【課題】簡単な構成で軸受の潤滑グリースの寿命を正確に予知し、潤滑グリースの寿命に起因する軸受の故障により想定外に早期に空冷式真空ポンプが停止するのを防止できる空冷式真空ポンプの軸受寿命予知方法及び軸受寿命予知装置を提供すること。
【解決手段】空冷式真空ポンプの軸受のグリース寿命による軸受寿命を予知する空冷式真空ポンプの軸受寿命予知装置であって、軸受温度を直接又は間接的に測定する温度測定手段と、軸受のグリース寿命による軸受寿命を予知する軸受寿命予知手段と、真空ポンプを保護する真空ポンプ保護手段と、を備え、軸受寿命予知手段は、温度測定手段で測定された軸受温度により軸受のグリース状態を把握し、該軸受温度が予め設定した許容値温度以上になった場合に該グリースの寿命として軸受寿命を予知し、真空ポンプ保護手段を動作させる。 （もっと読む）

【課題】過負荷異常を検出するための過電流設定値を定格運転中と起動工程中とで各々条件に合わせて個別に設定することで、起動工程中に定格運転とは異なる大トルクを発生できる電流をインバータから駆動電動機に安定して供給できるドライ真空ポンプ用電源装置、及びその運転方法を提供すること。
【解決手段】インバータから所定周波数の交流電力を駆動電動機に供給するように構成したドライ真空ポンプ用電源装置であって、インバータはドライ真空ポンプ起動時、定格電流の所定倍数の電流を供給することで駆動電動機の駆動トルクを増強する機能と、インバータの出力電流が所定の設定電流値を超えた場合にドライ真空ポンプの異常又は故障を検出する過電流検出・保護機能とを備え、過電流検出・保護機能は、ドライ真空ポンプの起動工程では設定電流値を所定過負荷電流値を超える過大電流値とし、起動工程が完了した時点では設定電流値を所定過負荷電流値とした。 （もっと読む）

【課題】燃焼処理室の内壁に付着する固形物を掻き取るスクレーパを排ガスの燃焼処理中に駆動して、燃焼処理室の内壁から固形物を除去することにより装置の長時間の連続運転を可能とする燃焼式排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】排ガスを燃焼分解して処理する燃焼処理室１と、燃料ガスと支燃ガスを予め混合した混合気を供給して火炎を燃焼処理室１内に形成するメインバーナＭＢと、燃焼処理室１の内壁に付着した固形物を掻き取るスクレーパ３０を備えた燃焼式排ガス処理装置において、排ガスを燃焼分解して処理する処理中であってスクレーパ３０の非動作時には、混合気を燃焼範囲内に調整してメインバーナＭＢに供給し、排ガスを燃焼分解して処理する処理中であってスクレーパ３０の掻き取り動作時には、混合気を燃焼範囲外に調整してメインバーナＭＢに供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】学校などに施設におけるトイレ洗浄用のフラッシュバルブを同時使用したときなどに生じる給水圧力不足を解消することができる給水装置の始動方法を提供する。
【解決手段】給水装置は、検出圧力が所定の停止圧力Ｐ_０から所定の始動圧力Ｐ_１以下になったときに始動される。上記検出圧力が上記所定の停止圧力Ｐ_０から上記所定の始動圧力Ｐ_１に変化する過程において、所定の基準時刻ｔ_０における上記検出圧力Ｐ_２が所定の基準値よりも低い場合に、次回の始動時の始動圧力が上げられる。この場合において、上記所定の基準値は、上記停止時圧力Ｐ_０と上記始動圧力Ｐ_１との中間値とすることができる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で、めっき槽内のめっき液の流れをより均一に調節して、めっき膜の膜厚の面内均一性をより高め、めっき膜の埋込み等をより短時間で確実に行うことができるようにする。
【解決手段】めっき槽の内部に該めっき槽内のめっき液に浸漬されるように配置され、ホルダで保持した被めっき材の被めっき面に向けてめっき液を噴射してめっき槽内にめっき液を供給する複数のめっき液噴射ノズル４０６を有するノズル配管４００を備え、該ノズル配管４００は、縦パイプ４０２と横パイプ４０４とを格子状に組んで構成され、ホルダで保持してめっき槽内にめっき液に浸漬させて配置される被めっき材の被めっき面と平行に横方向及び／または縦方向に移動自在に構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡単なセンサレスティーチングによって、ロボットハンドによるカセット内の各段の基板の受け渡しを精度よく行える基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法を提供すること。
【解決手段】基板Ｗを複数段収納するカセット３０と、カセット３０の各段に対してロボットハンド５０を用いて基板Ｗの受け渡しを行う基板搬送用ロボット７０とを用意する。カセット３０に収納される基板Ｗの最下段と最上段の基板Ｗの受渡位置にロボットハンド５０を移動してそれらの受渡位置をロボットハンド５０の位置情報として測定する。次に測定した基板Ｗの最下段と最上段の位置情報と、位置決め式とに基づいて、カセット３０のその他の段に収納される基板Ｗに対するロボットハンド５０の受渡位置の位置情報を算出する。そしてこれら位置情報を用いて、カセット３０の各段に対してロボットハンド５０を移動させることで基板Ｗの受け渡しを行う。 （もっと読む）

