、立位姿勢では試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れを行うことができる。一方、成人アジア女性では、座位姿勢で観察窓部２５０を介しての観察作業は無理な姿勢となるが、立位姿勢では良好な観察姿勢を得ることができる。なお、成人アジア女性が座位姿勢で観察する場合は、椅子の高さを調整することで対応することができる。また、成人アジア女性の場合は、立位姿勢での試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れは無理なため、台を使っての作業となる。この場合、切欠部３８１を利用して、台を設置することができる。
【００４７】
ここで、この実施例によれば、座位姿勢では、テーブル面３８０の下方に凹状の下肢空間部３６０が形成されるので、良好な座位姿勢を得ることができる。
【００４８】
なお、この実施例では、電子顕微鏡２０の全体の高さＨが３１００ｍｍの事例で説明したが、分解能の性能変化に対応して、高さＨが２８００ｍｍから４０００ｍｍを想定して設計している。しかし、これらの高さの変化は、第２開閉扉３７２の下端部までの高さＨ２まではほぼ同じ高さに設定することができる。したがって、分解能の性能が異なっても観察窓部２５０の作業姿勢を前記したと同様な姿勢で行うことができる。ただ、分解能の性能が異なると試料挿入部２２０の位置が高くなる。このため、必要により台を用いた試料２２１の出し入れを想定している。
【００４９】
また、この実施例では、シールド空間３２０内のメンテナンスを床面あるいは台上での立位姿勢により行うこととなる。この場合、開閉蓋３７０を開閉して作業を行うこととなる。特に、台上での立位姿勢では、足場が悪いために、開閉作業とメンテナンスの作業を別々に行わなければならないことも想定される。これを、図５を参照して説明する。
【００５０】
図５において、（ａ）図は、この実施例に係る開閉蓋３７０を占めた状態の横断面図であり、（ｂ）図が開閉蓋３７０を解放した状態の横断面図であり、（ｂ）図は一枚の開閉扉を解放した状態の横断面図である。
【００５１】
この実施例では、上部カバー４２の横幅Ｗを約１３００ｍｍに設定している。（ｃ）図に示すように、このような横幅Ｗを一枚の開閉扉３７０で開閉すると、その開閉扉３７０が可動する範囲は大きいものとなる。したがって、このような開閉扉３７０を開閉するには、作業者は、台上で解放動作の初期段階を行った後、台から降りて開閉扉３７０を大きく開放し、その後で、台に再び乗ってメンテナンス作業を継続しなければならない。
【００５２】
一方、この実施例によれば、開閉扉３７０を左右に配置される一対の観音扉構造としているために、前記（ｃ）図の開閉動作を大きく改善することができる。つまり、（ｂ）図のように、台上の作業者は、一方の開閉扉３７０を解放した後で、他の開閉扉３７０を解放することができるので、解放作業を大きく改善することができる。しかも、この実施例では、一対の開閉蓋３７０の中央の分断部４１０を凹状とするハンドル手掛け凹部４１１を形成し、この手掛け凹部４１１に開閉蓋３７０の高さいっぱいまで伸びる手掛け部４１２を設けたので、高さ方向のどの位置からでも解放動作を行うことができる。しかも、この開閉蓋３７０では、上下に分割されて積層配置される複数の開閉蓋３７０を上下に連続するように手掛け凹部４１１と手掛け部４１２を形成しているので、取扱い性に加えて意匠性をも向上させることができる。
【００５３】
次に、図６を参照して、電子顕微鏡２０の他の応用例を説明する。この図６に示す電子顕微鏡２０は、下部シールドカバー４１の上部の投影面積内に、一回り小さい面積の上部カバー４２を設置した構造を備えたシールドカバー４０を備えている。この構造によれば、下部シールドカバー４１内に設けられる架台筐体１００を接地面積が大きいものを採用することができるので電子顕微鏡２０の安定設置が可能である。この場合、下部シールドカバー４１の上部カバー４２で覆われない下部シールドカバー４１の上面周囲を利用して補助具や試料などの載置面２９５として活用できる。
【００５４】
また、通常、下部シールドカバー４１を大きくすると、上部カバー４２内に設けられる電子銃２１０のメンテナンスや試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れに不具合が生じる。しかし、この実施例では、下部シールドカバー４１に設けられる切欠部３８１を備えたテーブル面３８０によれ、前記不具合を改善することができる。
【００５５】
なお、この図６では、下部シールドカバー４１の両側が、その上面に載置面２９５が形成されるように外側に張り出して形成される事例で説明した。しかし、図３に示すように、下部シールドカバー４１と上部カバー４２の両側面を連続するように形成しても、テーブル面３８０を設けることで、同様な作用効果を得ることができる。
【００５６】
このように、この実施例に係る電子顕微鏡２０では、電子顕微鏡本体部２０を覆うシールドカバー４０を、架台筐体１００を覆う下部シールドカバー４１と、架台筐体１００の上部に設置される鏡筒部２００を覆う上部カバー４２とに分割し、上部カバー４２の前面部を、シールド空間３２０上に配置される電子銃２１０の前面部に対応した第１開閉扉３７１を備えた第１開口部３３０と、シールド空間３２０上に配置される観察対象の出し入れを行う試料挿入部２２０に対応した第２開閉扉３７２を備えた第２開口部３４０と、観察窓部２５０に対応してシールド空間３２０内に張り出して形成される凹部空間部３５０とを備えた構造とし、前記架台筐体１００の前部は、架台筐体１００の両側に張り出した脚部１１０の投影面積上に配置されるテーブル面３８０を備え、このテーブル面３８０は、前部の中央部が切り欠かれるとともに、凹部空間部３５０の下部と連続して形成するようにしている。ここで、凹部空間部３５０は、その前部を第２開閉扉３７２と連続する第３開閉扉３７３で構成するようにしてもよい。また、第１、第２、第３開閉扉３７１、３７２、３７３は、その中央で左右に解放可能な観音開きの開閉扉３７０とするようにしてもよい。
【００５７】
この実施例によれば、電子顕微鏡本体部３０を覆うシールドカバー４０を、架台筐体１００を覆う下部シールドカバー４１と、架台筐体１００の上部に設置される鏡筒部２００を覆う上部カバー４１とに分割することで、安定設置のために広い接地空間が必要な架台筐体１００を大きな下部シールドカバー４１で覆い、この大きな下部シールドカバー４１に左右されることなく、上部シールドカバー４２をその上部に設けることができる。これにより、低重心で安定感を印象付ける構造とすることができる。
【００５８】
