【課題】減圧環境下で使用されるセラミックス部品において、処理物への汚染の少ないセラミックス部品の装着方法および有機物の汚染の少ない半導体製造装置用セラミックス部品の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線光電子分光法で表面の深さ方向の測定をし、表面から５ｎｍ以深の深さで検出される炭素量が５ｍａｓｓ％以下である状態で半導体製造装置に装着することを特徴とする半導体製造装置用非汚染性セラミックス部品の装着方法である。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、自然の力または人為的な力によって発生する微弱な回転エネルギーから効率よく電気エネルギーに変換することができる圧電発電装置を提供することを目的とする。
【解決手段】外力の受動部と、前期受動部に回動軸を有する第１の振動子と、前期第１の振動子に回動軸を有する第２の振動子及び前記第１の振動子に固着された圧電素子と、を含み、外力の受動部の運動により、第１の振動子が往復振動し、これに伴い第２の振動子が異なる周期で振動し、第２の振動子の一部が、前記圧電素子に接触して、これを弾いて振動させることにより発電することを特徴とする圧電発電装置。 （もっと読む）

【課題】有機ガス等の有害物質を破壊又は分解するにあたって、処理コストが低く、二次的な弊害が発生することがなく、ダイオキシン類等の再合成の虞もないガス処理方法等を提供する。
【解決手段】酸素と水素の混合気を燃焼させて高温火炎Ｆを発生させるトーチ２と、トーチ２によって発生した高温火炎Ｆの近傍に、有害物質を含むガスを案内するガスダクト３とを備えるガス処理装置１を用い、高温火炎Ｆに有害物質を接触させ、２０００℃程度の高温で有害物質を瞬時に破壊する。この際、酸素と水素の混合気自体の燃焼によって発生するのは、水蒸気だけであり、ＣＯ₂や、ＮＯ_Xによる二次的な弊害が発生することはない。局所的な高温によって有害物質が破壊されるため、処理ガスは瞬時に冷却され、ダイオキシン類が分解した後、再合成される虞もない。酸素と水素の混合気を発生させるために要する電気エネルギーも僅少であり、処理コストも低い。 （もっと読む）

【課題】膨張材や収縮低減剤の添加量が少なくても、コンクリートの収縮量を少なくすることができるセメント添加材及びセメント組成物を提供する。
【解決手段】(A)2CaO・SiO₂及び2CaO・Al₂O₃・SiO₂を含有し、2CaO・SiO₂100質量部に対して、2CaO・Al₂O₃・SiO₂+4CaO・Al₂O₃・Fe₂O₃が10〜100質量部であり、3CaO・Al₂O₃の含有量が20質量部以下である焼成物の粉砕物と、(B)膨張材及び／又は収縮低減剤を含むセメント添加材。該セメント添加材は、さらに(C)石膏を含むことができる。
セメントと、上記セメント添加材とからなるセメント組成物。 （もっと読む）

【課題】ガラス質の絶縁層と基盤とを一体化することによって、電極間の絶縁性をガラス質のバルク並みに充分大きな値を確保し、かつ、ガラス質の絶縁層または基盤に対して微細な溝加工を行い電極形成をすることにより、電極間隔を狭くして充分に大きいグレーディエント力を発揮させる。
【解決手段】 ガラス質絶縁層となるガラス質素材板に溝を加工する工程と、前記溝に電極を配置する工程と、前記ガラス質素材板とガラス質基盤とを間に電極が具備されるように接合する工程と、前記ガラス質素材板の表面を研磨して所望の厚みのガラス質絶縁層となす工程と、を含むことを特徴とするガラス質絶縁層とガラス質基盤との間に少なくとも一対以上の電極を具備するガラス質静電チャックの製造方法。 （もっと読む）

