【課題】 本発明は、ノッチを備えた半導体ウェハをノッチが予め定められた方向を向くように方向付けするためのアライニング装置に関し、特に、アライニングを浸漬水中において行うことができる水中アライニング装置に関する。
【解決手段】
この水中アライニング装置は、半導体ウェハＷの少なくとも一部が浸漬水中にある間は、鉛直方向Ｖを向いたウェハの平坦面Ｐに沿って半導体ウェハＷを浸漬水槽１１内に搬送する搬送装置５と、半導体ウェハＷのノッチＮが所定位置まで回転したことを光学的に検出するとともに付着した気泡を除去する気泡除去装置３３を備えた光学式ノッチセンサ３、及び、ノッチセンサ３によるノッチ検出後に係合する係合爪４１を備えた機械的ノッチ係合装置４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】テトラアルコキシシランの加水分解により得られた活性珪酸水溶液と、エチレンジアミン、ジエチレンジアミン、イミダゾール、メチルイミダゾール、ピペリジン、モルホリン、アルギニンおよびヒドラジンのいずれか１種類以上である窒素含有塩基性化合物によって製造されるコロイダルシリカであって、該コロイダルシリカが非球状のシリカ粒子を含有し、さらに２５℃におけるｐＨが８．５〜１１．０であることを特徴とする半導体ウエハ研磨用コロイダルシリカ。非球状のシリカ粒子は、透過型電子顕微鏡観察によるシリカ粒子の長径／短径比が１．２〜２０であって、長径／短径比の平均値が３〜１５である非球状の異形粒子群シリカ粒子であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．１〜１５であって、長径／短径比の平均値が１．２〜４である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは，珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にアルギニンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．２〜１０であって、長径／短径比の平均値が１．５〜３である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にε−カプロラクタムを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供する。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．５〜１５であって、長径／短径比の平均値が２．５〜６である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にピペリジンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ表面に生じる過剰エッチングを抑制し、かつ高い研磨速度を維持しつつ、良好な表面粗さが得られる半導体ウエハの鏡面研磨用コロイダルシリカおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．２〜１０であって、長径／短径比の平均値が１．５〜７である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にビシンとアルカリ剤を加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材やレジスト剥離・研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．５〜１５であって、長径／短径比の平均値が２．５〜６である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にヒドラジンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．５〜１５であって、長径／短径比の平均値が２．５〜６である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にエチレンジアミンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供する。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．２〜１０であって、長径／短径比の平均値が１．５〜３である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にモルホリンを加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造する。 （もっと読む）

【課題】印刷紙用のインク吸収性フィラーや塗料の展着性改善剤、各種材料表面の親水性コーティング材、高強度バインダー、さらに、高純度シリカゲル、高純度セラミックスの原料、触媒用バインダー、電子材料用研磨材等に有用なコロイダルシリカを提供すること。
【解決手段】シリカ粒子の長径／短径比が１．５〜１５であって、長径／短径比の平均値が２．５〜６である非球状の異形粒子群となっているコロイダルシリカである。これは、珪酸アルカリ水溶液とカチオン交換樹脂とを接触させて、活性珪酸水溶液を調製した後、この活性珪酸水溶液にイミダゾール類を加えて加熱し、ビルドアップの手法で粒子成長を行うことにより製造することができる。 （もっと読む）