【課題】 液滴吐出装置の走査方向に対して斜めに延びる部分に良好な薄膜パターンを形成できるように、薄膜パターンに対応するバンクパターンまたは撥液パターンを設けること。
【解決手段】 パターン形成方法は、（ｍ、ｎ）の着弾可能位置と第１液滴の第１投影像の中心とがほぼ一致する場合の前記第１投影像の範囲と、（ｍ＋ｉ、ｎ＋ｊ）の着弾可能位置と第２液滴の第２投影像の中心とがほぼ一致する場合の前記第２投影像の範囲とが、前記物体表面上のパターン形成領域内に位置するように、前記パターン形成領域を縁取るバンクパターンを形成するステップを含んでいる。そして、前記第１液滴と前記第２液滴とが、前記パターン形成領域上で広がった後で互いに合流するように、前記（ｍ、ｎ）の着弾可能位置と前記（ｍ＋ｉ、ｎ＋ｊ）の着弾可能位置との間の距離が決められている。 （もっと読む）

【課題】 回路が簡易となりコストを抑えることができる液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供すること。
【解決手段】 複数のノズルユニットからなるノズルブロックを複数個備え、該ノズルブロックから吐出される液滴により媒体上に液滴塗布を行う液滴吐出装置であって、前記各ノズルユニットの吐出特性ランクがノズルブロックごとに略同一に揃えられ、これら各ノズルユニットに、共通する一つの駆動波形を与える一つの駆動波形生成回路が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 回路が簡易となりコストを抑えることができる液滴吐出装置及び液滴吐出方法および液滴吐出装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】 液滴を吐出する複数のノズルユニット２９からなるノズルブロック２８をヘッド走査方向に沿って複数個備え、該ノズルブロック２８によって媒体上に液滴を塗布する液滴吐出装置において、前記各ノズルユニット２９の吐出特性ランクが前記ノズルブロック２８ごとに略同一に揃えられ、これら各ノズルユニット２９に対して共通する一つの駆動波形を与えて該ノズルユニットを駆動させる一つの駆動波形生成回路４７が設けられ、さらに、前記ノズルブロック２８の吐出特性ランクは、第１のノズルブロック２８Ａの吐出量をＡ、第２のノズルブロック２８Ｂの吐出量をＢ１，第３のノズルブロック２８Ｃ１の吐出量をＣ１とおくと、２Ａ＝Ｂ１＋Ｃ１という関係を満たす吐出特性ランクとなっている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、エアーを効率的にトラップし且つ排出可能な圧力調整弁およびこれを備えた機能液供給機構、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【解決手段】 圧力調整弁７は、機能液タンク９１からバルブハウジング内の１次室１２２に導入した機能液を、バルブハウジング内の２次室１２３を介して機能液滴吐出ヘッド１１に重力供給するとともに、大気に面し２次室１２３の１つの面を構成する円形のダイヤフラム１２５により、大気圧を調整基準圧力として、弁体１２６を開閉動作させて、２次室１２３を圧力調整し、バルブハウジング１２１に形成され、１次室１２２の内部エアーを排出する１次室側エア抜き部１４４と、バルブハウジング１２１に形成され、２次室１２３の内部エアーを排出する２次室側エア抜き部１６９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 圧力調整弁内に混入した気泡の効率的な排出並びに機能液初期充填時における充填時間の短縮を課題としている。
【解決手段】 機能液タンク６２から導入した機能液を機能液滴吐出ヘッド７１に供給すると共に、大気圧を調整基準圧力としてダイヤフラム２２１により圧力調整を行う圧力調整弁６１のバルブ内流路６１ｒと、機能液タンク６２から圧力調整弁６１に連なるタンク側供給流路８１ｒと、圧力調整弁６１から機能液滴吐出ヘッド７１に連なるヘッド側供給流路８２ｒと、機能液滴吐出ヘッド７１のヘッド内流路７１ｒと、から成る機能液供給流路に機能液を初期充填する方法であって、押圧手段７によりダイヤフラム２２１をマイナス変形させる工程と、機能液滴吐出ヘッド７１のノズル面７８に密着させたキャップ１０２を介して機能液を吸引する工程と、機能液吸引により機能液供給流路に機能液を通液したら押圧手段７の押圧を解除する工程と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】 製造コストの上昇に繋がる真空プロセスを必要としない製造法で形成し得る、反射機能を有する膜を備えた素子基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 ステージ１０１上に基板８は真空吸着された状態とした。互いに非相溶性の複数の物質を含む液状材料Ｌ２は、液体保管部１０７から供給管１０６を通してディスペンサヘッド１０４に供給される。液状材料Ｌ２は、さらに、ディスペンサヘッド１０４に設けられた複数のノズル１０５から、基板８上のドット１０３として塗布される。 （もっと読む）

