【課題】 配線金属膜の表面を酸化や汚染などのダメージから保護し、その後の平坦化工程をより容易しつつ、配線を形成できるようにする。
【解決手段】 絶縁膜内に配線用凹部４２を形成し表面をバリア膜４４で覆った基板Ｗを用意し、基板Ｗの表面に配線金属膜４８を形成して配線用凹部４２内に配線金属を埋込み、配線金属膜４８の表面に高分子保護膜５０を形成する。 （もっと読む）

本発明は、各種処理廃水から金属イオンを除去・回収する装置に関する。この方法は、廃水から酸化剤を分解および除去する酸化剤除去装置と、酸化剤除去装置から排出された廃水から金属イオンを回収する電気析出装置（２１）とを備えている。電気析出装置は、電極と、電極間にイオン交換体を有する。
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【課題】中圧紫外線ランプの力率を改善（０．９５５〜０.９６０）し、省エネルギーで安定した処理液の処理が可能な紫外線照射装置を提供すること。
【解決手段】紫外線モニタ装置４で検出された現在の紫外線照射強度値をＩ₀、紫外線モニタ装置４の紫外線測定ヘッドの先端と保護管１０の間隔を反射紫外線等の外来ノイズを排除できる所定距離に設定した場合の現在の処理液の透過率をＴ₁₀、該紫外線モニタ装置４設定時の処理液の透過率をＴ₁₀’とした場合、下記の式を用いて現在の紫外線照射強度値Ｉ₀を透過率で補正した紫外線照射強度値Ｉ_ORを求め、該紫外線照射強度値Ｉ_ORと紫外線照射強度値Ｉ₀を比較することにより、中圧紫外線ランプ９の劣化、紫外線モニタ装置４の紫外線測定ヘッド又は保護管の汚染を検出する検出手段を設けた。
Ｉ_OR＝Ｉ₀×Ｔ₁₀’／Ｔ₁₀ （もっと読む）

【課題】 消化ガスからシロキサン化合物の除去とメタン濃縮とを、長期間安定して行うことができる消化ガスの精製装置と方法と提供する。
【解決手段】 シロキサン化合物を含有する消化ガスの精製装置であって、該装置が、シロキサン化合物除去部５と、その下流側にメタン濃縮部７とを有する消化ガスの精製装置としたものであり、前記メタン濃縮部７が、二酸化炭素吸着剤を充填した複数の充填層８を有し、該充填層を交互に再生するための再生手段１０，１１，１２を有する圧力スウィング吸着装置を備え、前記シロキサン化合物除去部５が、シロキサン化合物吸着剤を充填した充填層６、又は、該充填層を複数備え、交互に再生するための再生手段を有する圧力スウィング又は熱スウィング吸着装置を備えることができ、前記メタン濃縮部の再生処理により発生するガスを、シロキサン吸着剤の再生の際のパージガスとして使用できる。 （もっと読む）

【課題】個別に噴霧装置、吸着装置を設けることなく、燃焼炉排ガス中の塩化水素ガス、重金属類及びダイオキシン類等の有害物質を、低温でも効率的に処理することができる有害物質除去剤を提供する。
【解決手段】本発明は、ダイオキシン類処理剤と消石灰粉末とを含むことを特徴とする、燃焼炉からの排ガス中に含まれる有害物質を処理するための有害物質除去剤に関する。 （もっと読む）

【課題】吐出し口に接続された吐出し口配管の内部の水を外部に容易に排水する水中ポンプ用降水弁の提供。
【解決手段】出し口配管３に接続され内部に流路Ｆを有し全体的に筒状のバルブボディ５を備え、そのバルブボディ５の側部Ｂ５に前記流路Ｆと連通孔６を介して連通し内部に弁体８を収容する弁室７を備え、その弁体８の弁座９を備えた中空部１６を有する中空の弁蓋１０が設けられ、地上ＧＬに延びるロープＲと連結されたフック１２がバルブボディ５の前記側部Ｂ５に設けられ、そのフック１２の下部に前記中空部１６を通って弁体８と係合できるピン１１がフック１２と一体に設けられ、そしてフック１２を常時下方に引張る弾性部材１３を備え、前記フック１２をバルブボディ５の前記側部Ｂ５に保持する保護カバー１４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 フッ素含有化合物およびCOを同時に且つ効率的に処理することができ、ランニングコストが廉価で、装置材料に対する負荷が低く装置コストを低減でき、有害ガスの排出のない排ガスの処理方法および処理装置を提供する。
【解決手段】 フッ素含有化合物を含む排ガスに0₂および水(H₂0)を添加して加熱することにより加熱酸化分解処理を行い、ついで、触媒反応により前記加熱酸化分解処理で処理しきれなかったフッ素含有化合物の分解処理を行い、ついで、前記分解処理した排ガス中よりフッ素含有化合物を分解する際に生成する酸性ガスの除去を行う。前記加熱酸化分解は、炭素数４以上のフッ素含有化合物の分解処理を行い、前記触媒反応分解処理は炭素数３以下のフッ素含有化合物の分解処理を行う。 （もっと読む）

【課題】大気と異なる環境内において、試料にビームを照射して発生した電子を検出することによって該試料に関する表面の微細形状を、精度良く取得する装置の提供。
【解決手段】センサー３２は、ＥＢ−ＴＤＩセンサーであり、真空中にて電子を直接センサー面に入射できる。該センサー３２は、パッケージに設置され、このパッケージがフィードスルー２２を構成する。従って、従来の検出系のような、光変換損失、光伝達時の収差・歪み、及びそれによる画像分解能劣化、検出不良、高コスト、大型になるといった欠点を解決する。 （もっと読む）

【課題】 同一の処理液を使用して、膜厚方向に膜質の異なる金属膜を連続して成膜できるようにする。
【解決手段】 表面の配線用凹部に埋込み配線を形成した基板を用意し、基板の表面に処理液に接触させつつ、基板の表面に対する処理液の相対的な流動状態を変化させて、配線の表面に膜厚方向に膜質の異なる金属膜を連続的に成膜する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で、水路の流れを阻害することなく効率良く塵芥を取り除くことができる水路の除塵装置を提供すること。
【解決手段】
水路の除塵装置であって、水路１０に、複数の横目のスクリーンバー１２を所定間隔離間させて設けた平板状のスクリーン１１を設置し、該スクリーン１１を水路１０の水流Ｗに対して平行な状態に格納した格納位置Ｘと、水路１０を流れる水流Ｗの断面に掛け渡した状態で設置した設置位置Ｙとで切り換える切換手段を備え、スクリーン１１を格納位置Ｘに位置させることで自然排水を行い、スクリーン１１を設置位置Ｙに位置させることで強制排水を行って水路１０を流れる塵芥５を効率良く捕集して集積場所１４に集積させるように構成した。 （もっと読む）