【課題】後工程において半導体ウェハから接着シートが円滑に剥離できるようにマウント用シートを半導体ウェハに貼付できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】シート貼付装置１でマウント用シートＭＳをウェハＷの裏面ＷＢに貼付する際に、退避手段２３で退避させたウェハ折曲部ＷＤにマウント用シートＭＳが貼付されないようにしたことで、後工程で保護シートＳを剥離する剥離開始時に、ウェハ折曲部ＷＤが容易に立ち上がり、このウェハ折曲部ＷＤを保持して引っ張るだけで、確実に保護シートＳを剥離することができる。従って、保護シートＳの剥離開始時において、保護シートＳの剥離開始位置から確実に剥離することで、ウェハＷの起き上がりが抑制でき、ウェハＷの破損を防止しつつ円滑に保護シートＳを剥離することができる。 （もっと読む）

【課題】未架橋ゴム、特に従来架橋に長時間を要していたブチルゴムやエチレン−プロピレン−ジエンゴムなどのオレフィン系ゴムを短時間で架橋して、薄膜性に優れる架橋ゴムを与える、架橋ゴムの製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）未架橋ゴムを、（Ｂ）電子吸引基含有多官能性モノマーの存在下で、活性エネルギー線の照射により架橋反応させることを特徴とする、架橋ゴムの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】ウェハから接着シートを剥離する際にウェハの意図しない破損を回避可能なシート剥離装置および剥離方法を提供すること。
【解決手段】シート剥離装置１は、固定されたウェハＷを押さえ手段２０で押さえ、ウェハＷの中央から離れる方向に位置する外縁側を折り曲げることで剥離切っ掛け部を形成する。そして、この剥離切っ掛け部と接着シートＳとを被保持部分として保持し、被保持部分とウェハＷとを相対移動させることで接着シートＳを剥離する。このため、ウェハＷの端部に隣接する被保持部分を保持することで、ウェハＷの端部に貼付されている部分から接着シートＳの剥離を開始することができ、ウェハＷが割れることがない。よって、細かな制御をすることなく、接着シートＳの剥離時におけるウェハＷの意図しない破損を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】基材として曲面追随性の良い架橋化ポリ塩化ビニル系フィルムを用いたマスキングテープであって、高温環境下に曝されても、該基材の着色を抑制し得る上、粘着剤層の糊残りの発生を防止することができる耐熱マスキングテープを提供する。
【解決手段】架橋化ポリ塩化ビニル系フィルム基材の一方の面に、再剥離型粘着剤層を有するマスキングテープであって、上記再剥離型粘着剤層が、環内に二重結合をもつ環式化合物を含有するアクリル系エマルション型粘着剤で形成されており、かつ１９０℃で４０分間の加熱処理前後のマスキングテープの色差ΔＥが、２７以下であることを特徴とする、耐熱マスキングテープである。 （もっと読む）

【課題】外縁に沿って凸部が形成された半導体ウエハを損傷させることなく、確実に保持して搬送できるようにすること。
【解決手段】搬送装置１０は、外縁側の厚みをそれ以外の領域の厚みより大きくすることで当該外縁に沿って形成された凸部Ｗ２を有する半導体ウエハＷを搬送可能に設けられる。搬送装置１０は、半導体ウエハＷにおける凸部Ｗ２の先端面Ｗ３に面接触する接触体１１と、この接触体１１を支持する基台１２と、先端面Ｗ３に対する接触体１１の接触面積を調整する接触面積調整手段と、接触体１１及び基台１２を搬送する移動手段１４とを含む。接触体１１は、先端面Ｗ３に面接触することで、当該先端面の凹凸に倣って密着して半導体ウエハＷを支持可能な粘性を備えている。接触体１１の平面形状は、先端面Ｗ３の平面形状内に収まる形状に設けられる。 （もっと読む）

【課題】ウエハの処理に際し、ウエハを一体として支持する受け部材を用い、当該受け部材を保持してウエハの間接的な保持を行うことで、ウエハの割れ等の損傷を回避することのできる保持装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷを支持する受け部材１２と、当該受け部材１２を受容する受容部１３を有するテーブル１４とにより保持装置１０が構成されている。この保持装置１０は、受け部材１２をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる位置決め手段１５を備えている。また、テーブル１４は、アライメント手段１６を介して半導体ウエハＷのアライメントができるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】後工程において半導体ウェハから接着シートが円滑に剥離できるようにマウント用シートを半導体ウェハに貼付できるシート貼付装置および貼付方法を提供すること。
【解決手段】シート貼付装置１でマウント用シートＭＳをウェハＷの裏面ＷＢに貼付する際に、ウェハ押折部ＷＤを折り曲げて凹部２３内に退避させることで、このウェハ押折部ＷＤにマウント用シートＭＳが貼付されないようにできる。従って、後工程で保護シートＳを剥離する際の剥離開始時において、保護シートＳの端部から離れた位置を引っ張ってしまったり、マウント用シートＭＳを引っ張ってしまったりすることなく、ウェハ押折部ＷＤに沿った保護シートＳの剥離開始位置から確実に剥離することで、ウェハＷの起き上がりが抑制でき、ウェハＷの破損を防止しつつ円滑に保護シートＳを剥離することができる。 （もっと読む）

【課題】 優れた帯電防止性又は導電性を有する粘着剤組成物、及び粘着シートを提供する。
【解決手段】 粘着剤中に、カーボンナノ材料及び導電性ポリマーが均一に分散されていることを特徴とする粘着剤組成物、及び、その粘着剤組成物からなる粘着剤層が基材シートの片面又は両面に設けられていることを特徴とする粘着シート。 （もっと読む）

【課題】後工程において板状部材から接着シートを円滑に剥離することができるようにする板状部材の加工装置および加工方法を提供すること。
【解決手段】ウェハ加工装置１によってウェハＷに剥離切掛け部を形成することで、その後にウェハＷから保護シートＳを剥離する工程において、剥離開始時に剥離切掛け部を引っ張るだけで、確実に保護シートＳを剥離することができる。従って、保護シートＳの剥離開始時において、保護シートＳの端部から離れた位置を引っ張ってしまったり、マウント用シートを引っ張ってしまったりすることなく、剥離切掛け部に沿った保護シートＳの剥離開始位置から確実に剥離することで、ウェハＷの起き上がりが抑制でき、ウェハＷの破損を防止しつつ円滑に保護シートＳを剥離することができる。 （もっと読む）

【課題】
金属等の被着体に対し高い粘着力を有し、シーズニング期間が短く、かつ、金属に対する腐食性が極めて低い粘着剤層が得られる粘着剤組成物、該粘着剤組成物から形成された粘着シート、及び粘着積層体を提供する。
【解決手段】
Ｎ−ビニル環状ラクタム単量体およびアクリル系単量体を含み、かつ、カルボキシル基を有する単量体を含まないモノマー組成物を重合して得られるアクリル系共重合体、並びにポリイソシアネート化合物を含有することを特徴とする粘着剤組成物；該粘着剤組成物から形成された粘着シート；並びに粘着積層体。 （もっと読む）