説明

TARヘッド内のレーザーダイオード用の電気的接続

【課題】TARヘッド内のレーザーダイオード用の電気的接続を提供する。
【解決手段】本発明は、一般に、HDD内のTARヘッドのスライダ及びヘッド組立体に対するレーザーダイオードの電気的接続に関する。レーザーダイオードは、サブマウントに結合される。レーザーダイオード及びサブマウントは、スライダ及び/又はヘッド組立体の上部表面に結合される。スライダ、ヘッド組立体、又はこれらの両方は、レーザーダイオード及びサブマウントの両方に対する電気的接続を提供するためにその個々の上部表面を通じて露出した接合パッドを有する。レーザーダイオード及びサブマウントは、いずれも、接合パッドに垂直であると共に接合パッドとの接触状態にある電極をその上部に有する。導電性接合材料を使用し、レーザーダイオード及びサブマウントを接合パッドに接合するのみならず、接合パッドを電極に電気的に接続している。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明の実施形態は、一般に、ハードディスク駆動装置(Hard Disk Drive:HDD)内の熱アシスト記録(Thermal Assisted Recording:TAR)読取り/書込みヘッドに関する。
【背景技術】
【0002】
ディスク駆動装置に使用される磁気媒体内における高ストレージビット密度により、データセルのサイズ(容積)は、セルの寸法が磁性材料の粒子サイズによって制限されるところまで低減されている。粒子サイズを更に低減することはできるが、セル内に保存されたデータの熱安定性が低下することになろう。即ち、周囲温度におけるランダムな熱揺らぎが、データを消去するのに十分なものとなろう。この状態は、超常磁性限界と呼ばれ、これにより、所与の磁気媒体の理論的な最大ストレージ密度が決定される。この限界は、磁気媒体の保磁力を増大させることにより、或いは、温度を低減することにより、上昇させてもよいが、温度の低減は、消費者用の市販のハードディスク駆動装置を設計する際には、常に実施可能というわけではないであろう。その一方で、保磁力の増大には、高磁気モーメント材料を内蔵した書込みヘッド又は垂直記録などの技法(或いは、これらの両方)が必要となる。
【0003】
更なる解決策が1つ提案されており、この解決策は、熱を使用して磁気媒体表面上の局所的領域の有効保磁力を低下させ、且つ、この加熱された領域内にデータを書き込んでいる。媒体を周囲温度まで冷却した際に、データ状態は「固定」状態となる。この技法は、広くは、TAR又は熱アシスト磁気記録(Thermally Assisted Magnetic Recording:TAMR)、エネルギーアシスト磁気記録(Energy Assisted Magnetic Recording:EAMR)、或いは、熱アシスト磁気記録(Heat−Assisted Magnetic Recording:HAMR)と呼ばれており、本明細書においては、これらの名称は、相互交換可能に使用される。TARは、水平及び垂直記録システム並びに「ビットパターン媒体」に対して適用することができる。媒体表面の加熱は、合焦レーザービームや近接場光源などのいくつかの技法によって実現されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明は、一般に、HDD内のTARヘッドのスライダ及びヘッド組立体に対するレーザーダイオードの電気的接続に関する。レーザーダイオードは、サブマウントに結合される。レーザーダイオード及びサブマウントは、スライダ及び/又はヘッド組立体の上部表面に結合される。スライダ、ヘッド組立体、或いは、これらの両方は、レーザーダイオード及びサブマウントの両方に対する電気的接続を提供するためにその個々の上部表面を通じて露出した接合パッドを有する。レーザーダイオード及びサブマウントは、いずれも、接合パッドに垂直であると共に接合パッドとの接触状態にある電極をその上部に有する。導電性接合材料を使用し、レーザーダイオード及びサブマウントを接合パッドに接合するのみならず、接合パッドを電極に電気的に接続している。
【課題を解決するための手段】
【0005】
一実施形態においては、熱アシスト記録ヘッドは、スライダと、スライダに結合されたヘッド組立体であって、ヘッド組立体は、エアベアリング表面と、エアベアリング表面の反対側の上部表面と、を有し、ヘッド組立体は、絶縁材料と、絶縁材料内に埋め込まれた接合パッドと、を有し、接合パッドは、上部表面を通じて露出している、ヘッド組立体と、スライダ及びヘッド組立体の上部表面との接触状態にある下部表面を有するレーザーダイオードであって、接合パッドに垂直に延在すると共に接合パッドと近接した状態にある電極を有するレーザーダイオードと、接合パッド及び電極に結合された導電性接合材料と、を有する。
