【課題】ショートアーク型放電ランプにおいて、照度変動を十分に抑える。
【解決手段】陰極２０、陽極３０を発光管１２内に対向配置させ、発光管１２内に水銀、Ａｒなどの希ガスを封入したショートアーク型放電ランプにおいて、以下の式を満たす分光分布特性を備える。ただし、３３４ｎｍの輝線スペクトルの強度をＨ_３３４、５４６ｎｍの輝線スペクトルの強度をＨ_５４６とする水銀量をＭとする。

Ｈ_３３４／Ｈ_５４６≧０．３５ （Ｍ≧１５）
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【課題】陰極先端部の構造強度を下げることなく、安定したアーク放電によって一定照度の光を照射するショートアーク型放電ランプを提供する。
【解決手段】陰極２０、陽極３０が短い電極間距離Ｈで対向配置されるショートアーク型放電ランプにおいて、陰極先端面２４Ｔを有するテーパー状陰極先端部２４に、陰極先端部側面２４Ｓを貫通する２つの貫通穴２６Ａ、２６Ｂを形成する。このとき、貫通穴２６Ａ、２６Ｂを直線状に電極軸Ｅを通るように形成し、電極軸Ｅにおいて互いに直交させる。 （もっと読む）

【課題】煩雑な作業工程を伴うことなく、放電容器の黒化を防ぐ。
【解決手段】放電ランプにおいて、ショットブラストによって陰極表面にアルミナを噴射させ、散在した状態でアルミナ２６をテーパー状陰極側面に付着させる。そして、アルミナ２６の融点以下で陰極２０を真空加熱処理し、不純ガスを取り除く。ランプを点灯始動させると、陰極２０の温度上昇に伴ってアルミナ２６が溶融、蒸発する。そして、蒸発したアルミナが発光管の内面に付着する。 （もっと読む）

【課題】点灯中、封止管の破裂を防ぐ信頼性の高い封止構造をもった放電ランプを得る。
【解決手段】発光管内の陽極を支持する電極支持棒２２を封止管２０内に封止するショートアーク型放電ランプにおいて、電極支持棒２２と接続する内側金属リング２６の両面に、金属性の円板箔４２、４４を隣接させ、電極側ガラス管２４、ガラス部材と内側金属リング２６との間に設置する。そして、以下の式を満たすように円板箔４２、４４の外径Ｄ２を定める。

０＜Ｌ≦０．１０×Ｄ１

ただし、Ｌ＝（Ｄ１−Ｄ２）／２ （もっと読む）

【課題】複数の小型ランプを管理できる光源装置及び描画装置に関する技術を提供する。
【解決手段】 第１の観点の光源装置（２０）は、ランプ（２２）及び反射鏡（３）で構成され第１識別情報を有する光源と、第１識別情報を検出する第１検出器（５１）と、光源を１個以上保持し第２識別情報を有するハウジング（２１）と、第２識別情報を検出する第２検出器（５６）と、第１識別情報に関連する光源の情報と第２識別情報に関連するハウジング（２１）の情報とを記憶する記憶部（９２）と、第１検出器で得られた第１識別情報及び第２検出器で得られた第２識別情報と記憶部に記憶された光源の情報及びハウジングの情報とを比較し判定する判定部と、判定部の結果に基づいて、ランプを駆動する条件を制御する制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】特定波長の真空紫外光を高出力で放射可能な放電ランプを提供する。
【解決手段】放電ガスとしてネオン（Ｎｅ）ガスを放電管内に封入するマイクロ波放電ランプにおいて、微量（ガス濃度Ｎが５％以下）の一酸化炭素（ＣＯ）ガスをＮｅガスに添加し、放電管内に封入する。そして、マイクロ波発振器によるマイクロ波電力の供給によって放電発光させる。放電中、１５６ｎｍ、１６５ｎｍにおいて高強度の輝線スペクトルが得られる。 （もっと読む）

【課題】広範囲に効率よく光を照射可能なマイクロ波放電ランプを提供する。
【解決手段】長尺の放電管４０を備えたマイクロ波放電ランプにおいて、マイクロ波を発振する２つのマグネトロン１２Ａ、１２Ｂを放電管４０の両端部４０Ａ、４０Ｂと同軸結合させ、放電管４０を管軸方向に沿って囲むように導体管３０を配置する。そして、マグネトロン１２Ａ、１２Ｂによって同軸モードのマイクロ波を放電管４０の端部４０Ａ、４０Ｂへ供給する。 （もっと読む）

【課題】クリプトンと塩素を含む放電用ガスを封入する放電ランプにおいて、照度が高く、かつ照度の安定した放電ランプを実現する。
【解決手段】単管状の放電容器の管壁内に埋設させた状態で一対の電極を対向配置させ、塩素とクリプトンを放電ガスとして封入してエキシマ光を放射する放電ランプにおいて、塩素濃度と放電ガスの封入圧力を（０．５，７）、（０．５，１３）、（１，２０）、（２，３３）、（２，７）を頂点とする領域ＡＲ内の範囲で設定する。 （もっと読む）

【課題】沿面放電を確実に防止しながら、光出力の大きい信頼性あるエキシマランプを実現する。
【解決手段】エキシマランプにおいて、内管１４と外管１６を溶着させて一体化することによって単管状放電容器を形成し、電極１８Ａ、１８Ｂを放電容器の管壁内に埋設させる。そして、電極１８Ａ、１８Ｂの軸方向側面と当接する凸状係合部２２Ａ〜２２Ｄを、内管１４の外周面に形成し、溶着時に電極１８Ａ、１８Ｂの位置を固定する。 （もっと読む）

【課題】ダイレクト露光描画装置に用いる放電ランプのｈ線の発光効率を高めて、レジストパターンの断面が台形になるようにする。
【解決手段】容積65mm³以下の石英ガラス製のバルブ２に、270mg/ccの割合で水銀を封入し、170Torrの圧力でガスを封入する。電極の背面５とバルブ２の内面６との間に、0.4mmないし0.42mmの空隙７を設ける。一対の電極４を結ぶ軸が水平となる状態で放電ランプ１を保持する。このようにすると、放電ランプ１のｈ線の発光効率が高まり、台形断面のレジストパターンに形成できる。 （もっと読む）