【課題】振動体の支持、固定に伴う振動特性の劣化の低減と、耐衝撃性を向上し、小型化
を可能にする輪郭振動片を実現する。
【解決手段】輪郭振動片１０は、等方性材料からなる柱状の振動体２０と、振動体２０の
端面２１に形成される圧電薄膜３０と、圧電薄膜３０を励振する励振電極３１，３３と、
からなり振動体２０の端部が、入力される複数の特定周波数の励振信号に対応した振動モ
ードにて輪郭振動する。輪郭振動領域以外の部位は振動しない支持領域であって、この支
持領域にて輪郭振動片１０の支持、固定を行う。 （もっと読む）

【課題】偏光および回折としての十分な機能と位相差機能とを有する、安価な一体型光学素子およびこれを備えた光ヘッド装置を得ることにある。
【解決手段】偏光機能と回折機能とを分離して、偏光樹脂フィルム１または回折格子層４に別々に持たせているため、それぞれの機能を独立して設定することにより、第１および第２光学素子２０，２５に偏光および回折としての十分な機能を持たせることができる。また、複数の機能を一体化して一つの第１および第２光学素子２０，２５としているので、機能ごとに複数の光学素子が存在する場合と比較して、光ヘッド装置１００の組立工数を減少できる。 （もっと読む）

【課題】４０５ｎｍ帯、６５０ｎｍ帯及び７８０ｎｍ帯の各レーザダイオードから出射さ
れる光量からフロントモニタ用に適量を分離するリーケッジプリズムと、これを用いた３
波光ピックアップとを得る。
【解決手段】ＣＤ、ＤＶＤ、青色波長帯用の３個のレーザダイオード（ＬＤ）２、６、８
と、ＣＤ、ＤＶＤ、青色波長帯用の３個の回折格子３、７、９と、ＣＤ、ＤＶＤ用の光を
合成する第１の波長合成プリズム４と、ＣＤ、ＤＶＤ、青色波長帯用の光を合成する第２
の波長合成プリズム５と、リーケッジプリズム１０と、ＣＤ、ＤＶＤ、青色波長帯用のＰ
ＢＳ１１と、１／４波長板１２と、コリメートレンズ１３と、光検出器１５と、フロント
モニタ１６と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】振動体の支持、固定に伴う振動特性の劣化の低減と、耐衝撃性を向上する輪郭振動片を実現する。
【解決手段】輪郭振動片１０は、等方性材料からなる四角柱状の振動体２０と、振動体２０の対向する側面２２，２３それぞれに形成される第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１と、第１圧電薄膜３０，第２圧電薄膜３１に励振信号を入力し、側面２２，２３において平面的に対向する二つの励振電極４１，４２と、を備え、励振電極４１と励振電極４２及び第１圧電薄膜３０と第２圧電薄膜３１とが、平面視して振動体２０の中央部において所定の面積の交差領域Ｌを有し、振動体２０の長手方向中央部が、入力される特定の周波数の励振信号に対応した振動モードにて輪郭振動する。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを有効に防止しつつ、圧電振動片に対するワイヤボンディングの接合強度を向上させ、かつ、優れた振動特性を有する圧電デバイスおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】ワイヤボンディングされた圧電振動片３２と、この圧電振動片３２が接着剤４４を用いて接合された被接合体４５とを備えた圧電デバイスであって、圧電振動片３２の接合面と被接合体４５の接合面との間には、圧電振動片３２のワイヤボンディングされた位置６１ａに対応して、少なくとも接着剤４４よりも硬い硬質部材７０が介在しており、硬質部材７０は、圧電振動片３２または被接合体４５のいずれか一方あるいは双方と接合されていない。 （もっと読む）

【課題】実装基板との接合強度を確保しながら、特に平面サイズの小型化が可能な圧電発振器を提供する。
【解決手段】下側リードフレーム３１に、ＩＣ７０と接続される下部リード３３，３４，３５を形成し、この内側の一部を所定量ハーフエッチングすることにより形成される平面が略矩形のハーフエッチング部３７を回路素子搭載部３６とした。そして、回路素子搭載部３６上に、絶縁体であるダイアタッチフィルム８５によりＩＣ７０を接合する構成とした。また、下部リード３３，３４，３５のそれぞれの底面側を封止樹脂９０から露出させて、外部端子４０，４１，４２を形成した。さらに、ＩＣ７０の上面（能動面）に、上側リードフレーム５１に形成された振動子支持用リード５５が絶縁性接着剤８７により固定され、さらに、振動子支持用リード５５が、圧電振動子１０の底面に絶縁性接着剤８８を介して支持される構成とした。 （もっと読む）

【課題】センサ感度の悪化を防止し、低コストで得られる圧力センサの製造方法および圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ１０は、圧電基板１４の主面にＩＤＴ１６を設けたＳＡＷ素子片と、圧電基板１４の主面１４ａに接合し、ＩＤＴ１６に対向した箇所に凹陥部４２を備え、熱膨張係数が圧電基板１４と異なっている第１固定基板４０と、圧電基板１４の裏面１４ｂに接合し、熱膨張係数が圧電基板１４と異なり、圧入口５４を備えた第２固定基板５０とを備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】基板に対して垂直な側面を有する電極を形成して、弾性表面波の反射を大きくする。
【解決手段】ＬＢＯウエハ３６の表面に電極用金属膜３８を形成する成膜工程と、金属膜３８の上にフォトレジスト膜４０を形成するレジスト膜形成工程図と、レジスト膜４０を露光、現像して所定の形状にパターニングするマスク形成工程と、パターニングしたレジスト膜４０をマスクにして金属膜３８の露出部に、予め定めたガスのプラズマを照射して金属膜３８を除去し、ＬＢＯウエハ３６を露出させるとともに、露出させたＬＢＯウエハの表層部を除去するエッチング工程と、ＬＢＯウエハの露出部を水洗し、ＬＢＯウエハ３６に生じたプラズマによるダメージ層４６を除去する洗浄工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】既存の製造ラインを利用して共振周波数が経時的に目標周波数より低下するのを
防止した圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動素子１２をシリコーン接着剤１３にて絶縁容器１内に搭載する搭載
工程Ｓ１と、圧電振動素子１２の共振周波数を所定値に調整するため励振電極膜２１の厚
みを追加もしくは削減する周波数調整工程Ｓ２と、圧電振動素子１２を搭載した絶縁容器
１に金属リッド１５を仮付けする仮付け工程Ｓ３と、金属リッド１５を仮付けした絶縁容
器１を、窒素ガスとシリコーン蒸気とが満たされた雰囲気内に放置することにより絶縁容
器１内に窒素ガスとシリコーン蒸気とを封入する封入工程Ｓ６と、気密容器１を金属リッ
ド１５により封止する封止工程Ｓ７とからなる。 （もっと読む）

【課題】ワークキャリアが定盤上の定盤溝に引っ掛かるのを防止できる両面研磨装置を提
供する。
【解決手段】研磨面に定盤溝３が形成されたループ形状の上定盤１及び下定盤２と、定盤
溝３が形成された上定盤１及び下定盤２の間にワークを保持したワークキャリア１０を挟
んでワークの表裏両面を同時に研磨する両面研磨機であって、ワークキャリア１０が上定
盤１及び下定盤２の研磨面と干渉しないように、上定盤１及び下定盤２の研磨面に面取り
部５、６を設けるようにした。 （もっと読む）