説明

株式会社荏原製作所により出願された特許

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【課題】低層階用の給水装置と高層階用の給水装置との間にある給水栓からの空気の吸い込みを防止する増圧給水システムを提供する。
【解決手段】増圧給水システムは、水道管2に連結される低層階用の第1の給水装置BP1と、第1の給水装置BP1に直列に連結され、第1の給水装置BP1よりも高い位置に配置される高層階用の第2の給水装置BP2とを備える。第1の給水装置BP1および第2の給水装置BP2はそれぞれポンプと、ポンプの運転を制御する制御盤とを有する。制御盤はそれぞれ通信機能を有し、該通信機能を介して運転情報を通信する。第2の給水装置BP2のポンプを始動させるときは、第1の給水装置BP1ポンプを先に始動させる。 (もっと読む)


【課題】金属溶湯を用いてその熱によって表面被覆材を再溶融して緻密な層を形成することで、加工エネルギーを効率的に活用し、必要な部分に機能性を持たせる複合化の技法を提供する。
【解決手段】本発明は、砂型、金型などの鋳型内に、あらかじめ表面被覆すべき粉体を塗布、または溶射した金属の薄単板やプレス等にて加工したケースなどを設置し、その後、所定の溶湯を鋳型に鋳込み、緩衝材を介した高温の熱によって粉体、あるいは溶射皮膜を溶融することにより、金属溶湯を鋳込む際の熱を利用して表面被覆層を形成する。この方法により、粉体、あるいは皮膜は溶湯と直接触れないため、流されたり、過熱状態となることを阻止し、所定の厚さを維持した表面層を得ることを特長とする。 (もっと読む)


【課題】研磨装置の運転を停止することなく、ドレッサディスクの押付力と、この押付力を発生させる気体の圧力との関係を定めることができるドレッシング装置を提供する。
【解決手段】ドレッシング装置は、研磨パッド10に摺接されるドレッサディスク31と、ドレッサディスク31に連結される上下動可能なドレッサ駆動軸32と、気体の供給を受けて、ドレッサディスク31をドレッサ駆動軸32を介して研磨パッド10に押圧する押圧機構36と、押圧機構36に供給される気体の圧力を測定する圧力測定器42と、ドレッサ駆動軸32に作用する荷重を測定する荷重測定器45と、押圧機構36に供給される気体の圧力を制御する圧力制御部47とを備える。圧力制御部47は、圧力測定器42と荷重測定器45の測定値に基づき、気体の圧力とドレッサディスク31の押付力との対応関係を設定する。 (もっと読む)


【課題】スケールアップした実機でも失活せずにPFCガスを効率よく分解することができ、耐久性に優れた排ガスの処理方法と装置を提供する。
【解決手段】難分解性のパーフルオロ化合物(PFC)を含む排ガスの処理方法において、該排ガスを、酸素の存在下に700℃以上の温度で加熱分解し、分解ガス4をAl(OH)とCa(OH)の混合物を焼成して得られた複合酸化物からなるPFC処理剤7(パーフルオロ化合物処理剤)を充填した反応槽5に通したものであり、PFC処理剤は、平均粒子径(メディアン径)55μm以上160μm以下のAl(OH)と、Ca(OH)とのモル比が3:7〜5:5である混合物を成形して乾燥し、430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成して得ることができ、また、反応槽は、500℃以上に加熱されるのがよい。 (もっと読む)


【課題】二本鎖DNAを塩基配列の違いにより分離するマイクロチップ電気泳動装置において、簡易な操作で再現性の高い分析ができる装置を提供する。
【解決手段】装置は、核酸変性剤の濃度勾配が形成される濃度勾配領域チャンネル27と、その上流側の変性剤を異なる濃度で含有する2つの緩衝液を供給する複数のリザーバー10及びチャンネル26と、その下流側の二本鎖核酸試料を導入する試料導入部28とを有するマイクロチップ9を用いる。マイクロチップ9には、リザーバー10内の緩衝液に電圧を印加する高電圧導入端子が配置される。リザーバー10の位置に溶液を保持するパッキンが、上下に貫通する穴を持つ上板と、下板とで収納される。高電圧導入端子と温度制御機構が一体とした構造で、温度制御機構が板ばねを用いて被温度調節部に接触され、高電圧導入端子がパッキン内に配置される。 (もっと読む)


