【課題】確実に放電空間を気密にし、破裂、破損の恐れがない封止構造を提供するとともに、安定した点灯を実現する。
【解決手段】二重封止構造の放電ランプにおいて、電極支持棒２２を保持する電極側ガラス管２４の端部２４Ｔ１に、封止管端部に向けて先太のテーパー形状部分を形成する。そして、端部２４Ｔ１の径を、他方の端部２４Ｔ２の径よりも大きくする。すなわち、内側金属リング２６とガラス管２４との接触面付近において、電極側ガラス管２４の径を他の部分の径よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】クラックに起因して封止管が破断するとき、発光管の破壊を防ぎ、被害を最小限にして点灯を停止させる。
【解決手段】封止管２０をマウント部品１８Ａと溶着させた封止構造の放電ランプにおいて、弾性性能を有するコイル状に巻いたゲッター部材４２を、電極支持棒２２を保持する電極側ガラス管２４と所定間隔Ｄ１だけ離れて電極支持棒２２の周りに配置する。一方の端部４２Ａを自由端として電極支持棒２２に固定せず、他方の端部４２Ｂだけを陽極１４に固定する。 （もっと読む）

【課題】ショートアーク型放電ランプの二重封止構造の信頼性と製造効率を高めるとともに、点灯立ち上がり時間を短縮する。
【解決手段】電極（陽極２または陰極３）と、電極支持棒４と、放電空間側に小径部がある先細内部ガラス管36と、内部金属リング14と、リード棒５と、外部金属リング25と、複数枚の金属箔８と、外部ガラス管15と、ガラス棒18とを組み立てて、マウント部品19を構成する。先細内部ガラス管36の大径部端面39に、内部封止管12の放電空間側の内部端部16を合わせて封止する。先細内部ガラス管36の放電空間側の径を小さくしたので、安定点灯までの時間が短くなる。先細内部ガラス管36への応力の集中を小さくでき、破裂に対する信頼性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 ワークＷに掛かる張力を一定に保ち、且つワークのパターン形成面に異物を付着させないで確実にワークを搬送する搬送装置を提供する。
【解決手段】 搬送装置は、第１面に感光材が塗布された長尺状のワークを搬送する搬送装置である。長尺状のワーク（Ｗ）が巻き回されている供給リール（２）と、供給リールから送られたワークの感光材を感光させる感光処理部（２０）と、感光処理部で感光されたワークを巻き取る巻き取りリール（５）と、供給リールから巻き取りリールに至るまで、ワーク（Ｗ）の第１面以外に接触してワークを搬送する搬送補助手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】放電空間内に電極を持たない誘電体バリア放電方式または容量結合型高周波放電方式のエキシマランプにおいて、高い放射出力を得るために、ランプに高電圧を印加しても電極間の沿面放電や、リード線間の異常放電を防止できる信頼性の高いエキシマランプを提供する。
【解決手段】エキシマランプ１０において、単管状の放電容器１１に形成される放電空間１５に放電ガスを封入する。放電容器１１の外面１１Ｓ上にランプ軸Ｅに沿って対向する電極１３、１４を配置する。そして、放電容器１１を囲む外管１２を設け、外管１２と放電容器１１との間に形成された絶縁空間１８に、消弧性ガスを封入する。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく、露光対象面に適合するパターンを基板等へ確実に形成させる。
【解決手段】基板が描画システムに搬入されると、露光対象面に形成されたアライメントマークの位置を検出し、第１面の基準アライメントマークとアライメントマークのマーク間隔の誤差量から、補正アライメントマークを算出する。そして、補正アライメントマークのマーク間隔ＳＬｎｍと、計測したアライメントマークのマーク間隔ＭＬｎｍとの平均差である指標Ｓｔを算出する。同様に、第２面に対しても指標Ｓｂを算出する。指標Ｓｔ＜Ｓｂの場合、第１面が露光対象面になっていると判断し、第１面の描画データに基づき描画処理を実行する。 （もっと読む）

【課題】誘電体バリア放電ランプを用いた紫外線照射装置において、紫外線放射のとき生じる電磁雑音が周囲に放射され、あるいはケーブルを介して外部に伝搬されること防止する。
【解決手段】放電ランプ１２を収容したランプハウス１０内に、直流定電圧を高周波交流電圧に変換するスイッチング回路１６と、高周波交流電圧を昇圧する昇圧トランス１８とを設置する。ランプハウス１０の外部には低圧直流電源２０を設け、ケーブル２２を介してランプハウス１０と接続させる。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を透過した光線を再反射せずに基板から遠ざかる方向に向け、パターンに対する多重露光を防ぎ、高い解像度のパターンを形成すること。
【解決手段】基台に配置されてガラス基板を支持する支持柱２２は、基台２１に固定される底部にフランジ２２ａ１が形成され、上端に径の細い細径部２２ａ２が形成された円柱状の柱状部２２ａと、この柱状部２２ａに対して上下方向に調整可能に取り付けられてガラス基板を支持する支持部２２ｂとを備えている。支持部２２ｂは、透明なガラス製の支持体２２ｂ１と、この支持体２２ｂ１の外周を覆って設けられた不透明なスリーブ２２ｂ２とから構成されている。支持体２２ｂ１の上端面には、断面Ｖ字状の溝Ｇが複数形成され、これにより角錐台が複数形成されている。また、支持体２２ｂ１の上端面及び傾斜面には、反射防止膜が被覆されている。 （もっと読む）

【課題】直流駆動のマグネトロンで点灯する無電極放電ランプの点灯開始直後の異常状態を持続させないとともに、安定状態期間の異常状態からもすみやかに安定動作を回復させる。
【解決手段】無電極放電ランプ24の点灯開始をソフトスタートで行う。マグネトロン９へ供給する電力を徐々に増加させて、発光媒体がマイクロ波を吸収して充分に気化する時間よりも長い時間かけて点灯状態にする。その期間では、直流電源の出力を周期的に短時間オフにし、異常動作状態をリセットする。その後、安定した直流電力を供給する。安定状態期間では、マグネトロン９の陽極動作電流が一定になるように制御する。放電ランプ24の動作電圧が上昇したことを検知すると、直流電源の出力を短時間オフにして、安定状態に戻す。 （もっと読む）

【課題】ワークの移送方向における装置全体の長さを増やすことなく、反転後のワークの第２面を除塵する露光装置を提供する。
【解決手段】反転装置９は、収容凹部を有する吸着ベースと、水平に設置された回転軸を中心として吸着ベースを初期状態から１８０度を越えて回転自在に支持する支持部材と、支持部材に対して吸着ベースを回転させる回転駆動モータと、前記収容凹部を開閉できる開閉ベースと、当該開閉ベースを回転させる回転モータとを有する。クリーニングユニットは、Ｙ−Ｚテーブルによって移動可能に保持されている。反転部コントローラは、吸着ベースが初期状態にあり、且つ、開閉ベースが閉鎖位置にある状態から吸着ベースを回転させ、収容凹部が水平方向を越えて傾斜した位置にて停止させ、開閉ベースを開放させ、クリーニングユニットによりワークＷの表面を除塵させ、その後、前記吸着ベースを水平に向けさせる。 （もっと読む）