また、上部シールドカバー４２の前面に、シールド空間３２０を解放する２つの開口部（第１開口部３３０、第２開口部３４０）を解放可能な２つの開閉扉（第１開閉扉３７１、第２開閉扉３７２）を備えることで、使用頻度のある試料の出し入れの際のシールド効果を最小限にとどめるとともに、メンテナンスでは大きく開放することができる。また、シールド空間３２０に張り出すように凹部空間部３５０を設けたので、この凹部空間部３５０を利用して、観察機器や装備品収納スペースとして活用することができる。
【００５９】
また、安定設置のために必要な脚部１１０の上部をテーブル面３８０として活用することができるとともに、その中央を切り欠くことで、安定設置の機能を阻害することなく、着座姿勢や試料の出し入れやメンテナンスでの下肢空間を確保することができる。そして、このテーブル面３８０を凹部空間部３５０の下部と連続させることで、テーブル面３８０の有効利用を向上させることができる。
【００６０】
また、凹部空間部３５０に開閉扉（第３開閉扉３７３）を備えることにより、塵埃など影響を顕現しつつ、目隠しされる空間の確保することができる。加えて、開閉扉（第３開閉扉３７３）を観音扉とすることにより、解放時の軌道を最小限にすることができる。
【００６１】
上記では、本発明の一例において、鏡筒部と、この鏡筒部を支持する架台筐体の外周をシールドカバーで覆った電子顕微鏡であって、前記シールドカバーは、試料挿入部を露出させる開閉可能な蓋を有する開口部を少なくとも有し、架台筐体に形成される凹状の下肢空間部とを備え、前記下肢空間部は中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出した形状であることを特徴とする電子顕微鏡について説明してきた。
【００６２】
またさらに具体的には、電子顕微鏡本体部を覆うシールドカバーを、架台筐体を覆う下部シールドカバーと、架台筐体の上部に設置される鏡筒部を覆う上部シールドカバーとに分割し、上部シールドカバーの前面部を、シールド空間上に配置される電子銃の前面部に対応する第１開閉扉を備えた第１開口部と、シールド空間上に配置される観察対象の試料の出し入れを行う試料挿入部に対応する第２開閉扉を備えた第２開口部と、観察窓部に対応してシールド空間内に張り出して形成される凹部空間部とを備えた構造とし、前記架台筐体の前部は、架台筐体の両側に張り出した脚部の投影面積上に配置されるテーブル面を備え、このテーブル面は、前部中央部が切り欠かれるとともに、凹部空間部の下部と連続して形成された電子顕微鏡について説明してきた。
【００６３】
ここで、凹部空間部は、その前部を第２開閉扉と連続する第３開閉扉で構成するとよい。また、第１、第２、第３開閉扉は、その中央で左右に解放可能な観音開きの開閉扉とするとよい。
【００６４】
本実施例では、電子顕微鏡本体部を覆うシールドカバーを、架台筐体を覆う下部シールドカバーと、架台筐体の上部に設置される電子顕微鏡本体部を覆う上部カバーとに分割することで、安定設置のために広い接地空間が必要な架台筐体を大きな下部シールドカバーで覆い、この大きな下部シールドカバーに左右されることなく、上部シールドカバーをその上部に設けることができる。これにより、低重心で安定感を印象付ける構造とすることができる。
【００６５】
また、上部シールドカバーの前面に、シールド空間を解放する２つの開口部を解放可能な２つの開閉扉を備えることで、使用頻度のある試料の出し入れの際のシールド効果を最小限にとどめるとともに、メンテナンスでは大きく開放することができる。また、シールド空間に張り出すように凹部空間部を設けたので、この凹部空間部を利用して、観察機器や装備品収納スペースとして活用することができる。
【００６６】
また、安定設置のために必要な脚部の上部をテーブル面として活用することができるとともに、その中央を切り欠くことで、安定設置の機能を阻害することなく、着座姿勢や試料の出し入れやメンテナンスでの下肢空間を確保することができる。そして、このテーブル面を凹部空間部の下部と連続させることで、テーブル面の有効利用を向上させることができる。
【００６７】
また、凹部空間部に開閉扉を備えることにより、塵埃など影響を顕現しつつ、目隠しされる空間の確保することができる。加えて、開閉扉を観音扉とすることにより、解放時の軌道を最小限にすることができる。
【符号の説明】
【００６８】
１…電子顕微鏡システム、２０…電子顕微鏡、３０…電子顕微鏡本体部、４０…シールドカバー、４１…下部シールドカバー、４２…上部カバー、５０…モニタ装置、５１…ディスプレイ部、５２…入力装置、５３…制御装置、１００…架台筐体、１１０…脚部、１２０…台部、１３０…空間、１３１…上部空間、２００…鏡筒部、２１０…電子銃、２１５…コンデンサレンズ、２２０…試料挿入部、２２１…試料、２２５…対物レンズ、２２６…中間レンズ、２２７…投影レンズ、２２８…対物絞り手段、２３０…蛍光板部、２４０…カメラ部、２５０…観察窓部、３００…骨組筺体、３１０…板材、３１１…仕切り壁、３２０…シールド空間、３２１…区画部、３３０…第１開口部、３４０…第２開口部、３５０…凹部空間部、３６０…下肢空間部、３７０…開閉蓋、３７１…第１開閉扉、３７２…第２開閉扉、３７３…第３開閉扉、３８０…テーブル面、３８１…切欠部、３９０…横桟部、２９１…第1横桟部、２９２…第２横桟部、２９５…載置面、４００…ヒンジ機構、４１０…分断部、４１１…手掛け凹部、４１２…手掛け部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、その周囲をシールドカバーで覆った構造を備えた電子顕微鏡に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子顕微鏡は、観察対象の試料に電子線をあて、それを透過してきた、あるいは反射してきた電子が作り出す干渉像を拡大して観察するタイプの電子顕微鏡であり、物理学、化学、工学、生物学、医学などで幅広く用いられている。この電子顕微鏡は、高い分解能で観察対象を拡大観察するために外部からの振動や気流あるいは塵埃の影響を受けやすいという課題がある。そこで近年の電子顕微鏡では、装置の外周をシールドカバーで覆った構造を備えたものが提案されている。
【０００３】
具体的には、電子銃や試料挿入部などからなる鏡筒部や、この鏡筒部が載置されている架台筐体全体を、シールドカバーによって覆う構造としている。このシールドカバーには、開閉扉が設けてあり、この開閉扉を介して観察対象の試料を鏡筒部にセットする構造としている。そして、観察対象の画像は、モニター装置で観察するようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８ー３４２３１号公報