【課題】ポンプケーシングを分解することなくインペラギャップを調整することができる横軸ポンプを提供する。
【解決手段】本発明に係る横軸ポンプは、回転軸３３と、回転軸３３に固定されたインペラ３１と、インペラ３１を収容するポンプケーシング３２と、回転軸３３とポンプケーシング３２との間の隙間をシールする軸封装置５０と、回転軸３３を回転自在に支持し、回転軸３３からのラジアル荷重およびスラスト荷重を受ける軸受５２と、ポンプケーシング３２の外に配置され、回転軸３３の軸方向の位置を調整するアキシャル位置調整機構５５と、回転軸３３の端部に取り付けられ、回転軸３３の軸方向の変位を許容しつつ、トルク伝達を行う自在軸継手３８とを備える。 （もっと読む）

【課題】研磨中に半導体ウエハ等の基板上に金属膜（または導電性膜）の残膜があるか否かの検査を実施することにより検査時間を短縮することができ、残膜を検出した場合には、そのまま追加研磨を実施することにより処理時間を短縮することができる研磨方法および研磨装置を提供する。
【解決手段】回転する研磨テーブル１００上の研磨面に研磨対象の基板Ｗを押圧して基板Ｗ上の膜を研磨する研磨方法において、基板Ｗの研磨中に、研磨テーブル１００の回転に伴い、研磨テーブル１００に設置された終点検出センサ５０により基板Ｗの被研磨面を走査し、基板Ｗの被研磨面の走査により得られた終点検出センサ５０の出力を監視し、終点検出センサ５０の出力の変化から研磨終点を検出し、研磨終点を検出した後に、終点検出センサ５０または異なるセンサの出力を監視し、基板上の一部に残った膜を検出する残膜監視を行う。 （もっと読む）

【課題】構成の変更に対して柔軟かつ安価に対応することができる給水装置を提供する。
【解決手段】給水装置１は、複数のポンプ３と、対応するポンプの回転周波数を可変制御する複数のインバータ５と、インバータ５を制御する制御部６とを備えている。各インバータ５は、交流電力を整流する整流器５００と、整流器５００によって整流された電力を所望の周波数の交流電力に変換する電力部５０１と、電力部５０１を制御する中央制御部５０４と、外部と情報の授受を行う通信部とを有する主基板５０と、外部から信号を入力する入力端子と、信号を外部に出力する出力端子とを有する入出力基板５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 給水量不足あるいは給水圧力不足に陥ることなく推定末端圧力一定制御を行うことのできるポンプ装置を提供する。
【解決手段】 ポンプ３１０と、吐出圧力を検出する圧力検出手段３２３と、ポンプを駆動する電動機２１０と、末端圧力をほぼ一定に調節するためのポンプ３１０の吐出流量に対応する吐出圧力の関係を、最低必要流量に対応する前記ポンプの最低回転速度Ｎｂと最大必要流量に対応するポンプ３１０の最高回転速度Ｎｍａｘとの間について演算して求める推定末端圧力一定制御用演算部１５と、実際の必要流量に対応して、前記検出される吐出圧力が前記演算で求められた関係に従った吐出圧力になるように、電動機２１０の回転速度を制御する回転速度制御手段１３とを備え、推定末端圧力一定制御用演算部１５は、前記必要流量と吐出圧力との関係を、ポンプ３１０の想定される最高吸込水位に対して演算して求めるように構成されたポンプ装置。 （もっと読む）