説明

ショートアーク型放電ランプ

【課題】点灯中、封止管の破裂を防ぐ信頼性の高い封止構造をもった放電ランプを得る。
【解決手段】大電力によって点灯可能な放電ランプにおいて、電極側ガラス管に面する内側金属リング26を封止管20内に配設し、複数の金属箔36を内側金属リング26に溶着させる。そして、発光管内の点灯時圧力をP(MPa)とするとき、封止管20の肉厚T(mm)と、内側金属リング26の径D(mm)とを、(P−2.2)/200<(T/D)を満たすように定める。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ショートアーク型放電ランプに関し、特に、放電ランプの封止構造に関する。
【背景技術】
【0002】
ショートアーク型放電ランプでは、電極を封じた発光管の両端にガラス製の封止管が一体的に形成されており、封止管内では、電極を支持する電極支持棒が筒状ガラス管によって保持される。金属箔による封止構造では、封止管を熱によって縮径させ、封止管をガラス管と溶着させる。これにより、金属箔が封着され、発光管内が気密状態になる。
【0003】
半導体、液晶製造分野では、生産効率を向上させるため、ショートアーク型放電ランプの大電力化が進んでいる。そのため、定格電力の大きな放電ランプでは、電極支持棒に金属リングを固定させ、複数の金属箔を金属リングに溶着させる。これにより、金属箔、金属リング、および電極支持棒を介して、電極に電力が供給される(例えば、特許文献1参照)。
【0004】
封止管の強度を上げるため、例えば、電極支持棒の径(d)と封止管の外径(D)との比を所定値より大きく設定する方法が知られている(特許文献2参照)。そこでは、一枚の金属箔を電極支持棒に接続させるランプの封止構造に対し、電極支持棒の径と封止管の外径との比(D/d)を調整し、点灯時における封止管の破損を防ぐ。
【特許文献1】特開2007−115414号公報
【特許文献2】実開平1−106063号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0005】
金属リングを設けたランプの封止構造では、封止工程のとき、金属リングとガラス管の接触面付近に微小な隙間が生じる。微小な隙間は、電極支持棒とガラス管との隙間を通じて放電空間と連通している。そのため、ランプ点灯時には放電空間内の高い圧力と大気との圧力差により、金属リングとガラス管を引き離そうとする応力が生じる。この応力によって、クラックが接触面に沿って径方向外側に進行し、封止管外面まで到達する。
【0006】
また、金属リングは、ランプ点灯時に電極からの熱によって高温化し、熱膨張する。この熱膨張の影響によって、金属リング周囲の封止管にかかる応力は増大する。ランプの大電力化に伴って、金属箔の枚数増加、金属リングの大型化が進むと、封止管の受ける応力がより一層増加し、封止管が破裂する恐れがある。
【0007】
しかしながら、特許文献1のように封止管の径を相対的に厚くするだけでは、金属リングを用いた封止構造の強度を適切なものとすることはできない。金属リング周囲の封止管の肉厚を必要以上に厚くすると、クラックの進行方向が拡散し、接触面付近に生じたクラックがガラス管内部、あるいは封止管壁面を伝って発光管まで進行してしまう。これによって発光管自身が破裂し、ランプだけでなく光源装置全体の破損を招き、被害が増大する。
【0008】
このように、ランプの大電力化に伴って金属リングのサイズが大型化する場合、従来ランプとは異なる封止管内の応力に対応しなければならず、十分な耐圧性をもち、ランプ破損を招くことのない信頼性ある強度を封止構造に持たせる必要がある。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明の放電ランプは、金属リングなどの導電性環状部材を用いた封止構造の放電ランプであり、発光管内の電極を支持する電極支持棒を保持し、封止管と溶着したガラス管と、ガラス管に面し、軸方向に沿って配設された金属箔と電極支持棒とを電気的に接続させる導電性環状部材とを備える。
【0010】
本発明では、以下の式を満たすように、環状部材の外径D(mm)、および環状部材とガラス管との接触面付近における封止管の肉厚T(mm)が定められる。ただし、発光管内の点灯時圧力をP(MPa)とする。

