【課題】光学系の特性を適正に維持する。
【解決手段】射出口に１つの光学素子を有するハウジングと、光源の近傍に配置され光源の光量を測定する第１光量センサ４１と、基板の周辺で光学素子を経由した光量を測定する第２光量センサ４５と、ハウジング外の温度及び湿度を測定する周囲温湿度センサ（ＭＴ１）と、ハウジング内の温度及び湿度を測定する内部温湿度センサ（ＭＴ２，ＭＴ３）と、ハウジング内の空調を行う空調部５０と、第１光量センサに基づいて光源の寿命期間を判定する第１判定部９７と、光源が寿命期間内であった場合に第１判定部が第２光量センサに基づいて光学素子の特性の良否を判定する第２判定部９８と、周囲温湿度センサ及び内部温湿度センサに基づいて空調部の設定変更が必要か否かを判定する第３判定部９９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】データ量の多い高密度の描画パターンに対しても、データ処理スピードを落とすことなく高精度のパターンを形成する。
【解決手段】描画パターンＰＷから描画パターンに繰り返し現れる定形パターンＣＰを抽出し、一連の露光用定形ラスタデータを貼付番号と関連づけながらメモリに格納する。露光動作のとき、露光エリアの相対位置に応じて固有パターンＰＢのベクタデータをラスタデータに変換するとともに、露光エリアの相対位置に応じた露光用定形ラスタデータをメモリから読み出す。そして、読み出された露光用定形ラスタデータと固有ラスタデータとを合成し、全体の露光ラスタデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】紫外線硬化用の無電極ランプを効率よく冷却することができ、ランプの長寿命化、安定化を図ることができる紫外線硬化システムを提供すること。
【解決手段】紫外線照射ユニット１１３は、無電極ランプ１１３ａと、その光を集光して照射する曲面集光ミラー１１３ｂと、このミラーの開口部に設けられたマイクロ波遮断網１１３ｃとを備えている。無電極ランプ１１３ａ及び曲面集光ミラー１１３ｂが配置されたランプハウス１１３ｄには、給気ダクト１３２、給気パイプ１３１を介して冷却用の空気が送り込まれる。ランプハウス１１３ｄに送り込まれた空気は、ノズル１１３ｅを通して無電極ランプ１１３ａに吹き付けられ、これを冷却する。無電極ランプ１１３ａを冷却して熱せられた空気は、マイクロ波遮断網１１３ｃを通してワークＷに沿って流れ、排気部の排気口Ｈ２から排気ダクト１３４を通して外部に排出される。 （もっと読む）

【課題】 アライメント工程の簡略化と、基準辺に平行な周辺露光領域を正確に確保することのできる周辺露光方法を提供する。
【解決手段】 紫外光を照射する紫外線照射ユニット（３１）を有し、矩形基板（ＳＷ）に形成される回路パターン領域の周囲に形成される周辺領域(ＥＡ)を紫外光で露光する周辺露光方法である。この方法は、矩形基板をステージに保持する保持工程（Ｓ１１）と、紫外線照射ユニットに設けられた検出部（５１）で矩形基板（ＳＷ）の一辺のエッジ（ＳＮ１）を検出して第１方向からの基板の傾きを算出する傾き検出工程（Ｓ１３）と、傾き検出結果に基づいて矩形基板又は紫外線照射ユニットを回転させる回転工程（Ｓ１４）と、紫外線照射ユニットとステージとを相対的に第１方向に駆動する駆動工程（Ｓ１７）と、傾き検出部（５１）でエッジを検出して周辺領域（ＥＡ）を特定しながら、紫外線照射ユニットから紫外光を照射する照射工程（Ｓ１８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】金属箔を介在させて電極支持棒を封止したランプの封止構造において、応力集中を生じさせず、クラックの発生を防止する。
【解決手段】電極支持棒２２と内部ガラス管２４との間に介在させる巻き箔３０を、幅の狭い狭幅巻き箔３０Ｂと幅の広い幅広巻き箔３０Ｃとを重ねて巻き上げることによって構成する。そして、巻き箔３０の封止管先端側を電極支持棒２２と内部ガラス管２４との間で圧着させて隙間を設けず、一方で巻き箔３０の陽極側端部に隙間Ｓを設ける。 （もっと読む）