【課題】セメントの水和熱を低下させ、かつ流動性や強度発現性が良好なセメント添加材を製造できる焼成物、該焼成物を粉砕してなるセメント添加材及び該セメント添加材を添加してなるセメント組成物を提供する。
【解決手段】2CaO・SiO₂及び2CaO・Al₂O₃・SiO₂を必須成分とし、TiO₂を0.1〜4.0質量％含有する焼成物であって、2CaO・SiO₂100質量部に対して、2CaO・Al₂O₃・SiO₂＋4CaO・Al₂O₃・Fe₂O₃を10〜100質量部含有する焼成物、及びこれを粉砕してなるセメント添加材、及びセメントに対して前記セメント添加材を内割で50質量％以下含有するセメント組成物。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の基板を基板載置装置に載置したときに基板に付着するパーティクルを効果的に低減するため、シリコンウエハと載置面の接触面積の小さい、表面に突起を形成した載置装置を提供する。
【解決手段】突起先端面に基板を載置する基板載置装置において、前記突起先端面の表面粗さ(最大高さ)Ｒｚが０．５μｍ以下であって、前記突起先端面のＲｚに対する突起側面および底面の表面粗さの比（側面および底面のＲｚ／先端面のＲｚ）が１．５〜３であることを特徴とする基板載置装置。また、前記突起先端からなる平面の平面度が３μｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】設備コストの高騰を回避しつつ、汚泥を受け入れる汚泥受入室や、汚泥を貯蔵する貯蔵室等から排出される臭気を含む空気を効率良く処理する。
【解決手段】セメントキルン７のプレヒータ下部のキルン排ガス流路より、燃焼ガスの一部を抽気するプローブ８と、プローブ８内に冷風を供給する冷却管路９とを有し、セメントキルン７に付設されたガス抽気部３及びガス処理部４と、汚泥処理設備５から臭気を含む空気を排出するバキュームファン６と、バキュームファン６からの排気Ａをガス抽気部３の冷却管路９に導入するプローブ冷却ファン１８とを備え、汚泥処理設備５からの排気Ａを抽気ガスＧの冷却に用いる排気処理装置１等。プレヒータでの主燃料及び燃焼用空気の使用量に関わらず、多量の排気Ａを処理することができ、長距離に亘る管路も不要で、塩素バイパス設備を利用して排気Ａを処理することができる。 （もっと読む）

【課題】セメント焼成装置の運転へ悪影響を及ぼすことなく、セメント焼成装置の熱効率も低下させることなく、効率よく含水汚泥を焼却する。
【解決手段】含水汚泥Ｓをセメントキルン２のプレヒータ下部５又はセメントキルンに付設された仮焼炉４に投入する汚泥投入装置１０であって、含水汚泥を、プレヒータ下部又は仮焼炉へ供給するための汚泥搬送路１３と、汚泥搬送路の、プレヒータ下部又は仮焼炉側の端部に設けられ、複数の開口部１４ｃを有する分散部材１４とを備え、汚泥搬送路を介して分散部材を通過した汚泥が、分散した状態で、プレヒータ下部又は仮焼炉に投入される。分散部材を用いて含水汚泥を分散し、表面積を増加させた後プレヒータ下部等に投入するため、熱交換を迅速に行うことができ、含水汚泥を効率よく焼却できる。含水汚泥の分散に圧縮空気を用いないため、セメント焼成装置の運転に悪影響を及ぼさず、熱効率が低下することもない。 （もっと読む）

【課題】取水配水管の内壁への貝殻等の付着防止を、取水・排水を停止させる必要なく、海洋環境に対して優しい貝殻付着防止装置を提供する。
【解決手段】貝殻付着防止装置１０は、海洋からの取水または海洋への排水のために海水面下に設置された取水排水管５０に取り付けられ、気泡２０を含む層状の流れを取水排水管５０の内壁に沿って形成するための気泡発生器１２，第１リング１４，第２リング１６を具備する。気泡発生器１２は、気泡２０を取水排水管５０の内壁に沿って流れるように発生させる。第１リング１４はハニカム構造を有し、気泡発生器１２の下流側において取水排水管５０の内周に沿って配設される。第２リング１６は網状であり、第１リング１４の下流側において取水排水管５０の内周に沿って配設される。 （もっと読む）