【特許文献２】特開平１１ー１５４４７８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
電子顕微鏡には、大きく分けて、観察対象の試料に電子線をあて、それを透過してきた電子を拡大して観察する透過型電子顕微鏡 (Transmission Electron Microscope; TEM) と、観察対象の試料に電子線をあて、そこから反射してきた電子（または二次電子）から得られる像を観察する走査型電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope; SEM)が知られている。また近年では、両者の特徴を合わせ持つ走査型透過電子顕微鏡 (Scanning Transmission Electron Microscope; STEM) も注目されている。これらの電子顕微鏡では、鏡筒部とこれを支持する架台筐体を含む電子顕微鏡本体部の外観全体をカバーで覆うことで、高い分解能を得やすくすることができる。
【０００６】
しかし、透過型電子顕微鏡では、観察対象の画像をモニター装置で間接的に見るだけでなく、電子顕微鏡本体部に設けられる観察窓部から観察対象の画像を直接観察することが行われている。具体的には、架台筐体のトップ面近傍にテーブル面を形成し、このテーブル面に対峙するように観察者が着座して観察窓部を覗き見る構造としている。
【０００７】
このような、観察対象の画像を直接見るタイプの電子顕微鏡では、観察者が長時間にわたって楽な着座姿勢をとれることが必要であるが、従来の電子顕微鏡本体部全体をシールドカバーで覆う構造では、この課題を解決していない。加えて、シールドカバーで装置全体を覆う従来構造では、シールドカバーの形状を箱形または筒型の直立する壁面を備えた構造としているため、装置が大型化すると、全体のボリュームがより際立ってしまうという課題がある。しかも、このような従来構造では、保守部品や観察対象を借り置きするスペースもないため、作業性にも課題を備えている。
【０００８】
また一方、大型の電子顕微鏡では、本体部をより安定設置するために、脚部を備えた架台筐体の設置面積を大きくする必要がある。これに伴って、架台筐体を覆うシールドカバーも大型化するため、架台筐体の上部に設置される本体部への観察対象の出し入れに際し、この架台筐体が邪魔になってアクセスし難いという課題がある。
【０００９】
そこで、この発明の目的とするところは、電子顕微鏡の性能や取扱性を阻害することなく作業台や観察台を兼用し得るテーブル面を備えたコンパクトなシールドカバー付きの電子顕微鏡を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
前記課題を解決するために、この発明の電子顕微鏡では、鏡筒部と、この鏡筒部を支持する架台筐体の外周をシールドカバーで覆われた構造とし、前記シールドカバーの前面部は、前記鏡筒部の最上部に配置される電子銃を露出させる第１開口部と、前記鏡筒部の中段に配置される試料挿入部を露出させる第２開口部と、前記鏡筒部の下方に配置される観察窓部を露出させる凹部空間部と、その上部に鏡筒部を支持する前記架台筐体に形成される凹状の下肢空間部とに上下に分割され、前記第１開口部と前記第２開口部にはそれぞれシールド空間を構成する開閉蓋を備え、前記凹部空間部と前記下肢空間部との間には中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出したテーブル面を備えている。
【発明の効果】
【００１１】
この発明によれば、電子顕微鏡の性能や取扱性を阻害することなく作業台や観察台を兼用し得るテーブル面を備えたコンパクトなシールドカバー付きの電子顕微鏡を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】この発明に係る電子顕微鏡システムの概略構造図である。
【図２】この発明に係る透過型電子顕微鏡システムの概略構成図である。
【図３】この発明に係る電子顕微鏡の構造図である。
【図４】この発明に係る電子顕微鏡の使用形態を示す縦断面図である。
【図５】この発明に係る開閉扉の開閉動作を示す横断面図である。
【図６】この発明に係る電子顕微鏡の応用例を示す外観斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００１３】
以下、図１から図６を参照して、この発明に係る電子顕微鏡の実施例を具体的に説明する。ここで、図１は、この実施例に係る電子顕微鏡システムの概略構造図である。図２は、この実施例に係る透過型電子顕微鏡システムの概略構成図である。図３は、この実施例に係る電子顕微鏡の構造図である。図４は、この実施例に係る電子顕微鏡の使用形態を示す縦断面図である。図５は、この実施例に係る開閉扉の開閉動作を示す横断面図である。図６は、電子顕微鏡の応用例を示す外観斜視図である。なお、同様な部位や矢印などは同一符号をもって示し、重複した説明を省略する。
【００１４】
先ず、図１を参照して、この実施例に係る電子顕微鏡システムの概略構造を説明する。図１において、符号１で総括的に示す電子顕微鏡システムは、観察対象の試料２２１に電子線をあて、それを透過してきた電子を拡大して観察する透過型の電子顕微鏡２０と、この電子顕微鏡２０を操作制御して、取得した拡大画像をモニタするためのモニタ装置５０とを含んで構成される。
【００１５】
また、電子顕微鏡２０は、架台筐体１００の上部に支持される鏡筒部２００とを含んで構成される電子顕微鏡本体部３０と、この電子顕微鏡本体部３０の周囲を覆うシールドカバー４０とから構成される。
【００１６】
この実施例に係る電子顕微鏡２０は、鏡筒部２００の最上部に配置した電子銃２１０で発生した電子線を鏡筒部２００の中段に配置した試料挿入部２２０にセットされる観察対象の試料２２１を透過させ、この透過した電子線の像を鏡筒部２００の下方に配置した蛍光板部２３０に結像させ、この結像した像を蛍光板部２３０の下部に配置したカメラ部２４０で撮影して、これをモニタ装置５０で観察したり、あるいは、蛍光板部２３０に結像した像を観察窓部２５０から直接観察することができる。
【００１７】
また、シールドカバー４０は、架台筐体１００を覆う下部シールドカバー４１と、この下部シールドカバー４１の上面の投影面積内に配置される一回り小さい面積を備えた上部カバー４２とを備えて構成される。このシールドカバー４０は鋼材などで形成される骨組筺体３００にパーマロイや鉄板あるいはアルミニュームなどの金属材料の板材３１０で覆うシールド構造としている。