【0006】
別の実施形態においては、熱アシスト記録ヘッドは、スライダであって、スライダの上部表面上に製造された第1接合パッドを有するスライダと、スライダに結合されたヘッド組立体であって、ヘッド組立体は、エアベアリング表面と、エアベアリング表面の反対側の上部表面と、を有し、ヘッド組立体は、絶縁材料と、絶縁材料内に埋め込まれた第2接合パッドと、を有し、第2接合パッドは、上部表面を通じて露出している、ヘッド組立体と、第1接合パッド及び第2接合パッドに結合された導電性トレースと、スライダ及びヘッド組立体の上部表面との接触状態にある下部表面を有するレーザーダイオードであって、第1接合パッドに垂直に延在すると共に第1接合パッドに近接した状態にある電極を有するレーザーダイオードと、第1接合パッド及び電極に結合された導電性接合材料と、を有する。
【0007】
別の実施形態においては、熱アシスト記録ヘッドは、スライダと、スライダの上部表面上に製造された接合パッドと、スライダに結合されたヘッド組立体であって、ヘッド組立体は、エアベアリング表面と、エアベアリング表面の反対側の上部表面と、を有し、ヘッド組立体は、絶縁材料を有する、ヘッド組立体と、スライダ及びヘッド組立体の上部表面との接触状態にある下部表面を有するレーザーダイオードであって、接合パッドに垂直に延在すると共に接合パッドに近接した状態にある電極を有するレーザーダイオードと、接合パッド及び電極に結合された導電性接合材料と、を有する。
【0008】
上述の本発明の特徴を詳細に理解することができるように、以上において簡潔に概説した本発明について、添付図面にそのいくつかが示されている実施形態を参照し、更に具体的に説明することとする。但し、添付図面は、本発明の代表的な実施形態を示すものに過ぎず、且つ、従って、本発明には、その他の同様に有効な実施形態も可能であることから、これらの図面は、本発明の範囲の限定として見なすべきではないことに留意されたい。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【図1A−1B】本発明の実施形態によるディスク駆動装置システムを示す。
【図2A】結合されたスライダ、レーザーダイオード、及びサブマウントを有するサスペンションの等角図である。
【図2B】図2Aの拡大図である。
【図3A−3B】一実施形態によるTARヘッドの概略平面図及び断面図である。
【図4A−4B】一実施形態によるTARヘッドの概略平面図及び断面図である。
【図5A−5B】一実施形態によるTARヘッドの概略平面図及び断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0010】
理解を容易にするために、可能な限り、同一の参照符号を使用して各図面に共通する同一の要素を表記している。1つの実施形態において開示されている要素は、具体的な記述を伴わない場合にも、その他の実施形態において有用に利用してもよいものと想定されている。
【0011】
以下においては、本発明の実施形態を参照している。但し、本発明は、特定の記述されている実施形態に限定されるものではないことを理解されたい。その代わりに、異なる実施形態に関係しているかどうかを問わず、以下の特徴及び要素の任意の組合せが、本発明を実装及び実施するために想定されている。更には、本発明の実施形態は、その他の可能な解決策を上回る且つ/又は従来技術を上回る利点を実現することになるが、本発明は、特定の利点が所与の実施形態によって実現されるかどうかによって限定されるものではない。従って、以下の態様、特徴、実施形態、及び利点は、例示を目的としたものに過ぎず、且つ、1つ又は複数の請求項に明示的に記述されている場合を除いて、添付の請求項の要素又は限定として見なすべきではない。同様に、「本発明」に対する参照も、本明細書に開示されている任意の発明主題の一般化として解釈するべきではなく、且つ、1つ又は複数の請求項に明示的に記述されている場合を除いて、添付の請求項の要素又は限定として見なすべきではない。
【0012】
本発明は、一般に、HDD内のTARヘッドのスライダ及びヘッドアセンブリに対するレーザーダイオードの電気的接続に関する。レーザーダイオードは、サブマウントに結合される。レーザーダイオード及びサブマウントは、スライダ及び/又はヘッド組立体の上部表面に結合される。スライダ、ヘッド組立体、又はこれらの両方は、レーザーダイオード及びサブマウントの両方に対する電気的接続を提供するためにその個々の上部表面を通じて露出した接合パッドを有する。レーザーダイオード及びサブマウントは、いずれも、接合パッドに垂直であると共に接合パッドに近接した状態にある電極をその上部に有する。導電性接合材料を使用し、レーザーダイオード及びサブマウントを接合パッドに接続するのみならず、接合パッドを電極に電気的に接続している。
【0013】