(P−2.2)/200<(T/D

【0011】
環状部材を用いた封止構造においては、環状部材とガラス管との接触面にかかる応力は、その環状部材の軸方向を向く表面の面積、すなわち内側ガラス管24との接触面の大きさに比例するとみなせる。よって、封止管内に生じる応力は、環状部材の径Dの二乗に比例すると考えられる。逆に言えば、環状部材の径Dを小さくすると、その二乗効果で応力は小さくなる。一方、応力に対する封止管の耐圧性は、肉厚Tに比例して増加するものと考えられる。
【0012】
したがって、封止管の肉厚Tと環状部材の面積D2との比T/Dは、金属リングを用いた封止構造、特に大電力の放電ランプの封止構造に関し、点灯中封止管内で生じる応力に対する耐圧性能を表す有効な指標となり得る。実際、封止管にクラックが生じた時(破壊時)の放電空間内の圧力とT/Dとの関係を調べると、比例関係にあることが明らかになった。
【0013】
点灯時の放電空間内圧力は破壊圧力より小さく設定する必要があるため、その比例式から放電空間内の許容圧力範囲を示す不等式が導かれる。よって、点灯時の発光管内の圧力をPとすることで、T/Dの値の範囲を規定する上記式が導かれる。
【0014】
上述したように、環状部材の径を小さくすると、その二乗に比例して封止管内の応力も減少する。よって、環状部材の径の大きさをわずかに抑えることによって、肉厚Tをそれほど変えずに封止構造の強度を維持することができる。すなわち、環状部材のサイズの大型化に伴って必要以上に封止管の肉厚を大きくしなくて済む。
【0015】
特に、大電力の放電ランプの場合、環状部材の径Dが20mm以上になる。一方、封止管の厚さTには上限があり、また、必要以上に肉厚Tを大きくすることによって発光管の破損を招く恐れがある。本発明では、封止管の肉厚Tと環状部材の径Dとのバランスを上記式に基づいて調整することが可能であり、適切な強度をもつ封止構造を実現することが可能となる。
【0016】
封止管の肉厚Tは、様々な事情により制限を受ける。封止管の肉厚が薄すぎると、封止管を均一に収縮させることが難しく、封止加工が煩雑となる。したがって、その肉厚の下限を1.5mmとするのがよい。一方、封止管が厚すぎると、クラックが発光管まで進行する恐れがある。例えば、肉厚の上限を11mmとするのが望ましい。
【0017】
一方、環状部材の径Dについては、大電力の放電ランプを考慮してその範囲を定めるのがよい。例えば、環状部材の径Dの下限を、大電力放電ランプ実現のために20mmと定める。一方、封止管の厚さTを11mm以下にするため、上記式から環状部材の径Dの上限を41mmに定める。ただし、発光管内の耐圧(破壊圧力)Pを、3.5MPaとする。
【0018】
本発明の他の特徴であるショートアーク型放電ランプは、大電力化を図るため、安定点灯時の電力が8kW以上に定められる。そして、環状部材の外径をD(mm)、環状部材とガラス管との接触面付近における封止管の肉厚をT(mm)としたとき、以下の式が満たされることを特徴とする。ただし、点灯時の放電空間圧力が2.5MPaになることを考慮し、高い安全性を確保するため、放電空間、すなわち発光管内の耐圧(破壊圧力)Pを3.5MPaとして上記式に代入することによって得られる。

0.0065≦T/D

【0019】
本発明の他の特徴であるショートアーク型放電ランプは、発光管内の電極を支持する電極支持棒を保持し、封止管と溶着したガラス管と、ガラス管に面し、軸方向に沿って配設された金属箔と電極支持棒とを電気的に接続させる導電性環状部材とを備え、発光管内の点灯時圧力をP(MPa)、環状部材の外径をD(mm)、環状部材とガラス管との接触面付近における封止管の肉厚をT(mm)としたとき、以下の式が満たされるように、環状部材の外径D、封止管の肉厚Tが定められることを特徴とする。