更に、このシールドカバー４０は、電子顕微鏡本体部３０と構造的に分離した構造としている。このように、この実施例では電子顕微鏡本体部３０をシールドカバー４０で覆うことにより、外部から受ける熱、気流、磁場、音波あるいは電波や塵埃さらには振動などを遮蔽し外乱を除去することで、高い分解能を維持ることができる。
【００１８】
モニタ装置５０は、各種の画像や観察画像を表示するためのディスプレイ部５１と、キーボードやマウスなどの入力装置５２や、電子顕微鏡システム１を統括的に制御する制御装置５３とを含んで構成される。このモニタ装置５０は、極一般的なパーソナルコンピュータの装置構成を備えており、画像情報や各種プログラムなどを格納する図示しない記憶装置や他のコンピュータシステムと接続するための通信装置を含むことができる。そして、このモニタ装置５０によれば、電子顕微鏡２０を円滑に操作制御できるとともに、この電子顕微鏡２０で取得した拡大画像を観察したり分析したり、あるいは、ネットワークを介して、他のシステムに送信したりすることができる。
【００１９】
そして、この実施例に係る電子顕微鏡２０の大きな特徴の１つは、電子顕微鏡本体部３０を覆うシールドカバー４０を、電子顕微鏡本体部３０の機能に対応して上下に複数に分割し、このそれぞれの区画部３２１の前面部の構造を前記機能に対応した構造とした点にある。
【００２０】
即ち、従来の電子顕微鏡本体部を保護するシールドカバーは、モニタ装置での観察を主眼にしているために、試料挿入部に試料をセットしたり、あるいは鏡筒部をメンテナンスするための開閉蓋を備えているものの、一様な箱体で電子顕微鏡本体部の外周を覆うことで、外から受ける振動あるいは塵埃あるいは電磁波などの外来障害を防いでいる。
【００２１】
しかし、これらの従来例では、鏡筒部に設けた観察窓部を介して直接観察する作業が考慮されていない。つまり、従来例では、観察者が長時間にわたって、楽な立位姿勢や座位姿勢をとって観察窓部を介しての直接観察ができないという課題がある。また、資料挿入部に資料をセットする際の作業台や補助具の載置台がないなどの課題もある。
【００２２】
そこで、この実施例では前記課題を解決するために、シールドカバー４０の前面部を、鏡筒部２００の最上部に配置される電子銃２１０を露出させる第１開口部３３０と、鏡筒部２００の中段に配置される試料挿入部２２０を露出させる第２開口部３４０と、鏡筒部２００の下方に配置される観察窓部２５０を露出させる凹部空間部３５０と、その上部に鏡筒部２００を支持する架台筐体１００に形成される凹状の下肢空間部３６０とに上下に分割し、第１開口部３３０と第２開口部３４０にはそれぞれシールド空間３２０を構成する開閉蓋３７０を備え、前記凹部空間部３５０と下肢空間部３６０との間には中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出したテーブル面３８０を備えるようにしている。ここで、前記凹部空間部３５０は、その下面をテーブル面３８０で構成し、下面以外はシールド構造としている。
【００２３】
この実施例によれば、シールドカバー４０の前面に、シールド空間３２０を解放する２つの開口部３３０，３４０を解放可能な２つの開閉扉３７０（第１開閉扉３７１、第２開閉扉３７２）を備えることで、使用頻度のある試料２２１の出し入れの際のシールド効果を最小限にとどめるとともに、メンテナンスでは大きく開放することができる。また、シールド空間３２０内に張り出すように凹部空間部３５０を設けたので、この凹部空間部３５０を利用して、観察機器や装備品収納スペースとして活用することができる。しかも、鏡筒部２００の中で観察窓部２５０の近傍のみが凹部空間部３５０に露出しているので、観察窓部２５０の近傍のみをパーマロイなどで覆うシールド構造とすれば足りる。
【００２４】
また、観察窓部２５０が露出する凹部空間部３５０は、その下面を作業台となるテーブル面３８０で構成される。このテーブル面３８０は、凹部空間部３５０と下肢空間部３６０との間に設けられるので、このテーブル面３８０を、観察窓部２５０を使用する際の広い作業テーブルとして活用することができる。また、テーブル面３８０は、中央が切り欠かれ、その両側を前方に張り出した形状としているので、作業者が観察窓部２５０に近づけるとともに、両側の張り出したテーブル面３８０の投影面積内に架台筐体１００の脚部１１０を配置することができる。
【００２５】
特に、電子顕微鏡２０においては、架台筐体１００を安定支持するための周囲に張り出した脚部１１０が必要である。この実施例によれば、安定設置のために必要な脚部１１０の上部をテーブル面３８０として活用することができるとともに、その中央を切り欠くことで、安定設置の機能を阻害することなく、着座姿勢や試料２２１の出し入れあるいはメンテナンスでの下肢空間を確保することができる。そして、このテーブル面３８０を凹部空間部３５０の下部と連続させることで、テーブル面３８０の有効利用をいっそう向上させることができる。
【００２６】
また、この実施例の大きな特徴の他の１つは、凹部空間部３５０に、その上部に配置される第１、第２開閉扉３７１，３７２と連続する第３開閉扉３７３を備えた点である。この構造によれば、第３開閉扉３７３の解放時には、観察窓部２５０を使用することができ、また、第３開閉扉３７３の閉鎖時には、観察窓部２５０を塵埃などから防ぐことができるとともに、意匠性をも向上することができる。加えて、凹部空間部３５０を工具などの収納空間として使用することもできる。
【００２７】
また、この実施例の大きな特徴の他の１つは、第１、第２、第３開閉扉３７１，３７２，３７３を、その中央で左右に解放可能な観音開きの開閉扉３７０とした点にある。この構造によれば、開閉時の開閉扉３７０の可動範囲を小さくすることができるので、設置性を高めることができる。
【００２８】
また、この実施例の大きな特徴の他の１つは、電子顕微鏡本体部３０を覆うシールドカバー４０を、架台筐体１００を覆う下部シールドカバー４１と、架台筐体１００の上部に設置される電子顕微鏡本体部３０を覆う上部カバー４２とに分割することで、安定設置のために広い接地空間が必要な架台筐体１００を大きな下部シールドカバー４１で覆い、この大きな下部シールドカバー４１に左右されることなく、上部シールドカバー４２をその上部に設けることができる。これにより、低重心で安定感を印象付ける構造とすることができる。そして、この実施例では、上部カバー４２の前面部を３分割し、最上部に第１開閉扉３７１、その下方の中段に第２開閉扉３７２、その下方の下段に凹部空間部３５０を設けている。また、この実施例では、凹部空間部３５０に前記第１開閉扉３７１と第２開閉扉３７２に連続する第３開閉扉３７３を設けることができる。
【００２９】
以下、図１を参照しながら図２から図６をもとに、この実施例に係る電子顕微鏡システム１を更に説明する。なお、この実施例が採用する透過型の電子顕微鏡は公知の構造を備えているために、概略構造の説明にとどめることとする。
