【課題】圧電デバイス以外の電子部品について調整及び／又は検査をする場合であっても、調整及び／又は検査の作業効率を向上させ、さらに、小型化を図ることができる電子モジュールを提供する。
【解決手段】回路基板３１に圧電デバイス２２，２４とその他の電子部品２３，２６，２７が搭載されている電子モジュールであって、電子部品２３は、その電気的特性を調整及び／又は検査するための調整端子２３ａ，２３ｂを有しており、圧電デバイス２２，２４は、圧電振動片が収容されたパッケージ２２ａ，２４ａを封止するための蓋体２２ｂ，２４ｂの主面が上向きに配置されており、蓋体２２ｂ，２４ｂが調整端子２３ａ，２３ｂと導通されている。 （もっと読む）

【課題】圧力センサの機械的性質から生ずることがある検出精度の劣化を抑制、あるいは防止することのできる圧力センサ用感圧素子を提供する。
【解決手段】ダイヤフラム１２を有する圧力センサ１０における前記ダイヤフラム１２に形成された対を成す支持部１８に載置される圧力センサ用感圧素子であって、前記感圧素子（圧電振動片２０）は前記支持部１８に固定される２つの基部２２と前記基部２２間に位置する振動部２４とを有し、前記基部２２の固定部から前記振動部２４までの間に切欠き２２ａ，２２ｂを設けたことを特徴とする。このような構成の感圧素子において、前記切欠き２２ａ，２２ｂは、前記圧電振動片２０を構成する素子片の幅方向に沿って形成することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】ランプ保持部材とガスセル保持部材の間にサーモモジュールを挟み、ランプ保持
部材とガスセル保持部材間の温度差を適切になるようにサーモモジュールを制御すること
により、ルビジウムガスセルとルビジウムランプ間の熱の影響を低減すると共に、光学系
を小型化することができる原子発振器を提供する。
【解決手段】この光学系１００は、ルビジウム原子を封入したガスセルを保持するガスセ
ル保持部材４と、ガスセル中のルビジウム原子を励起するルビジウムランプを保持するラ
ンプ保持部材２と、ガスセル保持部材４を加熱するガスセルヒータ５と、ランプ保持部材
２を加熱するランプヒータ１と、熱エネルギと電気エネルギの直接相互交換による熱電効
果により対向面に温度差を生ずるサーモモジュール３と、電流の大小及び極性により対向
面に生じる温度差の大小と向きを制御する温度制御部７と、を備えて構成される。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子とＩＣ部品を一つのパッケージの異なった箇所に搭載した表面実装
型圧電発振器において、導電性接着剤から発生してＩＣ部品実装パッドに付着する接続阻
害物質を除去する。
【解決手段】素子搭載用パッド４上に圧電振動素子３を導電性接着剤４ａにより接続する
圧電振動素子搭載工程と、導電性接着剤を硬化させるために加熱処理するアニール工程と
、モニター電極１０を用いて行われる周波数調整工程と、上面側凹所１ａを封止して圧電
振動子０を形成する封止工程と、圧電振動子の特性を検査する圧電振動子検査工程と、Ｉ
Ｃ部品実装パッドに付着した異物を除去するために電極プラズマ洗浄を実施するドライ洗
浄工程と、ＩＣ部品搭載工程と、下面側凹所５ａ内にアンダーフィルを充填するアンダー
フィル充填工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】作業者がワークキャリアの反りを防止するための反転作業及びその管理を確実に
行うことができるワークキャリアを提供する。
【解決手段】両面研磨機によってワークを研磨加工する際にワークを保持するワークキャ
リア１であって、ワークを保持する複数の保持穴４を有した円盤状のキャリア本体２と、
キャリア本体２の表裏を目視により判別するために前記キャリア本体２に設けたマーキン
グ部６とを備え、マーキング部６を円盤状のキャリアの中心部と、保持穴４を回避した盤
面に設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】端面処理の粗さに起因して発生する不良を低減することができるウェーハの端面
処理方法を提供する。
【解決手段】複数の平板状のウェーハ１を積層し、仮接着剤２により各ウェーハ１間を接
着して積層ブロック１０を形成する積層ブロック化工程と、積層ブロック化工程により積
層した積層ブロック１０の四方側面をラッピングするラッピング工程と、ラッピング工程
によりラッピングした積層ブロック１０の四方側面を所定のエッチング液３１によりエッ
チングするエッチング工程と、エッチング工程によりエッチングした積層ブロック１０か
ら仮接着剤２を除去して各ウェーハ１を剥離する剥離工程とからなる。 （もっと読む）

【課題】ガスセルの温度を一定に制御するために、ＣＰＴ共振がないときの共鳴周波数に
おける光検出出力値を記憶しておき、温度補正時に記憶した光検出出力値になるように温
度制御することにより、簡単に且つ正確に量子レベルでの温度制御を可能とした原子発振
器を提供する。
【解決手段】この光学系１１０は、ガス状の金属原子を封入したガスセル３ａと、ガスセ
ル３ａを保持するガスセル保持部材３と、ガスセル保持部材３を加熱するヒータ（加熱手
段）７と、ガスセル３ａ中の金属原子を励起するコヒーレント光源１と、ガスセル３ａを
透過した光４を検出する光検出器（光検出手段）５と、光検出器５により検出された光４
の強度に基づいてヒータ７を制御する温度制御部（温度制御手段）８と、を備えて構成さ
れている。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムと感圧素子との接触による精度劣化を生じさせることの無い圧力センサ用ダイヤフラムを提供する。
【解決手段】感圧素子として圧電振動片３０を搭載する圧力センサ用のダイヤフラム２０であって、可撓部となる薄肉部２２の一方の面に、前記圧電振動片３０を固定するための対を成す支持部２４を有し、対を成す前記支持部２４間に、前記薄肉部２２を厚肉化するための突出部２６を構成したことを特徴とする。また、このような特徴を有する圧力センサ用ダイヤフラム（ダイヤフラム）２０では、前記突出部２６は、前記薄肉部２２の他方の面のみに形成することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】低電圧および低電流で動作するリアルタイムクロック装置およびこれの制御方法を提供する。
【解決手段】リアルタイムクロック装置１０は、源振を出力する発振回路１４と、リアルタイムデータを記憶した、電流が選択的に供給される不揮発性メモリ１８と、不揮発性メモリ１８からリアルタイムデータを入力して保持する揮発性メモリ２０と、発振回路１４から入力した源振と揮発性メモリ２０に記憶したリアルタイムデータとを利用して計時を行うリアルタイムクロック回路１６とを備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】ユーザ使用端子と調整用端子との短絡等を防止することができる電子デバイスを提供する。
【解決手段】内部にＩＣ２４と当該ＩＣ２４を介して制御される圧電振動片２２とを備えるパッケージ１８の裏面に、電子機器等の基板への実装時に用いられるユーザ使用端子２８と前記ＩＣ２４に対するプログラムの書き換え、あるいは書き込み時に用いられる調整用端子３０とを備えた電子デバイスであって、前記ユーザ使用端子２８と電気的導通を図る端子部４４と前記調整用端子３０を被覆する絶縁部４２とを備える被覆基板４０を前記パッケージ１８の裏面に接合したことを特徴とする。 （もっと読む）