図1Aは、本発明を実施するディスク駆動装置100を示している。図示のように、少なくとも1つの回転可能な磁気ディスク112が、スピンドル114上において支持されており、且つ、ディスク駆動モーター118によって回転する。それぞれのディスク上の磁気記録は、磁気ディスク112上の同心データトラックの環状パターン(図示されてはいない)の形態を有する。
【0014】
少なくとも1つのスライダ113が、磁気ディスク112の近傍に配置され、それぞれのスライダ113は、1つ又は複数の磁気ヘッド組立体121を支持しており、これらの磁気ヘッド組立体121は、ディスク表面122を加熱するための放射源(例えば、レーザー又は電気抵抗ヒーター)を含んでもよい。磁気ディスクが回転するのに伴って、スライダ113は、ディスク表面122上において半径方向を内向き及び外向きに運動し、この結果、磁気ヘッド組立体121は、磁気ディスクの異なるトラックに対してアクセスしてもよく、そこで、望ましいデータが書き込まれる。それぞれのスライダ113は、サスペンション115によってアクチュエータアーム119に装着されている。サスペンション115は、ディスク表面122に対してスライダ113を付勢するわずかなスプリング力を提供する。それぞれのアクチュエータアーム119は、アクチュエータ127に装着されている。図1Aに示されているアクチュエータ127は、ボイスコイルモーター(Voice Coil Motor:VCM)であってよい。VCMは、固定磁界内において運動可能であるコイルを有し、コイルの運動の方向及び速度は、制御ユニット129によって供給されるモーター電流信号によって制御される。
【0015】
TAR対応型ディスク駆動装置100の動作の際には、磁気ディスク112の回転により、スライダ113とディスク表面122の間に、上向きの力又は揚力をスライダ113に対して作用させるエアベアリングが生成される。この結果、エアベアリングは、サスペンション115のわずかなスプリング力を相殺し、且つ、通常の動作の際に、わずかな実質的に一定の間隔だけ、ディスク112の表面から離れると共にわずかにその上方において、スライダ113を支持する。放射源は、高保磁力データビットを加熱させ、この結果、磁気ヘッド組立体121の書込み要素が、データビットを正しく磁化させることになろう。
【0016】
ディスクストレージシステムの様々なコンポーネントの動作は、アクセス制御信号及び内部クロック信号などの、制御ユニット129によって生成される制御信号によって制御される。通常、制御ユニット129は、論理制御回路、ストレージ手段、及びマイクロプロセッサを有する。制御ユニット129は、ライン123上の駆動モーター制御信号及びライン128上のヘッド位置及びシーク制御信号などの、様々なシステム動作を制御するための制御信号を生成する。ライン128上の制御信号は、スライダ113をディスク112上の望ましいデータトラックに最適に移動させると共に位置決めさせるための望ましい電流プロファイルを提供する。書込み及び読取り信号は、組立体121上の書込み及び読取りヘッドとの間において、記録チャネル125を経由して伝達される。
【0017】
一般的な磁気ディスクストレージシステム及び図1Aの添付図面に関する以上の説明は、例示を目的としたものに過ぎない。ディスクストレージシステムは、多数のディスク及びアクチュエータを含んでもよく、且つ、それぞれのアクチュエータは、いくつかのスライダを支持してもよいことが明らかであろう。
【0018】
図1Bは、本発明の一実施形態によるTAR対応型書込みヘッドの断面概略図である。ヘッド101は、レーザー駆動装置150によって電力供給されるレーザー155に対して動作可能に装着されている。ヘッド101は、レーザー155によって放出される放射を導波路135内に合焦するためのスポットサイズ変換器130を含む。別の実施形態においては、ディスク駆動装置100は、放出された放射がスポットサイズ変換器130に到達する前にレーザー155のビームスポットを合焦するための1つ又は複数のレンズを含んでもよい。導波路135は、ヘッド101の高さを貫通して、エアベアリング表面(ABS)に又はその近傍に配置された、例えば、プラズモン装置などの近接場トランスデューサ140まで放射を伝播させるチャネルである。近接場トランスデューサ140は、ディスク112上の隣接するデータトラックの加熱を回避するために、即ち、回折限度を格段に下回るビームスポットを生成するために、ビームスポットを更に合焦する。矢印142によって示されているように、この光学エネルギーは、近接場トランスデューサ140からヘッド101のABSの下方のディスクの表面122まで放出される。本明細書における実施形態は、任意の特定のタイプの近接場トランスデューサに限定されるものではなく、且つ、例えば、cアパーチャ、eアンテナプラズモン近接場源、又は当技術分野において既知の任意のその他の形状のトランスデューサと共に動作してもよい。