【００３０】
先ず、図２において、この実施例に係る透過型の電子顕微鏡２０の概略構造を図２に示す。鏡筒部２００の最上部に配置される電子銃２１０からの電子線は、照射系を構成するコンデンサレンズ２１５を介して、鏡筒部２００の中段に設けられる試料部２２０にセットされる試料２２１に照射される。この照射により、試料２２１を透過した透過電子線は、結像系を構成する対物レンズ２２５、中間レンズ２２６及び投影レンズ２２７を介して、蛍光板部２３０に到達する。蛍光板部２３０上には、この透過電子線に基づく試料２２１の像が結像される。このときの結像される像としては、設定される観察条件により、透過像又は回折像が結像されることとなる。
【００３１】
ここで、対物レンズ２２５の下方には、対物絞り手段２２８が、透過電子線の光軸上に対して挿脱可能に設置されている。対物絞り手段２２８には、開口２２９が形成されており、対物絞り手段２２８が透過電子線の光軸上に位置しているときには、透過電子線のうちの一部がこの開口２２９を通過する。この開口２２９を通過した透過電子線に基づいて、蛍光板部２３０上に像が結像される。
【００３２】
このようにして蛍光板部２３０上に結像された像は、カメラ部２４０により取得される。カメラ部２４０は、ＣＣＤ等の撮像素子を備えており、この撮像素子により像が撮像される。カメラ部２４０により取得された像の画像データは、モニタ装置５０に送られる。制御装置５３は、この画像データを画像処理してディスプレイ部５１に表示させる。また、この実施例では、観察窓部２５０を介して蛍光板部２３０上に結像された像を直接観察することができる。この観察窓部２５０を含む凹部空間部３５０に露出する鏡筒部２００は、パーマロイなどを巻きつけるなどしたシールド構造で形成される。そしてまた、この観察窓部２５０を露出させる凹部空間部３５０には拡大レンズ３５１を取り付けることができ、この拡大レンズ３５１を介して蛍光板部２３０上に結像された像を拡大して観察することができる。
【００３３】
この他、制御装置５３は、電子銃２１０の制御や、鏡筒部２００に配置されたコンデンサレンズ２１５を備える照射系の制御と、対物レンズ２２５、中間レンズ２２６と投影レンズ２２７を備える結像系の制御を行う。そして、コンピュータ３１は、対物絞り４の移動を行う絞り駆動部２５の制御と撮像部６の制御を行うことができる。そして、これらの制御操作は、ディスプレイ部５１に表示される監視画像を入力装置５２を介して操作指示することで行うことができる。
【００３４】
図１と図３において、この実施例では、鏡筒部２００が直立姿勢で架台筐体１００上に支持される。架台筐体１００は箱型の台部１２０を備え、その台部１２０の上面に観察窓部２５０が位置するように、振動を防ぐために図示しないダンパー部を介して鏡筒部２００を支持する。
【００３５】
図２の吹き出し内に示すように、台部１２０の両側下方には、前後または左右に伸びる脚部１１０が設けられている。これにより、架台筐体１００の床面に対する接地面積を大きくすることができるので、直立の姿勢の鏡筒部２００を支持する架台筐体１００を安定設置することができる。
【００３６】
そして、この実施例の発明者らは、特に前方に伸びる両側の一対の脚部１１０の間の空間１３０と脚部１１０の上部空間１３１がデッドスペースとなることに着目し、この空間１３０と上部空間１３１を観察者の作業スペースとして活用することを着想した。特に、この空間１３０は大型の電子顕微鏡であれば、観察者が十分に作業できる横幅を備えることができる。そして、この空間１３０は、架台筐体１００の上面のほぼ中央配置される鏡筒部２００に近距離でアクセスできる位置でもあるので、試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れや、観察窓部２５０での観察に極めて有効な位置となる。
【００３７】
また、前方または両側に伸びる脚部１１０は、架台筐体１００の安定設置には有効であるが、作業者にとっては足を引っ掛けてしまうなどの安全性に課題が残る。また、この脚部１１０全体を箱型のシールドカバー４０で覆うと、シールドカバー４０の大型化を招き、接地性に課題が残る。そこで、この実施例の発明者らは、前方または両側に伸びる脚部１１０の上部のデッドスペースとなる上部空間１３１を作業台とすることを着想した。
【００３８】
そして、この２つのデッドスペースの課題を解決する手段として、本発明者らは、一対の脚部１１０の間の空間１３０に対応して切り欠かれ、一対の脚部１１０の上部を覆うテーブル面３８０を設けることを着想した。そしてこのテーブル面３８０は、凹部空間部３５０の下面と連続するように形成した。これにより、観察者はテーブル面３８０に形成した切欠部３８１に体を挿入して観察窓部２５０を介しての観察が可能である。また同様に、この切欠部３８１に体を挿入して試料挿入部２２０への試料の出し入れの作業を容易に行うことができる。また、切欠部３８１の両側には、凹部空間部３５０の下面と連続する作業面が形成されるので、広いテーブル面３８０での作業が容易となる。
【００３９】
さて、この実施例では、鏡筒部２００を備えた架台筐体１００を接地面に設置した後で、この電子顕微鏡本体部３０の接地とは独立してシールドカバー４０を接地する。これにより、シールドカバー４０に受ける振動が電子顕微鏡本体部３０に波及することを軽減することができる。ここで、シールドカバー４０は、Ｌ型または角材などから構成される骨組筺体３００と、その周囲を囲む板材３１０とから構成する。骨組筺体３００は、複数に分割されたユニットを設置場所で組み立て、その組み立てが終了した骨組筺体３００に板材３１０を張る構造としている。
【００４０】
ここで、この実施例に係る骨組筺体３００は、脚部１１０の上方の上部空間１３１から架台筐体１００の前部上方の位置にテーブル面３８０を支持するテーブル支持部２９０を備え、このテーブル支持部２９０にテーブル面３８０を取り付ける構造としている。
【００４１】
また、この実施例に係る骨組筺体３００は、凹部空間部３５０とシールド空間３２０を上下に分割する複数の横桟部３９０を備えている。これにより、第１開口部３３０と第２開口部３４０と凹部空間部３５０を上下に区分けすることができる。この実施例では、第１開口部３３０と第２開口部３４０を第1横桟部２９１で分割し、第２開口部３４０と凹部空間部３５０を第２横桟部２９２で分割する。
【００４２】
そして、骨組筺体３００の両側に設けたヒンジ機構４００を介して、第１開口部３３０を覆う一対の第１開閉扉３７１と第２開口部３４０を覆う一対の第２開閉扉３７２をそれぞれ開閉可能に取り付ける構造としている。ここで、凹部空間部３５０に第３開閉扉３７３（図１参照）を開閉可能に取り付ける場合は、骨組筺体３００の両側に設けたヒンジ機構４００を介して取り付けるようにする。