【課題】ヘッド内流路から気泡を効率良く排除し得るようにした機能液滴吐出ヘッドへの液体充填方法およびこの方法を実施するのに適した吐出装置、並びに液晶表示装置の製造方法、有機ＥＬ装置の製造方法、電子放出装置の製造方法、ＰＤＰ装置の製造方法、電気泳動表示装置の製造方法、カラーフィルタの製造方法、有機ＥＬの製造方法、スペーサ形成方法、金属配線形成方法、レンズ形成方法、レジスト形成方法および光拡散体形成方法を提供する。
【解決手段】 各液滴吐出ヘッド７に個別に接続される給液用の分岐通路１５８ｂに開閉弁１６６を介設すると共に、各キャップ２１２に個別に接続される吸引用の分岐通路２１６ｂに液体センサ２１７を介設する。液体充填時に、液体が液体センサ２１７に到達したところで対応する開閉弁１６６を一時的に閉弁する。 （もっと読む）

【課題】トップハット分布のレーザービームによる加工を行う場合において、光利用効率の向上を図ることを可能とする技術を提供する。
【解決手段】エネルギー強度分布がガウシアン分布(a)であるレーザービーム(LB)を発生させる第１過程と、レーザービームの波面に対して所定の位相変調を加え、当該レーザービームをその中心ほど相対的に位相が進み、当該中心から離れるほど相対的に位相が遅れるように整形する第２過程と、第２過程を経て整形されたレーザービームの波面に対して所定の位相変調を加え、当該レーザービームをその中心ほど相対的に位相が遅れ、当該中心から離れるほど相対的に位相が進むように整形する第３過程と、第２及び第３過程を経てエネルギー強度分布が略平坦な分布(b)となったレーザービームを被加工体(100)に照射して当該被加工体を加工する第４過程と、を含むレーザー加工方法である。 （もっと読む）

【課題】 簡便な方法で、歩留り向上にも寄与することが可能な微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微細構造体の製造方法は、基板１０上に複数の半導体デバイスを形成する工程と、基板１０上に、該基板１０の外周部が接着部となるようにエッチング保護膜１８を貼り合わせる貼合せ工程と、該基板１０をエッチング処理する工程と、エッチング保護膜１８のうち基板１０と貼り合わせられていない非接着部に形成されたエッチング保護膜１８ａを除去する工程と、エッチング保護膜１８のうち接着部であって、基板１０の分割予定線上に形成されたエッチング保護膜１８ｂを除去する工程と、基板１０を分割して個々の半導体デバイスを得る工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡便な方法で、歩留り向上にも寄与することが可能な微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の微細構造体の製造方法は、半導体基板１０上に微細構造体を形成する工程と、半導体基板１０上に、該半導体基板１０の外周部が接着部２４となるようにエッチング保護膜１８を貼り合わせる貼合せ工程と、半導体基板１０をエッチング処理する工程と、エッチング保護膜１８のうち半導体基板１０と貼り合わせられていない非接着部に形成されたエッチング保護膜を除去する除去工程とを含み、前記除去工程は、エッチング保護膜１８のうち接着部２４の内周をレーザ照射することにより、当該エッチング保護膜１８を切断除去するものであって、レーザ照射は光源５２から射出されたレーザ光５５を分岐することにより複数の照射点を有するように行うことを特徴とする。 （もっと読む）