【課題】反りが生じやすい薄型の基板に塵埃が付着した場合にも、正確なパターンを形成することができる露光描画装置を提供すること。
【解決手段】露光描画装置１０は基板ＳＷに対しパターンを直接描画するダイレクト方式の露光装置である。露光描画装置１０は、基板ＳＷを載置する描画テーブル１３が設けられた基台１１と、描画光学系２０が収納されたゲート状構造体１２とを備えている。ゲート状構造体１２には、基板ＳＷの表面に接触して基板の表面に付着した塵埃を除去する粘着ローラ３１と、この粘着ローラ３１が基板ＳＷに対して一定の圧力で接するように付勢するコイルばね３２とを含むクリーニングユニット３０が設けられている。描画テーブル１３には、描画ビームの配列するＹ方向とほぼ平行に基板ＳＷを横断して配置され、描画テーブル１３上に載置された基板ＳＷを描画テーブル１３に押しつけて固定する２組の固定手段５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ダイレクト方式においても十分な塵埃除去効果を得ることができる露光描画装置を提供すること。
【解決手段】露光描画装置１０は基板ＳＷに対しパターンを直接描画するダイレクト方式の露光装置である。露光描画装置１０は、基板ＳＷを載置する描画テーブル１３が設けられた基台１１と、描画光学系２０が収納されたゲート状構造体１２とを備えている。ゲート状構造体１２には、基板ＳＷの表面に接触して基板の表面に付着した塵埃を除去する粘着ローラ３１と、この粘着ローラ３１が基板ＳＷに対して一定の圧力で接するように付勢するコイルばね３２とを含むクリーニングユニット３０が設けられている。粘着ローラ３１は、描画ビームが照射される直前に基板ＳＷの描画対象領域の塵埃を除去するように、描画テーブル１３上の基板ＳＷの進行方向に対して描画ビームより先行した位置で描画光学系２０に近接して設けられている。 （もっと読む）

【課題】 回路パターンの描画に必要なアライメントマークを基板の第２面に形成するようにする露光描画装置を提供する。
【解決手段】描画装置（１００）は、第１面及びその反対面の第２面を有する基板（ＳＷ）を載置し基板（ＳＷ）を所定方向に移動させるテーブル（１５）と、テーブル上の基板の第１面にパターンを描画する描画部（３０）と、テーブル上の基板の第１面に形成された第１アライメントマークを検出する検出部（ＡＣ）と、第１アライメントマークの検出結果に基づいて、第２面に第２アライメントマークを形成するマーク形成部（４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 基板を露光描画テーブルに押圧し、基板を平面状に伸ばしてテーブルに密着させて正確な描画パターンを形成する露光描画装置を提供する。
【解決手段】露光描画装置は、紫外光を基板（ＳＷ）に投影する投影光学系（５０）と、基板（ＳＷ）を載置して投影光学系（３５）と相対的に第１方向及びこの第１方向と交差する第２方向に移動する描画テーブル（１５）と、描画テーブル（１５）側に紫外光が照射される露光領域（４９）の周囲を押圧する基板押圧手段（４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板などの露光対象の変形に対し、迅速かつ適切に描画データを補正して精度よくパターンを形成する。
【解決手段】パターンを形成する露光装置において、変形四角形Ｍをあらかじめ定められた補正量Ｌに基づいてスケール変換し、相似性のある補正四角形Ｚ２を定める。そして、基準矩形における位置座標の相対的位置を内分比として求めた後、補正四角形Ｚ２においてその相対的位置に対応する描画位置を求め、描画データの補正位置座標として定める。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハから指定の半導体素子をピックアップすることができるとともに、指定されていない半導体素子はダイシングテープの接着層に接着されている状態をそのまま維持する技術を提供する。
【解決手段】 半導体素子のピックアップ装置（１００）は、紫外光照射により接着力が低下する接着層を有する接着テープ（２０２）上に接着された半導体ウエハ（ＳＷ）から分離された個々の半導体素子を取り外す半導体素子のピックアップ装置である。このピックアップ装置は、接着テープ（２０２）の下面側から紫外光を照射する紫外線光源（１１）と、この紫外線光源と半導体ウエハとの間に配置され、個々の半導体素子の大きさに紫外光を遮光する遮光部材（５０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】点灯中、封止管の破裂を防ぐ信頼性の高い封止構造をもった放電ランプを得る。
【解決手段】大電力によって点灯可能な放電ランプにおいて、電極側ガラス管に面する内側金属リング２６を封止管２０内に配設し、複数の金属箔３６を内側金属リング２６に溶着させる。そして、発光管内の点灯時圧力をＰ（ＭＰａ）とするとき、封止管２０の肉厚Ｔ（ｍｍ）と、内側金属リング２６の径Ｄ（ｍｍ）とを、（Ｐ−２．２）／２００＜（Ｔ／Ｄ^２）を満たすように定める。 （もっと読む）

【課題】テープ幅を変更した場合においても押圧板を交換する作業などを必要とせず、位置合わせマークの近傍でテープを押さえることによりテープの反りや弛みを防ぎテープの位置合わせマークを観察できるようにする。
【解決手段】露光装置は、所定幅を有するロールフィルム状の被露光体Ｔを露光ステージ５０上に送り込んで、マスクの回路パターンを被露光体に露光する露光装置である。被露光体を押さえる押さえ板４２と、被露光体に形成された第１アライメントマークと回路パターンマスクに形成された第２アライメントマークとを観察するための画像認識部５４と、押さえ板と画像認識部とを被露光体の所定幅方向に同時に移動させる第１移動部４３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板の交換に伴う遮光体の取り外しと再設置の所要時間が短く、多様な遮光領域に対応する簡便な遮光体を有する投影露光装置を提供する。
【解決手段】 投影露光装置（１００）は、紫外線を含む光線をマスクに照射し投影光学系を介してそのマスクを通過した光線をネガ型フォトレジストが塗布された基板に露光する装置である。この投影露光装置は、露光光を遮光するための少なくとも２つの第１遮光体（８４）と、第１遮光体を基板の外側から基板の中心に向かって移動させる第１移動部（８２，８３，８６）と、を備え、第１遮光体を基板の中心に向かって移動させた際に、第１遮光体は基板の周辺部全域を遮光する。 （もっと読む）

【課題】ランプ照度を高め、放射範囲を制限されることなく光を放射させる。
【解決手段】陰極２０、陽極３０を備えたショートアーク型放電ランプにおいて、テーパー状の陽極縮径部３１の表面３４を鏡面に仕上げる。そして、陰極２０の先端面２３近傍における輝点Ｈから放射される光の一部を表面３４で反射させ、緯度１０度〜３０度の反射放射範囲Ｒ_１でランプ外部に放射させる。また、反射放射範囲Ｒ_１を、直接放射範囲Ｒ_０内に収める。 （もっと読む）