【課題】基板の領域毎に異なった圧力で加圧することが可能な研磨ヘッドにおいて隣り合う領域の間で異なった圧力で基板を加圧する場合に、領域間で研磨圧力に階段状の段差を生じさせることなく、研磨圧力をなだらかに変化させることができる研磨装置を提供する。
【解決手段】本発明の研磨装置は、研磨面を有した研磨テーブル100と、圧力流体が供給される複数の圧力室を形成する弾性膜4を有し、複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板Wを研磨面101aに押圧する研磨ヘッドとを備え、隣接する二つの圧力室に跨るように、弾性膜4より剛性の高い材料からなるダイヤフラム10を設け、ダイヤフラム10は、二つの圧力室の境界から内周側および外周側に10mm以上の範囲を有する。 (もっと読む)


【課題】ボイラ排熱の有効利用を図る蒸気発生システムを提供すること。
【解決手段】蒸気発生システム101は、吸収ヒートポンプ1と、ボイラ93と、排熱案内手段61(62)と、蒸気供給手段89とを備える。吸収ヒートポンプ1は、吸収溶液と冷媒との吸収ヒートポンプサイクルにおける吸収溶液Saが冷媒の蒸気Veを吸収する際に発生する吸収熱で被加熱媒体Wを加熱し蒸発させてヒートポンプ蒸気Wvとする。ボイラ93は、導入した水を加熱し蒸発させてボイラ蒸気Bvを生成する。排熱案内手段61(62)は、ボイラ93から直接又は間接に排出されたボイラ排熱を保有する排熱保有流体Bb(D、E)を、吸収ヒートポンプ1に導く。蒸気供給手段89は、ヒートポンプ蒸気Wvを吸収ヒートポンプ1の外部へ導く。吸収ヒートポンプ1は、吸収ヒートポンプサイクルを作動させる際に、導入したボイラ排熱を利用する。 (もっと読む)


【課題】 電子線を使う半導体検査装置のスループットを向上する。
【解決手段】
電子線を試料に向けて照射する電子源14・6と、該試料を保持する試料ステージ14・22と、該電子ビームの試料へ向けた照射によって該試料の表面の情報を得た電子を検出する検出器14・4と、該検出器14・4に検出された電子に基づいて試料表面の画像を生成する画像処理ユニット14・5と、電子源14・6から試料ステージ14・22への1次電子光学系と試料ステージ14・22から検出器14・4への2次電子光学系を分離するウィーンフィルタ14・3と、を備え、電子銃14・6から放出された電子線はウィーンフィルタ14・3においてクロスオーバを形成すると共に、試料表面から放出された放出電子はウィーンフィルタ14・3においてクロスオーバを形成し、1次電子光学系と2次電子光学系のクロスオーバの位置は、ウィーンフィルタ14・3上で異なっている。 (もっと読む)


【課題】簡便な構成でメータの誤作動を回避することができる燃料電池システムを提供すること。
【解決手段】燃料電池システム1は、原料ガスm1を改質して水素を主成分とする改質ガスgを生成する改質部25と、燃料電池30と、原料ガスm2を導入して燃焼させる燃焼部23と、改質部25及び燃焼部23に導入される原料ガスmの流量の変動を検出するメータ15と、制御装置36とを備える。メータ15は、原料ガスmの流量の変動が第1の所定の時間にわたって所定の範囲内にあるときに安全措置を講ずる。制御装置36は、燃料電池30の継続した運転時間(又は共通遮断弁67若しくは改質部用遮断弁65の開時間)が、基準時から起算して前記第1の所定の時間よりも短い所定の時間が経過したときに、燃焼部23に供給する原料ガスm2の流量を前記所定の範囲を超えて変動させる。 (もっと読む)


【課題】省エネルギー化を図った二酸化炭素液化装置を提供すること。
【解決手段】二酸化炭素液化装置1は、二酸化炭素含有ガスGmを二酸化炭素の臨界圧力未満の第1の所定の圧力に昇圧すると昇圧装置10と、昇圧装置10から導出された二酸化炭素含有ガスGmを冷却媒体Fで冷却する冷却器21と、冷却器21通過後の二酸化炭素含有ガスGmを冷却凝縮して液化二酸化炭素Lnを生成する凝縮器42と、液化二酸化炭素Lnを二酸化炭素の臨界圧力を超えた第2の所定の圧力に昇圧するポンプ28と、熱交換器30とを備える。熱交換器30は、ポンプ28で昇圧された超臨界圧液化二酸化炭素Lpと、冷却器21から導出された二酸化炭素含有ガスGmとで熱交換を行わせる。これにより、二酸化炭素含有ガスGmを超臨界圧液化二酸化炭素Lpで予冷することができ、凝縮器42の冷凍負荷を軽減させることができる。 (もっと読む)


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