【課題】計算精度を実質的に低下させることなく、かつ計算時間を短縮して光学性能のシミュレーションを行うことができるようにする。
【解決手段】照明瞳面からの光でレチクルＲ１のパターン４４を照明する照明光学系を含む光学系の光学性能のシミュレーション方法であって、パターン４４の三次元構造を設定し、照明瞳面に二次元的に分布する複数の点光源を配置し、その複数の点光源のそれぞれからの光がその照明光学系及びその三次元構造のパターン４４を通過した後の複素振幅分布IN1R,IN1I を計算し、計算された複素振幅分布をその複数の点光源に対応させて記録したデータベースを作成する。 （もっと読む）

【課題】複数の露光装置間の露光特性をより高精度に合わせる。
【解決手段】露光装置の露光条件の調整方法は、互いに異なる複数の露光条件のもとで複数のパターンの像の線幅の実測値と計算値との第１の比率を複数回求めるステップ１０６，１１４と、複数の第１の比率に基づいて第２の比率を求めるステップ１２０と、複数のパターンの像の線幅の計算値を第２の比率で補正した値を用いて露光装置の比較対象の露光特性を予測するステップ１２２と、比較対象の露光特性と目標となる露光特性との比較により調整用の条件を求めるステップ１２４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】液浸法で露光を行う露光装置の液体に接する部分に異常があるかどうかを効率的に判定する。
【解決手段】露光光ＥＬで投影光学系ＰＬと液体１とを介して基板Ｐを露光する露光方法において、液体１に接する接液部を光学的に観察し、得られる第１画像データを記憶する第１工程と、接液部の液体１との接触後、例えば液浸露光後に接液部を光学的に観察して第２画像データを得る第２工程と、第１画像データと第２画像データとを比較して、その観察対象部の異常の有無を判定する第３工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＡＦ情報を利用して撮影した画像データに写り込む複数の被写体のそれぞれを分離し、被写体の領域ごとにホワイトバランス調整を行う場合、ＡＦ情報から取得される被写体の距離情報が粗いので、最適な調整を行うことが困難であった。
【解決手段】撮像装置は、少なくとも２つの視差画像データを出力する撮像部と、視差画像データ間のマッチング処理を行うことにより算出される奥行き情報に基づいて、被写体像の輪郭を抽出する輪郭抽出部と、輪郭により囲まれた領域ごとにホワイトバランス調整に用いる制御量を算出する制御量演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】偏光画像データを出力する従来のカメラでは、偏光画像データと共に同一被写体を捉える通常のカラー画像データを出力することができなかった。
【解決手段】上記課題を解決すべく、撮像素子は、入射光を電気信号に光電変換する、二次元的に配列された光電変換素子と、少なくとも一部の前記光電変換素子のそれぞれに一対一に対応して設けられたカラーフィルタと、少なくとも一部の前記光電変換素子のそれぞれに一対一に対応して設けられたフォトニック結晶偏光子とを備える。 （もっと読む）

【課題】より容易に撮影画像中の異物影を検出可能な画像処理装置及び画像処理プログラムを提供する。
【解決手段】本発明の画像処理装置５０は、補正対象の第一撮影画像Ｇ１の撮影条件をもとに、保存されている撮影画像から、異物影情報取得用の第二撮影画像Ｇ２を選択する第二撮影画像選択部５５と、前記撮影画像に写り込んでいる影の中から異物影の可能性がある異物影候補を抽出し、それぞれの撮影画像に対して、該異物影候補が存在する位置の座標及び該異物影候補の部分の輝度低下量を取得する異物影情報取得部６０と、前記異物影情報取得部６０により取得された、前記第二撮影画像Ｇ２における該異物影候補が存在する位置の座標及び該異物影候補の部分の輝度低下量をもとに、前記第一撮影画像Ｇ１を補正する補正部５６と、を備えること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板上の配線スペースを有効に使用すること。
【解決手段】撮像ユニット１は、第１面１１Ｂ及び第１面１１Ｂとは反対側の面である第２面１１Ａとを有し、少なくとも第１面１１Ｂに第１配線パターン１４が設けられたガラス基板１１と、第１配線パターン１４と電気的に接続され、ガラス基板１１の第１面１１Ｂ上に実装された撮像素子１２と、第１面１１Ｂ側又は第２面１１Ａ側に配置され、第１配線パターン１４と電気的に接続される圧電素子１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】振動部の振動が固定部に伝達するのを防止する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ１０は、第１の磁石２１が設けられた固定部１７と、振動波が励起されるとともに、前記第１の磁石２１に対して同極同士を対向させて設けられた第２の磁石２２を有し、前記第１の磁石２１と前記第２の磁石２２との間の斥力によって、前記固定部１７に対して非接触状態で保持される振動部１１と、前記振動波によって前記振動部１１に対して相対移動する相対移動部１４と、を備えること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ユーザの行動のリズムが安定化するのにかかる時間を短縮する。
【解決手段】検出の対象から該対象の特徴を示す信号を検出する検出部１０と、検出部１０により検出された信号から繰り返し現れる該信号のパターンをリズムとして抽出するリズム抽出部２１と、抽出されたリズムに基づいて、所定の時刻に現れる信号の振幅を推定する振幅推定部２２と、予測された振幅に基づく知覚可能な物理量を出力する出力部３０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】位置検出用スケールの誤差を検出する精度を向上させる。
【解決手段】位置検出用スケールの計測装置は、位置検出に使用されるスケールの位置情報を検出する複数の検出部を有し、スケールに対して移動方向に相対的に移動する位置検出部と、複数の検出部のうち少なくとも２つの検出部による検出結果に基づいて、スケールの誤差を検出する誤差検出部と、を備える。そして、複数の検出部のうち少なくとも２つの検出部は、移動方向において互いに所定の第１間隔で配置されている。 （もっと読む）