【課題】基板表面の保護テープを剥離する際の剥離テープの使用量削減と共に剥離ミス時に自動復帰できる保護テープ剥離装置を提供する。
【解決手段】基板２表面の保護テープ４を剥離テープ５で剥離する保護テープ剥離装置において、基板２を保持する剥離テーブル１０と、ロール状剥離テープ５の供給手段１１と、テープ巻取手段１２と、貼付ローラー２７と、保護テープ４の剥離前端側に剥離テープ５を貼付けた後、剥離テープ５の貼付け後方側を切断するカッター３２と、剥離テープ５を保持するカッター台２９と、剥離テープ５を後方で保持する剥離テープ保持機構２５とを備え、剥離テープ５を保護テープ４の剥離前端側に貼付けて保護テープ４を剥離すると共に剥離テープ５の貼付け後方側をカッター３２で切断し、切断後方側の剥離テープ５前端部を保護テープ４の剥離後端側に貼付けて保護テープ４を剥離テープ５で連結しながら剥離する保護テープ剥離装置。 （もっと読む）

【課題】基板への電子部品を圧着する複数の圧着ヘッドのピッチを自在に変更できるような圧着装置を提供する。
【解決手段】複数本の圧着ツール２４が横方向に移動自在に並設され圧着ツール２４と一体に上下動する支持板１１と、支持板１１の一方面に圧着ツール２４と対向するように設けたベルト２２と、ベルト２２に沿って敷設されたラック１９と、圧着ツール２４に設けられた上下のチャック２６、２７とから構成するとともに、閉鎖時にチャック２６、２７とでベルト２２を把持し、開放時にはチャック２６、２７の一方をラック１９と係合せしめて圧着ツール２４を所定位置に固定するように構成し、圧着ツール２４を移動させる際、ベルト２２を把持した状態でベルト２２を移動させて圧着ツール２４を所定の圧着位置に横移動させるとともに、チャックを開放させてラック１９と係合せしめて圧着ツール２４を固定させる基板９０への電子部品９２の圧着装置。 （もっと読む）

【課題】ガス拡散層のような通気性部材を的確に吸着搬送することが可能な燃料電池セルの製造装置を提供する。
【解決手段】燃料電池セルの各積層部材を搬送し、積層する燃料電池セルの製造装置であって、積層部材を吸着保持する吸着搬送手段４と、積層部材を吸着搬送手段４で吸着保持した状態で、積層部材を位置決めする位置決め手段と、電解質膜の両面に設けられた第１の保護シートと第２の保護シートとを剥離する剥離手段とから構成され、吸着搬送手段４は、前記吸着部が内側部分の第１吸着部と、外側部分の第２吸着部に分離形成され、第１吸着部は回転数を制御することで負圧を調整可能なブロワが接続され、該第２吸着部は真空吸着手段６４が接続されて構成され、ガス拡散層を第１吸着部にて吸着保持した状態でガス拡散層を介して電解質膜を第１吸着部及び第２吸着部にて重ねて吸着保持する燃料電池セルの製造装置。 （もっと読む）

【課題】電動三輪車の旋回時の車両安定性と操舵安定性の向上及び直進安定性を向上することを目的とする。
【解決手段】前輪２を操舵し、後輪３をバッテリー５と接続されたモーター２３により駆動する電動三輪車において、操舵輪である前輪２を駆動輪である後輪３に対して直径を大径とし、幅を広く設定すると共に、操舵軸６と前輪２の回転軸に対する鉛直線とのなす角（キャスター角）を車両後方に向けて１５°から２５°傾斜させる。 （もっと読む）

【課題】裏面外周部をリブ状に残し内周部が研削されたリブ状外周部と内周研削面とを有するウエハを保持するテーブルを提供する。
【解決手段】リブ状外周部７０と内周研削面７３とを有するウエハＷの表面側を上にして載置保持するウエハＷの保持テーブル１を、リブ状外周部７０を保持する吸着溝４と、内周研削面７３と対向するように形成された円形状の凹状部６と、凹状部６と連通するように複数の通気孔８が穿設された穿孔部７と、通気孔８と連通するように気体導入口１０及び排気口１１が設けられた中空室９と、凹状部６内で浮上可能に設けられた支持板１２とで形成し、ウエハＷを載置保持する際、吸着溝４でウエハＷのリブ状外周部７０を吸着保持するとともに、中空室９内への気体の導入により通気孔８から支持板１２面に向けて空気を噴出させるとともに一部を排出し、支持板１２を浮上させてウエハＷの内周研削面７３に接触するようにする。 （もっと読む）