k×(P−Pc)<T/D

【0020】
ただし、kは、封止管の破壊圧力とT/Dとの比例関係から求められる係数を表す。また、Pcは、放電ランプの安定点灯時における電力に基づいた発光管内の限度圧力を表す。
【発明の効果】
【0021】
本発明によれば、点灯中、封止管の破裂を防ぐ信頼性の高い封止構造をもった放電ランプを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0022】
以下では、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
【0023】
図1は、本実施形態であるショートアーク型放電ランプの概略的断面図である。図2は、陽極側封止管の概略的断面図である。
【0024】
ショートアーク型放電ランプ10は、石英ガラスの発光管12内に陽極14、陰極16を備える。発光管12の両側には、石英ガラスの封止管20、60が対向するように連設されている。封止管20、60の両端は、口金80A、80Bで塞がれている。
【0025】
封止管20、60の内部には、陽極14、陰極16を支持するとともに、発光管12内の放電空間11を封止するパーツ(以下、マウント部品という)18A、18Bがそれぞれ封入されている。また、放電空間11には、水銀および希ガスが封入されている。
【0026】
図2に示すように、封止管20内部には、陽極14を支持する電極支持棒22が設けられ、軸方向に沿って配設されている。電極支持棒22は、円筒状の肉厚ガラス管(以下、電極側ガラス管という)24に設けられた軸穴24Aを通り、電極側ガラス管24によって保持される。電極側ガラス管24の発光管側端部には、封止管20との溶着を確実にするため、円筒状の凹部24Bが形成されている。
【0027】
電極支持棒22は、封止管20の端部まで延びておらず、所定間隔を置いて金属製のリード棒28が同軸的に対向配置されている。電極支持棒22、リード棒28は、円柱状のガラス部材34の両端に設けた挿入穴に軸挿され、ガラス部材34は電極支持棒22、リード棒28を保持する。リード棒28は、電源部(図示せず)と繋がった外部のリード線(図示せず)に接続されている。
【0028】
ガラス部材34の両端には、金属リング26、32がそれぞれ密着配置され、電極支持棒22、リード棒28は軸穴26A、32Aに溶接されている。発光管12に近い金属リング(以下、内側金属リングという)26は、電極側ガラス管24と当接し、他方の金属リング(以下、外側金属リングという)32は、リード棒28を軸通させて保持する環状固定ガラス管29と当接する。
【0029】
内側金属リング26、外側金属リング32の間には、軸方向に沿って複数の帯状金属箔36がガラス部材34の外表面に沿って軸方向に延び、その両端は、内側金属リング26、外側金属リング32の円周面に溶接されている。外側金属リング32は、リード棒28と金属箔36とを電気的に接続させ、内側金属リング26は、金属箔36と電極支持棒22とを電気的に接続させることにより、電源部と接続するリード棒28から陽極14へ電力が供給される。
【0030】
封止管20は、封止工程時にガスバーナーなどで熱せられることによって縮径し、電極側ガラス管24,ガラス部材34、固定ガラス管29と溶着している。これにより、封止管20内部が封止され、電極側ガラス管24、内側金属リング26、外側金属リング32、ガラス部材34、そして固定ガラス管29を含むマウント部品18Aが、軸方向に動かないように固定される。
【0031】
図3は、図2における内側金属リング26と電極側ガラス管24との接触面24Nの断面図である。
【0032】
放電ランプ10は、大電力(例えば8kW)によって点灯可能であり、内側金属リング26、外側金属リング32は、大電力化に伴い、その径が20mm以上のサイズに定められている。
【0033】
内側金属リング26の外径をDとし、封止管20の外径をD0と表すと、封止管20の肉厚(厚さ)Tは、DとD0との差に基づいて算出される(=(D0−D)/2)。そして、金属リング26の外径Dと封止管20の肉厚Tとの比(T/D)が以下の式を満たすように、内側金属リング26の外径D(mm)および封止管20の肉厚T(mm)が定められる。

(P−2.2)/200<T/D ・・・・・(1)

ただし、Pは、安定点灯時における発光管12内の圧力を示す。また、金属箔36の厚さは金属リング26、封止管20に比べて薄厚であり、ここでは無視する。
【0034】
電力8kWの場合、発光管12内の圧力は約2.5MPaになる。しかし、より十分な耐圧性を持たせるため、発光管12内の耐圧を3.5MPaと定める。この場合、次式を満たすように、内側金属リング26の外径Dおよび封止管20の肉厚Tが定められる。

0.0065≦T/D ・・・・・(2)