【００４３】
なお、この実施例では、鏡筒部２００を露出する第１開口部３３０と第２開口部３４０の後方には、シールド空間３２０を前後に分割する仕切り壁３１１を設けるようにしている。これにより、電子銃２１０のメンテナンスや試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れの際に作業者が不用意に鏡筒部２００以外の機器に触れたり、あるいは、作業工具を後方のシールド空間３２０に落下させることを軽減することができるとともに、解放時の意匠性をも向上させることができる。ここで、この仕切り壁３１１は、ネジなどを介して、簡単に着脱可能に取り付ける構造としている。
【００４４】
図４を参照して、この実施例に係る電子顕微鏡２０の使用形態を説明する。図４において、この実施例では、電子顕微鏡２０の全体の高さＨが３１００ｍｍの事例を図示している。この大きさの電子顕微鏡２０によれば、床面からテーブル面３８０までの高さＨ１が７９５ｍｍ、第２開閉扉３７２の下端部までの高さＨ２が１４７０ｍｍ、第１開閉扉３７１の下端部までの高さＨ３が２４２０ｍｍに設定される。
【００４５】
また、図４には、成人アジア女性の５％タイル（１４７５ｍｍ）のモデルと、成人米国男性９５％タイル（１８９５ｍｍ）のモデルを図示している。（ａ）図は、各モデルの座位姿勢を示し、（ｂ）図は各モデルの立位の姿勢を示している。一般的、人体計測値の機器への応用を考えた場合、パーセントタイルが平均値参考数値として用いられる。特に、使用者が不特定多数の公共性の高い機器などでは、男性９５％タイル値（高めの人）から、女性の５％タイル値（低めの人）の幅広い範囲の人を対象にして、機器の開発が行われている。この実施例では、この公共性の高いパーセントタイルを用いている。
【００４６】
図から明らかなように、この大きさの電子顕微鏡であれば、成人米国男性は座位姿勢で観察窓部２５０を介しての観察作業を容易に行うことができるとともに、立位姿勢では試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れを行うことができる。一方、成人アジア女性では、座位姿勢で観察窓部２５０を介しての観察作業は無理な姿勢となるが、立位姿勢では良好な観察姿勢を得ることができる。なお、成人アジア女性が座位姿勢で観察する場合は、椅子の高さを調整することで対応することができる。また、成人アジア女性の場合は、立位姿勢での試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れは無理なため、台を使っての作業となる。この場合、切欠部３８１を利用して、台を設置することができる。
【００４７】
ここで、この実施例によれば、座位姿勢では、テーブル面３８０の下方に凹状の下肢空間部３６０が形成されるので、良好な座位姿勢を得ることができる。
【００４８】
なお、この実施例では、電子顕微鏡２０の全体の高さＨが３１００ｍｍの事例で説明したが、分解能の性能変化に対応して、高さＨが２８００ｍｍから４０００ｍｍを想定して設計している。しかし、これらの高さの変化は、第２開閉扉３７２の下端部までの高さＨ２まではほぼ同じ高さに設定することができる。したがって、分解能の性能が異なっても観察窓部２５０の作業姿勢を前記したと同様な姿勢で行うことができる。ただ、分解能の性能が異なると試料挿入部２２０の位置が高くなる。このため、必要により台を用いた試料２２１の出し入れを想定している。
【００４９】
また、この実施例では、シールド空間３２０内のメンテナンスを床面あるいは台上での立位姿勢により行うこととなる。この場合、開閉蓋３７０を開閉して作業を行うこととなる。特に、台上での立位姿勢では、足場が悪いために、開閉作業とメンテナンスの作業を別々に行わなければならないことも想定される。これを、図５を参照して説明する。
【００５０】
図５において、（ａ）図は、この実施例に係る開閉蓋３７０を占めた状態の横断面図であり、（ｂ）図が開閉蓋３７０を解放した状態の横断面図であり、（ｂ）図は一枚の開閉扉を解放した状態の横断面図である。
【００５１】
この実施例では、上部カバー４２の横幅Ｗを約１３００ｍｍに設定している。（ｃ）図に示すように、このような横幅Ｗを一枚の開閉扉３７０で開閉すると、その開閉扉３７０が可動する範囲は大きいものとなる。したがって、このような開閉扉３７０を開閉するには、作業者は、台上で解放動作の初期段階を行った後、台から降りて開閉扉３７０を大きく開放し、その後で、台に再び乗ってメンテナンス作業を継続しなければならない。
【００５２】
一方、この実施例によれば、開閉扉３７０を左右に配置される一対の観音扉構造としているために、前記（ｃ）図の開閉動作を大きく改善することができる。つまり、（ｂ）図のように、台上の作業者は、一方の開閉扉３７０を解放した後で、他の開閉扉３７０を解放することができるので、解放作業を大きく改善することができる。しかも、この実施例では、一対の開閉蓋３７０の中央の分断部４１０を凹状とするハンドル手掛け凹部４１１を形成し、この手掛け凹部４１１に開閉蓋３７０の高さいっぱいまで伸びる手掛け部４１２を設けたので、高さ方向のどの位置からでも解放動作を行うことができる。しかも、この開閉蓋３７０では、上下に分割されて積層配置される複数の開閉蓋３７０を上下に連続するように手掛け凹部４１１と手掛け部４１２を形成しているので、取扱い性に加えて意匠性をも向上させることができる。
【００５３】
次に、図６を参照して、電子顕微鏡２０の他の応用例を説明する。この図６に示す電子顕微鏡２０は、下部シールドカバー４１の上部の投影面積内に、一回り小さい面積の上部カバー４２を設置した構造を備えたシールドカバー４０を備えている。この構造によれば、下部シールドカバー４１内に設けられる架台筐体１００を接地面積が大きいものを採用することができるので電子顕微鏡２０の安定設置が可能である。この場合、下部シールドカバー４１の上部カバー４２で覆われない下部シールドカバー４１の上面周囲を利用して補助具や試料などの載置面２９５として活用できる。
【００５４】
また、通常、下部シールドカバー４１を大きくすると、上部カバー４２内に設けられる電子銃２１０のメンテナンスや試料挿入部２２０への試料２２１の出し入れに不具合が生じる。しかし、この実施例では、下部シールドカバー４１に設けられる切欠部３８１を備えたテーブル面３８０によれ、前記不具合を改善することができる。
【００５５】
