【課題】ウェハの裏面から導通を確保する際に、ウェハの浮き上がりおよび位置ずれの発生を防止することができるとともにウェハをチャックから取り外したりする際に、残留電荷を可及的に減少させることのできるウェハのチャッキング装置およびチャッキング方法を提供する。
【解決手段】チャッキング装置は、第１および第２電極４，６と、ウェハの裏面が載置される絶縁体部８と、絶縁体部の裏面から主面に貫通する貫通孔と有する静電チャック部２と、貫通孔を通過可能な導通針２０と、導通針を絶縁体部の裏面から主面に向かって貫通孔内を移動させてウェハの裏面に導通針の他端を突き立てるように駆動する導通針駆動装置２４と、第１および第２電極に極性が異なる電圧および極性が同じ電圧を与えることが可能で、かつ第１および第２電極に与える電圧の値を可変とすることの可能な電圧コントローラ１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドをあまり偏摩耗させることなくドレッシングし、かつドレッシング荷重を軽荷重とすることができるドレッシング装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るドレッシング装置は、研磨パッド１０に摺接されるドレッシング面を有するドレッシング部材４２と、回転可能かつ上下動可能なドレッサ駆動軸３２と、ドレッサ駆動軸３２に連結され、ドレッシング部材４２が固定されるドレッサフランジ４１Ａ，４１Ｂと、ドレッサフランジ４１Ａ，４１Ｂ内に配置され、ドレッシング部材４２をドレッサ駆動軸３２に対して傾動可能とする球面軸受４５と、ドレッシング部材４２の傾動に抗する力を発生するばね機構４９とを備える。 （もっと読む）

【課題】完全に乾燥させる前の少なくとも一部に液体が付着している基板表面の性状を、基板全体を乾燥させることなく疎水性から親水性に改質することで、乾燥後にウォーターマークが発生することを極力抑制するとともに、ＩＰＡなどの有機溶剤の使用を削減できるようにする。
【解決手段】液体が付着した基板表面の一部の領域に液排除ガスを吹き付けて液体を該ガスで基板表面から排除した露出領域を形成するか、または基板表面の液体の一部を吸引して基板表面の一部の領域に液体を排除した露出領域を形成し、露出領域にプラズマ含有ガスを吹き付けて該露出領域に位置する基板表面の性状を疎水性から親水性に改質する。 （もっと読む）

【課題】効率のよいモータの運転を可能とするインバータ制御装置を提供する。
【解決手段】本発明のインバータ制御装置は、インバータ１からモータＭに供給される３相電流を検出する電流検出器２と、磁化電流と第１目標電流値との偏差をゼロとするための第１電圧指令値を演算する第１電流制御部７と、トルク電流と第２目標電流値との偏差をゼロとするための第２電圧指令値を演算する第２電流制御部８と、第１電圧指令値をゼロとするための磁化電流調整ゲイン値を生成するゲイン生成部１１と、磁化電流調整ゲイン値と第２電圧指令値からモータの推定角周波数を算出する乗算器１２と、推定角周波数と所定の目標角周波数との偏差をゼロとするための第２目標電流値を演算する速度制御部１４と、磁化電流調整ゲイン値と目標ゲイン値との偏差をゼロとするための第１目標電流値を演算するゲイン制御部２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で商用電源への逆潮流を防ぎつつ燃料電池の運転を継続することができる燃料電池ユニットを提供すること。
【解決手段】燃料電池ユニット１は、商用電源８０と連系して電力負荷９０に供給する電力を発生させる燃料電池１３と、燃料電池１３で発生した電力のうち余剰電力を消費する余剰電力消費装置１４と、燃料電池１３及び余剰電力消費装置１４を収容する筐体１６とを備え、余剰電力消費装置１４は余剰電力で発熱する電気ヒータ１４ｈを有し、筐体１６は空気を取り込む吸気口１６ａと吸気口１６ａから取り込んだ空気を排出する排気口１６ｂとが形成されており、余剰電力消費装置１４が排気口１６ｂの近傍に配設されている。これにより、燃料電池１３で発生した余剰電力を余剰電力消費装置１４で消費しつつ電気ヒータ１４ｈで発生した熱を筐体１６外へ速やかに排出することができる。 （もっと読む）

