【課題】建物の高層階から低層階への水の逆流を防止して、低層階用の給水装置へ過大な背圧が加わることを防止し、さらに、低層階用の給水装置と高層階用の給水装置との間にある給水栓からの空気の吸い込みを防止する増圧給水システムを提供する。
【解決手段】本発明に係る増圧給水システムは、水道管２に連結される低層階用の第１の給水装置ＢＰ１と、第１の給水装置ＢＰ１に直列に連結され、第１の給水装置ＢＰ１よりも高い位置に配置される高層階用の第２の給水装置ＢＰ２とを備える。第２の給水装置ＢＰ２のポンプＰ２の吸込側には、高層階から低層階への水の逆流を防止するための逆流防止器３０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー化を図った二酸化炭素液化装置を提供すること。
【解決手段】二酸化炭素液化装置１は、二酸化炭素を主成分として水蒸気を含む混合ガスＧｍを昇圧し水分を除去する昇圧脱水装置１０と、混合ガスＧｍを冷却媒体Ｆで冷却する冷却器２１と、水分凝縮器４１と、混合ガスＧｍ中の水分濃度が所定の濃度に低下した除湿二酸化炭素ガスＧｄｈを生成する除湿装置５０と、除湿二酸化炭素ガスＧｄｈを冷却凝縮して液化二酸化炭素Ｌｎを生成する二酸化炭素凝縮器４２とを備える。水分凝縮器４１は、混合ガスＧｍを二酸化炭素の凝縮温度よりも高い所定の温度に冷却して混合ガスＧｍ中の水分を凝縮させる。混合ガスＧｍを除湿装置５０に導入する前に水分凝縮器４１で水分を除去することで、除湿装置５０における除湿負荷を小さくすることができて省エネルギーを図ることができる。 （もっと読む）

【課題】建物内に高層階用の給水装置の設置スペースを必要とせず、騒音問題を発生しない増圧給水システムを提供する。
【解決手段】増圧給水システムは、水道管２に連結される低層階用の第１の給水装置ＢＰ１と、第１の給水装置ＢＰ１に直列に連結される高層階用の第２の給水装置ＢＰ２とを備える。第１の給水装置ＢＰ１および第２の給水装置ＢＰ２は、グランドレベルまたは地下に設置される。 （もっと読む）

【課題】研磨ヘッドの動作を決定するパラメータの数値入力に要する時間および労力を低減することができる研磨装置の動作レシピの作成方法を提供する。
【解決手段】研磨装置は、研磨テープ２３を用いて基板Ｗの周縁部を研磨する複数の研磨ヘッド３０Ａ〜３０Ｄと複数の研磨ヘッド３０Ａ〜３０Ｄの動作を制御する動作制御部６９とを備える。研磨装置の動作レシピは、研磨ヘッドの動作を決定する複数のパラメータを動作制御部６９に記憶し、複数のパラメータから構成される少なくとも１つの研磨ヘッドレシピを動作制御部６９内に生成し、複数の研磨ヘッド３０Ａ〜３０Ｄを研磨ヘッドレシピに関連付けることによって生成する。 （もっと読む）

【課題】起動時の応答を早めることができる吸収ヒートポンプを提供すること。
【解決手段】吸収ヒートポンプ１は、吸収器１０と、希溶液Ｓｗを第１の熱源流体ｈ１で加熱し濃縮する再生器３０と、濃溶液ライン３５と、凝縮器４０と、冷媒液Ｖｆを第２の熱源流体ｈ２で加熱し蒸発させる蒸発器２０と、冷媒液ライン４５と、温度が高い高温流体Ｆを外部から導入して流体のエンタルピを増大させるエンタルピ増大手段とを備える。エンタルピ増大手段は、第１の熱源流体ｈ１、第２の熱源流体ｈ２、吸収器１０内の吸収溶液Ｓａ、Ｓｗ、濃溶液ライン３５を流れる濃溶液Ｓａ、冷媒液ライン４５を流れる冷媒液Ｖｆの少なくとも１つの流体のエンタルピを増大させることで、吸収溶液及び／又は冷媒の保有熱量を増大させ、吸収ヒートポンプ１の応答を早める。 （もっと読む）