【0019】
図2Aは、結合されたスライダ218、レーザーダイオード206、及びサブマウント204を有するサスペンション202の等角図である。図2Bは、図2Aの拡大図である。尚、実施形態については、レーザーダイオードを参照して説明することとするが、これらの実施例は、具体的には、レーザーダイオード以外のエネルギー源に対しても適用可能であることを理解されたい。当業者であれば、レーザーダイオード以外のその他のエネルギー源が想定されることを理解するであろう。図2Aに示されているように、レーザーダイオード206及びサブマウント204は、サスペンション202内の開口部208を通じて延在している。電力は、電気リード220を介して、スライダ218に結合されたヘッド組立体222に供給される。スライダ218は、複数のヘッド接合パッド216を有しており、これらのヘッド接合パッド216を通じて、電力が電気リード220を介してスライダ218に供給される。電力をレーザーダイオード206に供給するために、レーザーダイオード206及びサブマウント204の両方の上部の電極210が、スライダ218に結合されたヘッド組立体222の上部の接合パッド212に電気的に結合されている。接合パッド212を電極210に接合するために、導電性材料214が利用されており、この結果、電流は、接合パッド212、導電性材料214、及び電極210を通じて流れることができる。
【0020】
TARの場合には、レーザーダイオードは、スライダ上に装着され、且つ、レーザーダイオードに対する電気的接続が施される。トップマウント型のレーザーダイオードの場合には、レーザーダイオードは、スライダの上部表面上に(即ち、ABSとは反対側に)配置される。図3A及び図3Bは、一実施形態によるTARヘッドの概略平面図及び断面図である。接合パッド310が、ヘッド組立体302の絶縁層の厚さの内部に製造されている(即ち、接合パッド310は、ヘッド組立体302の絶縁材料内に埋め込まれている)。絶縁層に使用してもよい適切な材料には、アルミナ(Al)が含まれる。接合パッド310は、ヘッド組立体302の上部表面を通じて露出している。レーザーダイオード306及びサブマウント304の電極316は、ヘッド組立体302の上部表面に対して垂直であり、且つ、露出した接合パッド310に対しても垂直である。レーザーダイオード306及びサブマウント304の下部表面は、それぞれ、スライダ300及び/又はヘッド組立体302のうちの1つ又は1つ以上との接触状態にある。スライダ本体300は、Al−Ti−Cなどの導電性材料を有しており、従って、絶縁体が、接合パッド310とスライダ300の間に配設される。更には、電極316は、接合パッド310に近接した状態にある。接合パッド310に対する良好な電気的接続を保証するために、導電性材料312を使用し、接合パッド310を電極316に接合するのみならず、電流が接合パッド310から電極316に流れることができるようにしている。電力が接合パッドに到達するように、電力は、コイル220に結合されたヘッド接合パッド308を通じてヘッド組立体302に供給される。ヘッド接合パッド308は、導電性トレース314を通じて接合パッド310に結合されている。図3A及ぶ図3Bに示されている実施形態においては、導電性トレース314は、ヘッド組立体302の絶縁材料内に埋め込まれている。
【0021】
図4A及び図4Bは、別の実施形態によるTARヘッドの概略平面図及び断面図である。図3A及び図3Bとまったく同様に、接合パッド310が、ヘッド組立体302の絶縁層の厚さの内部に製造されている。但し、サブマウント304及びレーザーダイオード306の上部の電極316の場所に起因し、更なる接合パッド404が、スライダ400の上部表面上に製造されている。又、スライダ400が導電性材料を有する場合には、絶縁層406を接合パッド404とスライダ400の間に製造することもできる。絶縁層406は、リソグラフィプロセスを利用することによって製造してもよい。ヘッド組立体302内の接合パッド310は、ヘッド組立体302及びスライダ400の両方の上部表面に沿って延在するトレース402により、スライダ400内の接合パッド404に電気的に接続されている。接合パッド310は、絶縁材料内において埋め込まれており、且つ、絶縁材料の上部表面を通じて露出した表面を有する。接合パッド404を電極316に接続するために、図3A及び図3Bとの関連において上述したように、導電性材料312が使用されている。
【0022】