なお、この図６では、下部シールドカバー４１の両側が、その上面に載置面２９５が形成されるように外側に張り出して形成される事例で説明した。しかし、図３に示すように、下部シールドカバー４１と上部カバー４２の両側面を連続するように形成しても、テーブル面３８０を設けることで、同様な作用効果を得ることができる。
【００５６】
このように、この実施例に係る電子顕微鏡２０では、電子顕微鏡本体部２０を覆うシールドカバー４０を、架台筐体１００を覆う下部シールドカバー４１と、架台筐体１００の上部に設置される鏡筒部２００を覆う上部カバー４２とに分割し、上部カバー４２の前面部を、シールド空間３２０上に配置される電子銃２１０の前面部に対応した第１開閉扉３７１を備えた第１開口部３３０と、シールド空間３２０上に配置される観察対象の出し入れを行う試料挿入部２２０に対応した第２開閉扉３７２を備えた第２開口部３４０と、観察窓部２５０に対応してシールド空間３２０内に張り出して形成される凹部空間部３５０とを備えた構造とし、前記架台筐体１００の前部は、架台筐体１００の両側に張り出した脚部１１０の投影面積上に配置されるテーブル面３８０を備え、このテーブル面３８０は、前部の中央部が切り欠かれるとともに、凹部空間部３５０の下部と連続して形成するようにしている。ここで、凹部空間部３５０は、その前部を第２開閉扉３７２と連続する第３開閉扉３７３で構成するようにしてもよい。また、第１、第２、第３開閉扉３７１、３７２、３７３は、その中央で左右に解放可能な観音開きの開閉扉３７０とするようにしてもよい。
【００５７】
この実施例によれば、電子顕微鏡本体部３０を覆うシールドカバー４０を、架台筐体１００を覆う下部シールドカバー４１と、架台筐体１００の上部に設置される鏡筒部２００を覆う上部カバー４１とに分割することで、安定設置のために広い接地空間が必要な架台筐体１００を大きな下部シールドカバー４１で覆い、この大きな下部シールドカバー４１に左右されることなく、上部シールドカバー４２をその上部に設けることができる。これにより、低重心で安定感を印象付ける構造とすることができる。
【００５８】
また、上部シールドカバー４２の前面に、シールド空間３２０を解放する２つの開口部（第１開口部３３０、第２開口部３４０）を解放可能な２つの開閉扉（第１開閉扉３７１、第２開閉扉３７２）を備えることで、使用頻度のある試料の出し入れの際のシールド効果を最小限にとどめるとともに、メンテナンスでは大きく開放することができる。また、シールド空間３２０に張り出すように凹部空間部３５０を設けたので、この凹部空間部３５０を利用して、観察機器や装備品収納スペースとして活用することができる。
【００５９】
また、安定設置のために必要な脚部１１０の上部をテーブル面３８０として活用することができるとともに、その中央を切り欠くことで、安定設置の機能を阻害することなく、着座姿勢や試料の出し入れやメンテナンスでの下肢空間を確保することができる。そして、このテーブル面３８０を凹部空間部３５０の下部と連続させることで、テーブル面３８０の有効利用を向上させることができる。
【００６０】
また、凹部空間部３５０に開閉扉（第３開閉扉３７３）を備えることにより、塵埃など影響を顕現しつつ、目隠しされる空間の確保することができる。加えて、開閉扉（第３開閉扉３７３）を観音扉とすることにより、解放時の軌道を最小限にすることができる。
【００６１】
上記では、本発明の一例において、鏡筒部と、この鏡筒部を支持する架台筐体の外周をシールドカバーで覆った電子顕微鏡であって、前記シールドカバーは、試料挿入部を露出させる開閉可能な蓋を有する開口部を少なくとも有し、架台筐体に形成される凹状の下肢空間部とを備え、前記下肢空間部は中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出した形状であることを特徴とする電子顕微鏡について説明してきた。
【００６２】
またさらに具体的には、電子顕微鏡本体部を覆うシールドカバーを、架台筐体を覆う下部シールドカバーと、架台筐体の上部に設置される鏡筒部を覆う上部シールドカバーとに分割し、上部シールドカバーの前面部を、シールド空間上に配置される電子銃の前面部に対応する第１開閉扉を備えた第１開口部と、シールド空間上に配置される観察対象の試料の出し入れを行う試料挿入部に対応する第２開閉扉を備えた第２開口部と、観察窓部に対応してシールド空間内に張り出して形成される凹部空間部とを備えた構造とし、前記架台筐体の前部は、架台筐体の両側に張り出した脚部の投影面積上に配置されるテーブル面を備え、このテーブル面は、前部中央部が切り欠かれるとともに、凹部空間部の下部と連続して形成された電子顕微鏡について説明してきた。
【００６３】
ここで、凹部空間部は、その前部を第２開閉扉と連続する第３開閉扉で構成するとよい。また、第１、第２、第３開閉扉は、その中央で左右に解放可能な観音開きの開閉扉とするとよい。
【００６４】
本実施例では、電子顕微鏡本体部を覆うシールドカバーを、架台筐体を覆う下部シールドカバーと、架台筐体の上部に設置される電子顕微鏡本体部を覆う上部カバーとに分割することで、安定設置のために広い接地空間が必要な架台筐体を大きな下部シールドカバーで覆い、この大きな下部シールドカバーに左右されることなく、上部シールドカバーをその上部に設けることができる。これにより、低重心で安定感を印象付ける構造とすることができる。
【００６５】
また、上部シールドカバーの前面に、シールド空間を解放する２つの開口部を解放可能な２つの開閉扉を備えることで、使用頻度のある試料の出し入れの際のシールド効果を最小限にとどめるとともに、メンテナンスでは大きく開放することができる。また、シールド空間に張り出すように凹部空間部を設けたので、この凹部空間部を利用して、観察機器や装備品収納スペースとして活用することができる。
【００６６】
また、安定設置のために必要な脚部の上部をテーブル面として活用することができるとともに、その中央を切り欠くことで、安定設置の機能を阻害することなく、着座姿勢や試料の出し入れやメンテナンスでの下肢空間を確保することができる。そして、このテーブル面を凹部空間部の下部と連続させることで、テーブル面の有効利用を向上させることができる。
【００６７】
また、凹部空間部に開閉扉を備えることにより、塵埃など影響を顕現しつつ、目隠しされる空間の確保することができる。加えて、開閉扉を観音扉とすることにより、解放時の軌道を最小限にすることができる。
【符号の説明】
【００６８】