【課題】研磨対象物の研磨中に被研磨面の安定した監視データを得ることができる研磨方法及び研磨装置及び基板の監視方法を提供すること。
【解決手段】監視用センサ５２を装着した研磨テーブル１８の回転する研磨面に、揺動且つ回転するトップリング２０に装着した基板Ｗを当接し、監視センサ５２によって研磨中の基板Ｗの状態を監視しながら基板Ｗの研磨を行う。研磨開始後に所定の時間だけ経過したときに、監視用センサ５２の位置、トップリング２０の回転中心の位置、及びトップリング２０の揺動の向きが、それぞれ前記所定の時間だけ前の値にほぼ一致するように、研磨テーブル１８の回転速度とトップリング２０の揺動条件とを定める。 （もっと読む）

【課題】エネルギー回収チャンバーにおいて加圧された加圧水をそのまま高圧ポンプから排出された高圧水に合流させることができる容積形エネルギー回収装置を提供する。
【解決手段】濃縮水と原水を導入して濃縮水の圧力を利用して原水を加圧するエネルギー回収チャンバー１１Ａ，１１Ｂと、濃縮水のエネルギー回収チャンバー１１Ａ，１１Ｂへの導入および排出を切り換える方向切換弁１０と、油圧シリンダ１７Ａ，１７Ｂと油圧供給ユニット１５Ａ，１５Ｂと油圧方向切換弁１６Ａ，１６Ｂとを有した補助動力装置７Ａ，７Ｂと、エネルギー回収チャンバー１１Ａ，１１Ｂのピストン１２と油圧シリンダ１７Ａ，１７Ｂのピストン２２とを連結する連結手段１８Ａ，１８Ｂとを備え、逆浸透膜カートリッジ８から排出された濃縮水の圧力と補助動力装置７Ａ，７Ｂの油圧を利用してエネルギー回収チャンバー１１Ａ，１１Ｂに導入された原水を加圧する。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下を低減する基板処理装置及び基板搬送方法を提供すること。
【解決手段】基板処理装置は、計測ユニット１０と、搬送機構とを備える。計測ユニット１０は、基板Ｗの状態を所定の計測位置Ｐｍで計測する計測器１５と、第１のトレイ１１と、第２のトレイ１２と、所定の計測位置Ｐｍと第１のトレイ１１及び第２のトレイ１２との間で基板Ｗを移動させるステージ１６とを有する。搬送機構には、基板Ｗを把持する第１の把持部２１及び第２の把持部２２を有するロボットハンド２５が設けられている。第１のトレイ１１に基板Ｗを載置したロボットハンド２５が計測ユニット１０から出ずに計測後の基板Ｗを計測ユニット１０の外に取り出すことで、計測ユニット１０に対する１回のアクセスで計測前後の基板Ｗを入れ替えることができてスループットの低下を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】貫通電極用凹部の底部からのめっき膜の成長速度を遅くすることなく、貫通電極用凹部内に銅等の金属を、内部にボイド等の欠陥を生じさせることなく完全に充填することができるめっき方法を提供する。
【解決手段】表面に貫通電極用凹部１２を有する基板Ｗとアノードとをめっき液中に互いに対峙させて配置し、基板Ｗとアノードとの間に電圧を印加しながら基板Ｗとアノードとの間のめっき液を攪拌して貫通電極用凹部１２内へ金属を充填し、貫通電極用凹部内１２への金属の充填量に相関して、基板とアノードとの間のめっき液の攪拌条件を変化させる。 （もっと読む）

【課題】エネルギー回収チャンバーにおいて加圧された加圧水をそのまま高圧ポンプから排出された高圧水に合流させることができる容積形エネルギー回収装置を提供する。
【解決手段】濃縮水の圧力を利用して原水を加圧するエネルギー回収チャンバー１１Ａ，１１Ｂと、濃縮水のエネルギー回収チャンバー１１Ａ，１１Ｂへの導入および排出を切り換える複数の開閉弁１０Ａ１，１０Ａ２，１０Ｂ１，１０Ｂ２と、油圧シリンダ１７Ａ，１７Ｂと油圧供給ユニット１５Ａ，１５Ｂと油圧方向切換弁１６Ａ，１６Ｂとを有した補助動力装置７Ａ，７Ｂと、エネルギー回収チャンバー１１Ａ，１１Ｂのピストン１２と油圧シリンダ１７Ａ，１７Ｂのピストン２２とを連結する連結手段１８Ａ，１８Ｂとを備え、逆浸透膜カートリッジ８から排出された濃縮水の圧力と補助動力装置７Ａ，７Ｂの油圧を利用してエネルギー回収チャンバー１１Ａ，１１Ｂに導入された原水を加圧する。 （もっと読む）