図5A及び図5Bは、別の実施形態によるTARヘッドの概略平面図及び断面図である。図4A及び図4Bと同様に、接合パッド404が、スライダ500の上部表面上に製造されている。スライダ500が導電性材料を有する場合には、接合パッド404とスライダ500の間に絶縁層406を配設してもよい。但し、ヘッド組立体302の絶縁材料内に、接合パッド310は存在していない。ヘッド組立体302の絶縁材料内に接合パッド310が存在していないため、ヘッド接合パッドをヘッド組立体302内の接合パッド310に接続するヘッド組立体302の絶縁材料内に埋め込まれた導電性トレースも存在していない。その代わりに、スライダ500内に埋め込まれた接合パッド404は、スライダ500及びヘッド組立体302の上部表面に沿って延在すると共にヘッド組立体302の上部表面に垂直であるヘッド接合パッド308に直接的に接続する導電性トレース502を介して、ヘッド接合パッド308に直接的に接続されている。
【0023】
スライダ及び/又はヘッド組立体の上部表面上にレーザーダイオード及び/又はサブマウントの下部表面を配置することにより、TARヘッドを容易に組み立てることができる。具体的には、スライダ及び/又はヘッド組立体の上部表面を通じて露出した接合パッドに対して垂直のレーザーダイオード及び/又はサブマウント上の電極は、電極を接合パッドと接触させた後に、導電性エポキシやはんだなどの導電性材料を使用して接合パッドと電極を接合することにより、容易に電気的に接続することができる。露出した接合パッドは、周知の任意のリソグラフィプロセスによって形成してもよい。
【0024】
以上の内容は、本発明の実施形態を対象としているが、本発明の基本的な範囲を逸脱することなしに、本発明のその他の且つ更なる実施形態を考案してもよい。従って、本発明の範囲は、添付の請求項によって規定される。
【符号の説明】
【0025】
300、400、500 スライダ
302 ヘッド組立体
304 サブマウント
306 エネルギー源
310 接合パッド
316 電極
314、502 導電性トレース
【図1A】

【図1B】


【特許請求の範囲】
【請求項1】
スライダと、
前記スライダに結合されたヘッド組立体であって、前記ヘッド組立体は、エアベアリング表面と、前記エアベアリング表面の反対側の上部表面と、を有し、前記ヘッド組立体は、絶縁材料と、前記絶縁材料内に埋め込まれた接合パッドと、を有し、前記接合パッドは前記上部表面を通じて露出している、ヘッド組立体と、
前記スライダ及び前記ヘッド組立体の前記上部表面と接触状態にある下部表面を有するエネルギー源であって、前記接合パッドに垂直に延在すると共に前記接合パッドに近接した状態にある電極を有するエネルギー源と、
前記接合パッド及び前記電極に結合された導電性接合材料と、
を有する記録ヘッド。
【請求項2】
前記導電性接合材料は、導電性エポキシを有する、
請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項3】
前記導電性接合材料は、はんだを有する、
請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項4】
前記ヘッド組立体の前記上部表面を通じて露出している第2接合パッドと、
前記エネルギー源に結合されたサブマウントであって、前記第2接合パッドに垂直である第2電極を有するサブマウントと、
前記第2接合パッド及び前記第2電極に結合された第2導電性接合材料と、
を更に有する、
請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項5】
前記第2導電性接合材料は、導電性エポキシ及びはんだからなる群から選択される、
請求項4に記載の記録ヘッド。
【請求項6】
前記ヘッド組立体の前記絶縁材料内に埋め込まれた導電性トレースを介して前記第2接合パッドに結合されたヘッド接合パッドを更に有する、
請求項5に記載の記録ヘッド。
【請求項7】
前記ヘッド組立体の前記絶縁材料内に埋め込まれた導電性トレースを介して前記接合パッドに結合されたヘッド接合パッドを更に有する、
請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項8】
前記エネルギー源は、レーザーダイオードであり、且つ、前記記録ヘッドは、熱アシスト記録ヘッドである、
請求項1に記載の記録ヘッド。
【請求項9】
スライダであって、前記スライダの上部表面に製造された第1接合パッドを有するスライダと、
前記スライダに結合されたヘッド組立体であって、前記ヘッド組立体は、エアベアリング表面と、前記エアベアリング表面の反対側の上部表面と、を有し、前記ヘッド組立体は、絶縁材料と、前記絶縁材料内に埋め込まれた第2接合パッドと、を有し、前記第2接合パッドは前記上部表面を通じて露出している、ヘッド組立体と、
前記第1接合パッド及び前記第2接合パッドに結合された導電性トレースと、
前記スライダ及び前記ヘッド組立体の前記上部表面と接触状態にある下部表面を有するエネルギー源であって、前記第1接合パッドに垂直に延在すると共に前記第1接合パッドに近接した状態にある電極を有するエネルギー源と、