１…電子顕微鏡システム、２０…電子顕微鏡、３０…電子顕微鏡本体部、４０…シールドカバー、４１…下部シールドカバー、４２…上部カバー、５０…モニタ装置、５１…ディスプレイ部、５２…入力装置、５３…制御装置、１００…架台筐体、１１０…脚部、１２０…台部、１３０…空間、１３１…上部空間、２００…鏡筒部、２１０…電子銃、２１５…コンデンサレンズ、２２０…試料挿入部、２２１…試料、２２５…対物レンズ、２２６…中間レンズ、２２７…投影レンズ、２２８…対物絞り手段、２３０…蛍光板部、２４０…カメラ部、２５０…観察窓部、３００…骨組筺体、３１０…板材、３１１…仕切り壁、３２０…シールド空間、３２１…区画部、３３０…第１開口部、３４０…第２開口部、３５０…凹部空間部、３６０…下肢空間部、３７０…開閉蓋、３７１…第１開閉扉、３７２…第２開閉扉、３７３…第３開閉扉、３８０…テーブル面、３８１…切欠部、３９０…横桟部、２９１…第1横桟部、２９２…第２横桟部、２９５…載置面、４００…ヒンジ機構、４１０…分断部、４１１…手掛け凹部、４１２…手掛け部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鏡筒部と、この鏡筒部を支持する架台筐体の外周をシールドカバーで覆った電子顕微鏡であって、
前記シールドカバーの前面部は、前記鏡筒部の最上部に配置される電子銃を露出させる第１開口部と、前記鏡筒部の中段に配置される試料挿入部を露出させる第２開口部と、前記鏡筒部の下方に配置される観察窓部を露出させる凹部空間部と、その上部に鏡筒部を支持する前記架台筐体に形成される凹状の下肢空間部とに上下に分割され、
前記第１開口部と前記第２開口部にはそれぞれシールド空間を構成する開閉蓋を備え、前記凹部空間部と前記下肢空間部との間には中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出したテーブル面を備えていることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項２】
請求項１記載の電子顕微鏡において、
前記凹部空間部に、その上部に配置される前記開閉扉と連続する開閉扉を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項３】
請求項１または２記載の電子顕微鏡において、
前記電子顕微鏡本体部を覆うシールドカバーを、前記架台筐体を覆う下部シールドカバーと、前記架台筐体の上部に設置される前記鏡筒部を覆う上部カバーとに分割したことを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項４】
鏡筒部と、この鏡筒部を支持する架台筐体の外周をシールドカバーで覆った電子顕微鏡であって、前記シールドカバーは、試料挿入部を露出させる開閉可能な蓋を有する開口部を少なくとも有し、架台筐体に形成される凹状の下肢空間部とを備え、
前記下肢空間部は中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出した形状であることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項５】
請求項４に記載の電子顕微鏡において、
前記下肢空間部における両側の張り出し部分の上部にテーブル面を設けることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項６】
請求項４に記載の電子顕微鏡において、
前記開口部よりも下方に、さらに、開閉可能な蓋を有する開口部を有することを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項１】
鏡筒部と、この鏡筒部を支持する架台筐体の外周をシールドカバーで覆った電子顕微鏡であって、
前記シールドカバーの前面部は、前記鏡筒部の最上部に配置される電子銃を露出させる第１開口部と、前記鏡筒部の中段に配置される試料挿入部を露出させる第２開口部と、前記鏡筒部の下方に配置される観察窓部を露出させる凹部空間部と、その上部に鏡筒部を支持する前記架台筐体に形成される凹状の下肢空間部とに上下に分割され、
前記第１開口部と前記第２開口部にはそれぞれシールド空間を構成する開閉蓋を備え、前記凹部空間部と前記下肢空間部との間には中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出したテーブル面を備えていることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項２】
請求項１記載の電子顕微鏡において、
前記凹部空間部に、その上部に配置される前記開閉扉と連続する開閉扉を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項３】
請求項１または２記載の電子顕微鏡において、
前記電子顕微鏡本体部を覆うシールドカバーを、前記架台筐体を覆う下部シールドカバーと、前記架台筐体の上部に設置される前記鏡筒部を覆う上部カバーとに分割したことを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項４】
鏡筒部と、この鏡筒部を支持する架台筐体の外周をシールドカバーで覆った電子顕微鏡であって、前記シールドカバーは、試料挿入部を露出させる開閉可能な蓋を有する開口部を少なくとも有し、架台筐体に形成される凹状の下肢空間部とを備え、
前記下肢空間部は中央が凹状に切り欠かれ、その両側が前方に張り出した形状であることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項５】
請求項４に記載の電子顕微鏡において、
前記下肢空間部における両側の張り出し部分の上部にテーブル面を設けることを特徴とする電子顕微鏡。
【請求項６】
請求項４に記載の電子顕微鏡において、
前記開口部よりも下方に、さらに、開閉可能な蓋を有する開口部を有することを特徴とする電子顕微鏡。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−１４６２１５（Ｐ２０１１−１４６２１５Ａ）
【公開日】平成２３年７月２８日（２０１１．７．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−５４３２（Ｐ２０１０−５４３２）
【出願日】平成２２年１月１４日（２０１０．１．１４）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【公開日】平成２３年７月２８日（２０１１．７．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１月１４日（２０１０．１．１４）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
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