【課題】高い稼働率を確保するとともに、簡易な照明光学系で多数の光束に分岐する露光描画装置を提供する。
【解決手段】露光描画装置１００は、紫外線を照射する光源と、光源からの光束を平行光に形成する照明光学系と、照明光学系からの平行光中に配置され、第１光束と第２光束とに分岐する第１窓と第２窓とを有するアパーチャー部材と、アパーチャー部材で分岐された平行光の第１光束及び第２光束を導く第１導光手段３７−１〜３７−８及び第２導光手段と、第１導光手段及び第２導光手段で導かれた第１光束及び第２光束を空間変調する第１及び第２空間光変調手段と、この第１及び第２空間光変調手段で空間変調された第１光束と第２光束とを被露光体に導く第１及び第２投影光学系と、を備える。 （もっと読む）

【課題】少数の光源で多数の空間光変調素子であるＤＭＤ素子を搭載して、高い稼働率を確保するとともに、その光源の光量を確認できる露光描画装置を提供する。
【解決手段】露光描画装置（１００）は、紫外線を含む光を照射する光源（１０）と、光源を第１光束と第２光束とに分岐するための第１開口窓（２１）及び第２開口窓（２１）、並びに光量検出用の検出窓（２９）が設けられているアパーチャー部材（２０）と、第１開口窓と第２開口窓とを通過した第１光束と第２光束とをそれぞれ反射する第１及び第２光学素子（２２）と、第１及び第２光学素子との近傍に配置され、検出窓を通過した光源からの光量を検出する第１光量センサ（ＳＳ１１）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ICタグにより放電ランプの個別情報を厳密に管理して、安全に点灯できるようにする。
【解決手段】高圧ガスが封入されたランプ１の圧着端子８に隣接する給電線７に、ICタグ40を内部に保持するタグ保持部44が細径部45で連結された結合部46を固定して、タグホルダ43を給電線７に取り付ける。点灯時におけるICタグ40への損傷を防止するとともに、ICタグ40への情報の読み書きができるように、ICタグ40にシールド部47を被せる。ランプ１が、輸送時に異常な衝撃を与えられた履歴や、異常な温度で保管された履歴や、梱包箱が開封された履歴などの輸送情報を、ICタグ40に記録する。ICタグ40に書き込まれた情報を光源装置で参照して、点灯の可否を判断する。保管輸送中や点灯中を含めて製造段階から使用後までのすべての過程にわたって放電ランプの個別情報が管理でき、常に安全に点灯できる。 （もっと読む）

【課題】ICタグにより放電ランプの個別情報を厳密に管理して、安全に点灯できるようにする。
【解決手段】高圧ガスが封入されたランプ１の発光管２の中心軸上で導電性の口金４の端に、絶縁性のキャップ41を介してICタグ40を取り付ける。点灯時におけるICタグ40への損傷やノイズを防止して、ICタグ40への情報の読み書きができるように、ICタグ40にシールド部47を被せる。ランプ１が、輸送時に異常な衝撃を与えられた履歴や、異常な温度で保管された履歴や、梱包箱が開封された履歴などの輸送情報を、ICタグ40に記録する。ICタグ40に書き込まれた輸送情報などを、光源装置で参照して点灯の可否を判断する。保管輸送中や点灯中を含めて製造段階から使用後までのすべての過程にわたって放電ランプの個別情報が管理でき、常に安全に点灯できる。 （もっと読む）

【課題】放電ランプの輸送状態をICタグにより管理して、安全に点灯できるようにする。
【解決手段】ランプ用梱包箱10に、ICタグ40を備える放電ランプ１を収容する。放電ランプ１が入った状態で外部からICタグ40と通信できるように、ICタグ40に向かって入り込む凹部13を設ける。輸送状態情報または開封履歴情報をICタグ40に記録する。輸送状態情報は、放電ランプ１の輸送中の温度履歴情報または衝撃履歴情報であり、開封履歴情報は、梱包箱10を開封した履歴情報または放電ランプ１の発光管カバー14を開封した履歴情報である。放電ランプ１が、輸送時に異常な衝撃を与えられた履歴や、異常な温度で保管された履歴や、梱包箱が開封された履歴などの輸送情報を、ICタグ40に記録する。ICタグ40に書き込まれた輸送情報などを、光源装置で参照して点灯の可否を判断する。保管輸送中にわたって放電ランプの個別情報が管理でき、常に安全に点灯できる。 （もっと読む）

