【課題】 外側電極を安価且つ確実に製造可能なエキシマランプの電極製造方法を提供すること。
【解決手段】 同軸円筒状に形成された内管11および外管12よりなる放電管10を含み、内管10の内側の内側電極15と外管12の外表面に配置された外側電極14との間に高電圧を印加し、内管11と外管12との間の空間15に封入されたガスを放電発光させるエキシマランプの電極製造方法であって、表面に予め澱粉質31を塗布した転写紙３に導電性物質により電極パターン14cを形成する第一の工程と、澱粉質31および電極パターン14cを覆うカバーコート17を形成する第二の工程と、第二の工程で得た転写紙３を湿らせて外管11の表面に貼り付ける第三の工程と、転写紙３を剥離して外管11の表面にカバーコート17ととともに電極パターン14cを残存させる第四の工程と、この第四の工程で残存させた電極パターン14cを焼成して電極14とする第五の工程を経る方法である。 （もっと読む）

【課題】二次元アレー型誘電体バリア放電装置の電極の外周縁部での発光を防止し、開口部での発光効率を高める。
【解決手段】平板状の第１電極３に、放電開口部４を多数設ける。誘電体層５を介して第１電極３に対向して平板状の第２電極６を配置する。第１電極３の面積を第２電極６の面積より大きくする。第１電極３の最外周に位置する放電開口部４を、第２電極６の最外周縁部6Eより内側に位置させる。第２電極６を誘電体層５に埋め込んで、第２電極６の縁部を覆う。誘電体層５を貫通する延長部3B,6Bを介して、第１電極３と第２電極６との間に高圧の交流電流を印加する。第１電極３の外周縁部における発光が防止され、放電開口部４から均一の発光が得られる。 （もっと読む）

【課題】二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの発光強度を高め、発光効率を改善し、寿命を延ばす。
【解決手段】誘電体層２の一方の面に共通電極１を設け、誘電体層２の他方の面に内部電極３を設ける。これを平面型の放電容器の中に収め、誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電容器の中に放電用ガスを充填する。誘電体層２が放電用ガスに接触するように、内部電極３に放電開口部４を多数設ける。放電容器の一部である誘電体５の外側に、外部開口部７を有する外部電極６を設ける。内部電極３と外部電極６に高周波電圧を印加する。光シースを伸ばすことができ、発光強度が飛躍的に高まる。高周波電圧の位相をずらすことにより、発光強度がさらに高まる。放電開口部４と内部電極３にＭgＯ膜を積層することにより、発光効率が向上し寿命が延びる。 （もっと読む）

【課題】平面型電子ビーム源を有する電子ビーム照射装置において、電子ビームのロスを少なくし、電子ビーム密度を高め、コンパクト化し、高速処理を可能にする。
【解決手段】強誘電体層２の各面に、共通電極１と、電子発生用開口部31のある電子発生電極３を設ける。所定距離はなして、電子収束用開口部41がある加速電極４を設ける。電子ビーム源の電子発生電極３の開口率よりも、加速電極４の開口率を大きくして、電子ビームのロスを少なくする。さらに、電子ビーム源である強誘電体層２の表面に、二次電子放出能力の高いＭgＯ膜や窒化アルミニウム膜等を積層して、電子ビーム放出密度を高める。電子集束部として、金属メッシュ電極と誘電体メッシュの複数層から構成される電子ビーム集束板を設けると、電子ビーム密度を高めてもコンパクト化できる。また、電子ビームの照射面を両面とすることで、電子照射効率を２倍にできる。 （もっと読む）

【課題】二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの発光を安定化し、発光効率を高め、照度特性を改善し、長寿命化し、安全に製造および取り扱いできるようにする。
【解決手段】二次元アレー型誘電体バリア放電ランプの容器には、エキシマー光を取り出すための光取出窓が有る。誘電体バリア放電によってエキシマー分子が形成されるように、放電容器の中に放電用ガスが充填される。第一電極には、放電用ガスに直接接触する放電開口部が多数設けられ、第一電極に接する誘電体層が設けられている。放電開口部をＭgＯ膜で被覆し、ＭgＯ膜と第一電極との間にセラミックの絶縁膜を積層させる。第二電極は、誘電体層を介して第一電極に対向して配置される。最大発光効率が得られる放電開口部の開口面積と放電用ガスの圧力との対応関係に基づいて、（１気圧、0.6mm²）〜（３気圧、7.1mm²）の範囲内で、放電用ガスの圧力を、開口面積に応じた最適値に設定する。 （もっと読む）