【0035】
以下、図4、図5を用いて、内側金属リング26の外径Dおよび封止管20の肉厚Tが上記(1)式に基づいて定められる理由を説明する。
【0036】
まず、肉厚の異なる封止管を用意し、上述した封止構造をもつ放電ランプを上述した封止方法によって作製する。ここでは、定格ランプ電力12kW、ランプ電流103A、内側金属リングの径20mmおよび25mm、幅10mmの金属箔を5枚使用するタイプの放電ランプと、定格ランプ電力7.5kW、ランプ電流183A、金属リングの径27mm、幅12mmの金属箔を6枚使用するタイプの放電ランプをそれぞれ用意する。
【0037】
次に、各放電ランプに対して静水圧実験を行う。静水圧実験は、発光管12内に水を満たし、加圧ポンプによって水圧を加えながら封止管の破壊を観察する。水圧の昇圧速度は、6MPa/5minとする。水圧を徐々に上げ、内側金属リングとガラス管との接触面を基点としてクラックが生じたときの圧力を、破壊圧力Pとする。
【0038】
図4は、破壊圧力PとT/Dとの関係を示したグラフである。金属リングの外径Dが20mmであって封止管の肉厚Tがそれぞれ異なる8個の放電ランプと、金属リングの外径Dが25mmであって封止管の肉厚Tがそれぞれ異なる16個の放電ランプと、金属リングの外径Dが27mmであって封止管の肉厚Tがそれぞれ異なる3個の放電ランプに対し、静水圧実験を行い、計測された破壊圧力Pが図4にプロットされている。
【0039】
図4から明らかなように、破壊圧力PとT/Dとの間には、ある範囲において比例関係が成り立つ。すなわち、図4に示すように、破壊圧力PとT/Dとの関係を直線によって示すことができる。
【0040】
図4の直線を式で表すと、比例係数は200、直線を延ばしたときの切片の値が2.2となり、以下の式が求められる。

=200×(T/D)+2.2 ・・・・・(3)

ただし、(3)式は、T/Dの値が所定範囲(ここでは0.004〜0.016)において成り立ち、発光管内の限度圧力(ここでは2.2MPa)以上において成り立つ。
【0041】
式(3)は、T/Dの値が大きくなるにつれて破壊圧力Pが大きくなっていくことを表している。すなわち、Tを厚くするとともに金属リング26の面積を小さくすることによって、破壊圧力Pが上がる。ところで、破壊圧力Pは、封止管の内側金属リング周辺でクラックが生じるときの発光管内圧力であり、この圧力は封止構造の耐え得る限界応力に相当する。よって、T/Dは、放電ランプの封止管破壊に対する耐性、すなわち接触面付近で発生する応力に対する耐性を表す変数とみなすことができる。以下、T/Dを破壊耐性変数Aとする。
【0042】
放電ランプ点灯時の圧力Pは、封止管の破壊を防止するため、破壊圧力Pより小さくなければならない。したがって、以下の式を満たす必要がある。

P<200×(T/D)+2.2 ・・・・・(4)

よって、(4)式に基づいて(1)式を得ることができる。
【0043】
例えば、電力8kWの放電ランプ点灯中、発光管内の圧力はおよそ約2.5MPaになる。しかしながら十分耐久性をもたせるため、破壊圧力Pは3.5MPa(=P)に設定される。よって、(4)式から、破壊耐性変数A(=T/D)は以下の式を満たす必要がある。

0.0065≦A ・・・・・(5)