【課題】ICタグにより放電ランプの個別情報を厳密に管理して、安全に点灯できるようにする。
【解決手段】高圧ガスが封入されたランプ１の圧着端子８に隣接する給電線７上に絶縁性の熱収縮性のチューブ42によりICタグ40を保持する。点灯時におけるICタグ40への損傷を防止するとともに、ICタグ40への情報の読み書きができるように、ICタグ40にシールド部47を被せる。ランプ１が、輸送時に異常な衝撃を与えられた履歴や、異常な温度で保管された履歴や、梱包箱が開封された履歴などの輸送情報を、ICタグ40に記録する。ICタグ40に書き込まれた輸送情報などを、光源装置で参照して点灯の可否を判断する。保管輸送中や点灯中を含めて製造段階から使用後までのすべての過程にわたって放電ランプの個別情報が管理でき、常に安全に点灯できる。 （もっと読む）

【課題】複数の輝線を含む分光分布の広い光束を、色収差に起因する結像位置のずれのない状態で照射することができる投影露光装置を提供する。
【解決手段】投影露光装置（１００）は、ｇ線，ｈ線，ｉ線及びｊ線の輝線を含む露光光を照射する光源（１０）と、その露光光から所定の組み合わせの輝線を含む光束を選択する波長選択部（１５）と、パターンが描かれたフォトマスクを位置決めするマスクステージ（４０）と、波長選択部で選択された露光光がフォトマスクに照射され、このフォトマスクを透過した露光光を基板に投影するオフナー型反射式投影光学系（５０）と、基板を位置決めする基板ステージ（６０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】折れにくく、長寿命な放電灯用電極を提供する。
【解決手段】陰極を製造する際には、陰極ヘッド部２と陰極ステム部４とを別々に熱処理した後、組み立てる。陽極を製造する際には、陽極ヘッド部３と陽極ステム部５とを別々に熱処理した後、組み立てる。陰極ステム部４および陽極ステム部５は1600℃以下で熱処理することで折れにくくし、陰極ヘッド部２および陽極ヘッド部３は1600℃以上で熱処理することで長寿命化を実現する。 （もっと読む）

【課題】光源の光量、空間光変調素子の稼動状況を確認し調整できる露光描画装置を提供する。
【解決手段】露光描画装置（１００）は、光源（１０）を第１光束と第２光束とに分離するための第１開口窓（２１）及び第２開口窓（２１）が設けられているアパーチャー部材（２０）と、第１光束及び第２光束を空間変調する第１及び第２空間光変調手段（４１）と、第１空間光変調手段及び第２空間光変調手段により変調された第１光束及び第２光束を被露光体に投影する投影光学系（６０）と、アパーチャー部材の近傍で光源の光量を検出する第１光量センサ（ＳＳ１）と、投影光学系を透過した第１光束及び第２光束の光量を検出する第２光量センサ（ＳＳ２）と、第１光量センサの第１出力情報と第２光量センサの第２出力情報とに基づいてアパーチャー部材から被露光体に至る状況を判断する判断手段（８８）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】数の光源で多数の空間光変調素子を搭載して、高い稼働率を確保するとともに、温度管理ができる露光描画装置を提供する。
【解決手段】露光描画装置（１００）は、紫外線を照射する光源（１０）と、光源からの光束を平行光に形成する第１照明光学系（３０）と、第１照明光学系からの光束を、矩形の第１光束と矩形の第２光束とに分岐する第１矩形窓（２１）と第２矩形窓（２１）とを有するアパーチャー部材（２０）と、アパーチャー部材で分岐された第１光束及び第２光束を空間変調する第１及び第２空間光変調手段（４１）と、この第１及び第２空間光変調手段（４１）で空間変調された第１光束と第２光束とを被露光体に導く投影光学系（６０）と、を備える。 （もっと読む）