前記第1接合パッド及び前記電極に結合された導電性接合材料と、
を有する記録ヘッド。
【請求項10】
前記スライダと前記第1接合パッドの間に配設された絶縁層を更に有する、
請求項9に記載の記録ヘッド。
【請求項11】
前記導電性接合材料は、導電性エポキシを有する、
請求項9に記載の記録ヘッド。
【請求項12】
前記導電性接合材料は、はんだを有する、
請求項9に記載の記録ヘッド。
【請求項13】
前記スライダの前記上部表面に製造された第3接合パッドと、
前記ヘッド組立体の前記絶縁材料内に埋め込まれた第4接合パッドであって、前記ヘッド組立体の前記上部表面を通じて露出している第4接合パッドと、
前記第3接合パッド及び前記第4接合パッドに結合された第2導電性トレースと、
前記エネルギー源に結合されたサブマウントであって、前記第3接合パッドに垂直である第2電極を有するサブマウントと、
前記第3接合パッド及び前記第2電極に結合された第2導電性接合材料と、
を更に有する、
請求項9に記載の記録ヘッド。
【請求項14】
前記第2導電性トレースは、前記スライダの前記上部表面に沿って配設される、
請求項13に記載の記録ヘッド。
【請求項15】
前記ヘッド組立体の前記絶縁材料内に埋め込まれた導電性トレースを介して前記第4接合パッドに結合されたヘッド接合パッドを更に有する、
請求項14に記載の記録ヘッド。
【請求項16】
前記ヘッド組立体の前記絶縁材料内に埋め込まれた導電性トレースを介して前記第2接合パッドに結合されたヘッド接合パッドを更に有する、
請求項9に記載の記録ヘッド。
【請求項17】
前記エネルギー源は、レーザーダイオードであり、且つ、前記記録ヘッドは、熱アシスト記録ヘッドである、
請求項9に記載の記録ヘッド。
【請求項18】
スライダであって、前記スライダの上部表面に製造された接合パッドを有するスライダと、
前記スライダに結合されたヘッド組立体であって、前記ヘッド組立体は、エアベアリング表面と、前記エアベアリング表面の反対側の上部表面と、を有し、前記ヘッド組立体は絶縁材料を有する、ヘッド組立体と、
前記スライダ及び前記ヘッド組立体の前記上部表面と接触状態にある下部表面を有するエネルギー源であって、前記接合パッドに垂直に延在すると共に前記接合パッドに近接した状態にある電極を有するエネルギー源と、
前記接合パッド及び前記電極に結合された導電性接合材料と、
を有する記録ヘッド。
【請求項19】
前記スライダと前記接合パッドの間に配設された絶縁層を更に有する、
請求項18に記載の記録ヘッド。
【請求項20】
前記導電性接合材料は、導電性エポキシを有する、
請求項18に記載の記録ヘッド。
【請求項21】
前記導電性接合材料は、はんだを有する、
請求項18に記載の記録ヘッド。
【請求項22】
前記スライダの前記上部表面に製造された第2接合パッドと、
前記エネルギー源に結合されたサブマウントであって、前記第2接合パッドに垂直である第2電極を有するサブマウントと、
前記第2接合パッド及び前記第2電極に結合された第2導電性接合材料と、
を更に有する、
請求項18に記載の記録ヘッド。
【請求項23】
前記エアベアリング表面に垂直の前記ヘッド組立体の表面から延在するヘッド接合パッドを更に有し、前記ヘッド接合パッドは導電性トレースを介して前記接合パッドに結合される、
請求項22に記載の記録ヘッド。
【請求項24】
前記導電性トレースは、前記スライダ及び前記ヘッド組立体の前記上部表面に沿って配設される、
請求項23に記載の記録ヘッド。
【請求項25】
前記エネルギー源は、レーザーダイオードであり、且つ、前記記録ヘッドは、熱アシスト記録ヘッドである、
請求項18に記載の記録ヘッド。

【図2A】
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【図2B】
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【図3A】
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【図3B】
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【図4A】
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【図4B】
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【図5A】
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【図5B】
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