すなわち、破壊耐性変数Aは0.0065(=A1)より大きな値にならなければならない。
【0044】
図5は、破壊圧力に対する内側金属リングの外径Dと封止管の厚さTとの関係を示したグラフである。破壊圧力Pを2.5、3.0、3.5、4.0(MPa)とした時のDとTの関係を表す。図5から、最も効果的なD,Tの範囲が求められる。
【0045】
封止管の肉厚が薄すぎると、封止管を均一に収縮させることが難しく、封止加工が煩雑となる。その肉厚の下限を、ここでは1.5mmとする。一方、封止管が厚すぎると、封止管が破断するときにクラックが発光管まで進行し、ランプ自身が破損する恐れがある。そのため、肉厚の上限をここでは11mmとする。
【0046】
肉厚Tが1.5≦T≦11の範囲にあるとき、上記式を満たすように環状部材の径Dを定めればよいが、大電力の放電ランプを実現するため、内側金属リングの最小径は20mmに定められる。一方、封止管の厚さTの上限が11mmであることから、(4)式を満たすDの上限は、41mmに定められる。
【0047】
このように本実施形態によれば、大電力によって点灯可能な放電ランプ10において、電極側ガラス管24に面する内側金属リング26が封止管20内に配設され、複数の金属箔36が内側金属リング26に溶着される。そして、封止管20の肉厚T(mm)と、内側金属リング26の径D(mm)とが、(1)式を満たすように定められる。
【0048】
封止管の肉厚Tと内側金属リングの径Dとの比ではなく、肉厚Tと径Dの二乗、すなわち面積との比を調整することによって、十分耐圧性のある封止構造を実現することができる。封止管の肉厚だけでなく、内側金属リングの面積に応じて封止構造の耐圧性が変化することを見出したことにより、大電力の放電ランプにおいても、適切な封止管の厚さ、内側金属リングを定めることができる。
【0049】
特に、内側金属リングのサイズが大型化する一方で封止管の肉厚が制限される場合、内側金属リングの径Dをわずかに抑えるだけで耐圧性が向上し、封止管の肉厚Tを必要以上に大きくしなくて済む。
【0050】
なお、(3)式については、放電ランプのサイズ(封止管サイズ)などによって比例係数等が変化する場合、そのランプ構造に合わせて比例係数等kを定めればよい。また、(1)、(4)式においても、発光管内の限度圧力を2.2MPa以外に設定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【0051】
【図1】本実施形態であるショートアーク型放電ランプの概略的断面図である。
【図2】陽極側封止管の概略的断面図である。
【図3】図2における内側金属リングと電極側ガラス管との接触面の断面図である。
【図4】破壊圧力とT/Dとの関係を示したグラフである。
【図5】破壊圧力に対する内側金属リングの外径Dと封止管の厚さTとの関係を示したグラフである。
【符号の説明】
【0052】
10 放電ランプ
11 放電空間
12 発光管
20 封止管
22 電極支持棒
24 電極側ガラス管(ガラス管)
24N 接触面
26 内側金属リング(環状部材)
28 リード棒
32 外側金属リング
34 ガラス部材
36 金属箔
T 封止管の肉厚
D 内側金属リングの径
破壊圧力

【特許請求の範囲】
【請求項1】
発光管内の電極を支持する電極支持棒を保持し、封止管と溶着したガラス管と、
前記ガラス管に面し、軸方向に沿って配設された金属箔と前記電極支持棒とを電気的に接続させる導電性環状部材とを備え、
前記発光管内の点灯時圧力をP(MPa)、前記環状部材の外径をD(mm)、前記環状部材と前記ガラス管との接触面付近における前記封止管の肉厚をT(mm)としたとき、以下の式が満たされるように、前記環状部材の外径Dと、前記封止管の肉厚Tが定められることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。

(P−2.2)/200<T/D

【請求項2】
前記環状部材の径D、および前記封止管の肉厚Tが、それぞれ以下の範囲にあることを特徴とする請求項1に記載のショートアーク型放電ランプ。

1.5≦T≦11、20≦D≦41

【請求項3】
発光管内の電極を支持する電極支持棒を保持し、封止管と溶着したガラス管と、
前記ガラス管に面し、軸方向に沿って配設された金属箔と前記電極支持棒とを電気的に接続させる導電性環状部材とを備え、
安定点灯時の電力が8kW以上であって、
前記環状部材の外径をD(mm)、前記環状部材と前記ガラス管との接触面付近における前記封止管の肉厚をT(mm)としたとき、以下の式が満たされるように、前記環状部材の外径Dと、前記封止管の肉厚Tが定められることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。

0.0065≦T/D

【請求項4】
発光管内の電極を支持する電極支持棒を保持し、封止管と溶着したガラス管と、
前記ガラス管に面し、軸方向に沿って配設された金属箔と前記電極支持棒とを電気的に接続させる導電性環状部材とを備え、
前記発光管内の点灯時圧力をP(MPa)、前記環状部材の外径をD(mm)、前記環状部材と前記ガラス管との接触面付近における前記封止管の肉厚をT(mm)としたとき、以下の式が満たされるように、前記環状部材の外径Dと、前記封止管の肉厚Tが定められることを特徴とするショートアーク型放電ランプ。

k×(P−Pc)<T/D

ただし、kは、前記封止管の破壊圧力とT/Dとの比例関係から求められる係数を表す。また、Pcは、発光管内の限度圧力を示す。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【図4】
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【図5】
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【公開番号】特開2009−238671(P2009−238671A)
【公開日】平成21年10月15日(2009.10.15)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−85579(P2008−85579)
【出願日】平成20年3月28日(2008.3.28)
【出願人】(000128496)株式会社オーク製作所 (175)
【Fターム(参考)】