【課題】
コンパクトで検査精度の高いマスク検査装置を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる、マスク検査装置は、鉛直方向に被検査対象のマスク６を保持し、ＣＣＤカメラ３ａを鉛直方向に移動させてマスク６を検査するマスク検査装置であって、定盤２の上に立てられた角柱１と、角柱１の少なくとも２側面の基準面９、１０に対向するヘッド用直角ステージ１２と、ヘッド用直角ステージ１２を一定の高さに保つバランスウェイト４と、ヘッド用直角ステージ１２の各々の基準面側に設けられ、基準面側に気体を噴出する噴出部と気体を吸引する吸引部とを有するエアパッド１１と、ヘッド用直角ステージ１２を鉛直方向に移動させる鉛直方向駆動機構８とを備え、鉛直方向駆動機構のラック３５が角柱２に設けられているものである。 （もっと読む）

【課題】
簡易な構成で走査速度を向上することができ、撮像時間を短縮することができるＴＤＩ方式の撮像装置及び撮像方法を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかるＴＤＩ方式の撮像装置は、試料１２に光を照射する光源１１と、光源１１から出射され、試料１２を透過した透過光を分岐するビームスプリッタ１５と、ビームスプリッタ１５によって分岐された光をそれぞれ受光する第１のＣＣＤカメラ２１及び第２のＣＣＤカメラ２２とを備え、第１のＣＣＤカメラ２１及び第２のＣＣＤカメラ２２において、水平転送部での転送方向と平行方向に設けられた受光素子からなる受光列が互いに他方のＣＣＤカメラの受光列間の隙間に対応する位置に配置されているものである。 （もっと読む）

【課題】 正確に検査を行うことができる検査装置、検査方法及びそれを用いたパターン基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明にかかる検査装置は光源１１と、光源１１から入射した入射光を集光してペリクル２２に入射させる対物レンズ１６であって、入射光が対物レンズ１６の半分の領域である第１の領域１６ａに入射するよう、入射光の光軸からずれて配置された対物レンズ１６と、ペリクル２２の表面で散乱して反射された散乱光であって、対物レンズ１６の第１の領域１６ａを通過した散乱光を、共焦点光学系を介して検出する光検出器３２と、ペリクル２２の表面で反射され、対物レンズ１６の第１の領域１６ａと異なる第２の領域１６ｂに入射した反射光を検出して、ペリクルの表面に焦点を合わせる自動焦点合わせ機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の存在だけでなく試料表面の凹凸形状をに検出できる光分解能の光学式走査装置を実現する。
【解決手段】 光源１から試料４に向かう光ビームと試料から光検出器６に向かう反射ビームとを分離するビームスプリッタ２と、試料と光スポットとを相対的に移動させる手段とを具え、試料表面を光スポットにより走査し、試料表面からの反射光により試料の表面領域の情報を検出する光学式走査装置において、ビームスプリッタと光検出器との間の光路中に遮光板を配置し、試料表面における光スポットの走査方向と対応する方向の片側半分の光路を遮光する。遮光板を光路中に配置することにより、試料表面に欠陥の要因となる微小な傾斜面存在する場合、反射の法則により光スポットからの反射光は光軸から変位するので、遮光板により遮光される光量が変化する。この結果、光検出器からの出力信号により凸状欠陥及び凹状欠陥を判別することができる。 （もっと読む）