【課題】ロウ材が溶融してもランプの破損を防止し、また、ランプの高温状態を速やかに検知する。
【解決手段】陰極ヘッド２０、陽極ヘッド３０を鉛直方向に配置し、陽極ヘッド３０をロウ材４０によって電極支持棒１７Ｂと接合させたショートアーク型放電ランプにおいて、棒状の抜け止め部材６０を陽極ヘッド３０内部に挿入し、水平方向に装着させる。このとき、電極支持棒１７Ａに形成された溝３３に抜け止め部材６０の一部を配置する。ロウ材４０が溶融すると、陽極ヘッド３０を距離Ｄ１１だけ降下させ、抜け止め部材６０を溝３３の端部で係止させることにより、その位置で陽極ヘッド３０を保持する。 （もっと読む）

【課題】冷却によるランプのゆらぎ、照度変動を抑え、安定したランプ点灯を維持する。
【解決手段】陰極２０、陽極３０を備えたショートアーク型放電ランプにおいて、発光管１２の厚さを変える。陰極先端部（輝点）を中心として、電極軸に直交し、陰極先端部を含む基準面Ｆから緯度方向６０度付近にある発光管肩部１２Ｔ付近の厚さ（肉厚）Ｔ１を、陽極先端面３１Ａを含む平面Ｇを含む発光管最大径部１２Ｓ付近の厚さＴ２より大きくする。 （もっと読む）

【課題】複数の放電ランプを使用する照明装置において、照度を維持しながら複数のランプをそれぞれ寿命期間まで有効に使用し、ランプ交換時期を揃える。
【解決手段】第１、第２放電ランプを備えた照明装置において、所定の定照度点灯期間Ｈ_１１の間、第１、第２放電ランプを定照度点灯させる。期間Ｈ_１１経過後にランプ電力を検出し、電力上昇率からランプ残留点灯時間を予測する。そして、予測されるランプ寿命期間の差（Ｔ_ＢＦ−Ｔ_ＡＦ）に基づいて、寿命調整期間Ｐ_１１を設ける。寿命調整期間Ｐ_１１では、ランプ残留点灯時間が短い放電ランプを、短寿命放電ランプとして定電力点灯させる。一方、ランプ残留点灯時間が長い放電ランプを長寿命放電ランプとし、全体的照度を維持するように定照度点灯させる。 （もっと読む）

【課題】 基板の外周が反り上がっていても適切に吸着保持でき、また、基板の縁部が波打った状態である基板でも、基板全面において平面精度を保って保持できる載置プレートを提供する。
【解決手段】 載置プレート（１５３）は大きさの異なる被露光基板（ＳＷ）ごとにベーステーブル（５２）に載置される着脱可能な載置プレートである。この載置プレート（１５３）は、被露光基板（ＳＷ）を載置するためにベーステーブル（５２）に形成されたガス通路（６２）と連通する複数の吸着孔（６６）が表面に形成され、複数の吸着孔が形成された表面の外側に、載置プレートが被露光基板を載置する表面より上に突き出たリップ部を有するシール部材（６５）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 基板に塗布されたレジストが異常に反応しない露光装置を提供する。
【解決手段】 基板の露光方法は、露光用マスクに表示されたパターンを感光材が塗布された基板に転写する。この方法は、基板（ＳＷ）とマスク（２０）を近接又は接触させ、基板及びマスクの外周で基板及びマスクとに接する側壁（３７）を形成し、密閉空間を形成させる工程（Ｓ１４）と、密閉空間のガスを排気する工程（Ｓ１５）と、ガスが排気された密閉空間に不活性ガスを所定の期間投入する工程（Ｓ１６）と、不活性ガスの投入を停止させる工程後にマスクのパターンを基板に転写する転写工程（Ｓ２０）と、を備える。 （もっと読む）