【課題】容積ポンプの作動不良の発生を抑制すること。
【解決手段】容積ポンプ１１は電動機の回転運動をプランジャの往復直線運動に変換して液体ｓを輸送する。容積ポンプシステム１０は、容積ポンプ１１と、貯留タンク１２と、吸込細管１４と、液体抜取手段１８とを備える。容積ポンプシステム１０から液体ｓを抜く際は、容積室内及び吸込細管１４内に液面が現れている状態に液体ｓの液位を維持すると、乾燥状態になることによって生じ得る容積ポンプ１１の作動不良の発生を抑制できる。また、容積ポンプ１１運転中に作動不良が生じたときは、電動機の回転速度及び／又はトルクを変化させると異常が解消する場合がある。燃料電池システムは、容積ポンプシステム１０と、改質器と、燃料電池とを備え、容積ポンプ１１の吐出流量、改質器及び／又は燃料電池の状態から、容積ポンプ１１の異常の可能性を検出できる。 （もっと読む）

【課題】滑らかな被研磨面を形成することができる研磨プロセスを低コストで実現することができる研磨装置および研磨方法を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置は、基板Ｗをその軸心を中心として回転させる基板保持部３と、回転する基板Ｗの周縁部に第１の研磨具２３Ａの研磨層を接触させて周縁部を研磨する第１の研磨部１Ｂ，１Ｄと、回転する基板Ｗの周縁部に第２の研磨具２３Ｂの研磨層を接触させて周縁部を研磨する第２の研磨部１Ａ，１Ｃとを備える。第１の研磨具２３Ａの研磨層は、硬質の第１の砥粒を有し、第２の研磨具２３Ｂの研磨層は、第１の砥粒よりも軟質の第２の砥粒を有する。 （もっと読む）

【課題】処理槽内に充填された処理剤を効率よく交換することができるガス処理装置およびガス処理装置の処理剤交換方法を提供する。
【解決手段】ガス処理装置１０ａは、処理剤８０を充填する処理槽１１を備える。処理槽１１は、被処理ガスを処理槽１１に流入させるガス入口１５と、処理槽１１内のガスを処理槽１１から流出させるガス出口１６と、処理剤８０を処理槽１１に導入する処理剤導入口１７と、交換が必要となった処理剤８０を処理槽１１から排出する処理剤排出口１８と、導入された処理剤８０の高さ表面を均す充填促進機構２１ａとを有する。ガス処理装置１０ａは、さらに、処理剤導入口１７に設置され、被処理ガスを処理する処理剤８０の導入時に処理剤導入口１７を開閉する第１の開閉装置７１と、処理剤排出口１８に設置され、交換が必要となった処理剤８０の排出時に処理剤排出口１８を開閉する第２の開閉装置７２とを備える。 （もっと読む）

【課題】トレーに対して基板を高精度に位置決めできる基板搭載技術を提供する。
【解決手段】基板搭載装置５１は、トレーＴへ基板Ｓを搭載する装置であり、トレーＴを保持するステージ５３と、トレーＴに対して基板Ｓを位置決めするクランプ機構５７とを備える。クランプ機構５７は、基板平面に平行に移動可能な複数のクランプ体１３１、１３３を有し、複数のクランプ体１３１、１３３の各々が、トレーＴに当接するトレークランプ部１４３、１５１と、基板Ｓに当接する基板クランプ部１４５、１５３とを有する。複数のクランプ体１３１、１３３が一度のクランプ動作にてトレーＴ及び基板Ｓの両方をクランプすることにより、トレーＴに対して基板Ｓを位置決めする。 （もっと読む）

【課題】生成される被加熱媒体の蒸気の流量を安定させることができる吸収ヒートポンプを提供すること。
【解決手段】導入した熱源流体の熱で吸収溶液Ｓと冷媒Ｖとを吸収ヒートポンプサイクルさせることにより、導入した被加熱媒体の液体Ｗｑを熱源流体よりも温度が高い被加熱媒体の蒸気Ｗｖとして導出する吸収ヒートポンプは、吸収器１０と、気液分離器８０と、取出流路８９とを備える。吸収器１０は、被加熱媒体Ｗを流すチューブ１２を収容し、吸収溶液Ｓａが冷媒の蒸気Ｖｅを吸収する際に発生する吸収熱でチューブ１２内を流れる被加熱媒体Ｗを加熱する。気液分離器８０は、吸収器１０内で加熱された被加熱媒体Ｗｍを導入し、被加熱媒体の液体Ｗｑと蒸気Ｗｖとに分離する。取出流路８９は、被加熱媒体の蒸気Ｗｖを吸収ヒートポンプ１の外に導く。チューブ１２は、被加熱媒体Ｗの流れ方向の下流側ほど流路断面積が大きく形成されている。 （もっと読む）