【課題】基板に貼り付けられる接着テープにしわや気泡が入ったりすることがなく、基板の外周縁より内側に接着テープを貼り付けると共に、外周縁から接着テープが剥がれ難い基板への接着テープ貼り付け装置を提供する。
【解決手段】載置テーブル８上に基板Ｗを吸着保持し、接着テープ切断部ｆで接着テープＴを基板の外形に見合う大きさと形状に切断し、切断された接着テープＴを傾斜状態の吸着テーブル４５で吸着保持して接着テープ貼り付け部ｄに移送し、減圧雰囲気下で吸着テーブル４５に保持された接着テープを傾斜下端側から基板Ｗに押圧して吸着テーブル４５が水平状態となるように揺動させて貼り付け、接着テープＴの切断時に吸着テーブル４５からはみ出た部分の接着テープＴを吸着テーブル４５の外周に設けた外周リング６３で押圧して貼り付ける基板Ｗへの接着テープＴの貼り付け装置。 （もっと読む）

【課題】ウエハの凹凸形状面にダイシングテープを凹凸形状に沿って密着性良く貼り付けるウエハのマウント装置を提供する。
【解決手段】ウエハ１のマウント装置において、上下一対の上部枠体６と下部枠体７の結合によりその内部を密閉状態になるように構成すると共に、上部枠体６の下面に弾性変形可能な通気性部材を装着して上部枠体６の通気孔９を通して通気性部材１３全域に圧縮空気を導入するようにし、下部枠体７の上面にウエハ１を載置保持するテーブル面２０を形成し、下部枠体７の外周外側全域にダイシングテープ４が貼り付けられたダイシングフレーム３を保持するフレーム台２２を設け、通気性部材１３でダイシングテープ４を押下げ後、下部枠体７の押圧で通気性部材１３を弾性変形させながらウエハ１の凹凸形状に沿ってダイシングテープ４を押圧すると共に上下枠体の内部を密閉状態に保持せしめた後、通気性部材１３の全域から圧縮空気を噴射させる。 （もっと読む）

【課題】基板に広幅の接着テープを貼り付ける際に接着テープ幅方向に働く張力を制御し、所定の張力で接着テープを基板に貼り付ける接着テープ貼付装置を提供する。
【解決手段】接着テープ貼付装置１において、テープチャック機構１６を、上側チャック１７と下側チャック２５とからなり接着テープ６の幅方向に沿って互いに接近離反動可能な左右一対のテープ把持部材６９と、テープ把持部材６９を接着テープ６の幅方向内側に付勢する弾性部材１８と、左右のテープ把持部材６９を互いに接近離反可能に駆動するとともに接着テープ６を把持した際に幅方向に働く張力をトルク値として検出するモータ２０とから構成し、接着テープ６を幅方向内側端に付勢したテープ把持部材１６で把持するとともにモータ２０で所定のトルク値となるようにテープ把持部材６９を離反動させ接着テープ６の幅方向への張力が所定張力となるように制御して基板３に接着テープ６を貼り付ける。 （もっと読む）

【課題】基板に加熱した貼付ローラで接着テープを貼り付ける際に貼付ローラの外周面の加熱温度を均一化させる。
【解決手段】貼付テーブル１８に吸着保持された基板１５上に貼付ローラ８を降下させて接着テープ３を基板１５上に押圧せしめた後、貼付ローラ８を貼付始端部３２から貼付終端部３３へと押圧転動させることによって接着テープ３を基板１５上に貼り付けるようにした基板１５への接着テープ貼付装置において、貼付ローラ８を回転自在となし、その内部には加熱ヒータ１０を内蔵して貼付ローラ８の外周部全面を加熱可能に構成するとともに、貼付テーブル１８の接着テープ貼付終端部３３付近には、その上昇位置で貼付ローラ８を強制的に回転駆動せしめる回転駆動機構９を設け、回転駆動機構９で貼付ローラ８を強制回転させることにより、貼付ローラ８の外周面全域の加熱温度を均一に保持させるようにする。 （もっと読む）

【課題】ＡＣＦを所定長さに個片化して貼付ローラで連続しながら貼り付けるとともにＡＣＦの供給経路を安定化させて精度の良い貼り付けと制御を容易にする。
【解決手段】ＡＣＦ９を供給するカートリッジ１１と、ＡＣＦ９の異方性導電膜層７４のみを所定間隔をおいてハーフカットし、異方性導電膜層７４の不要部分を取り除くハーフカットユニット２７と、基板１０にＡＣＦ９を圧着して貼り付ける貼付ローラ２３と、圧着後のＡＣＦ９から剥離されたセパレータ７５を連続的に回収するセパレータ回収ユニット７８とからなる昇降自在な圧着ユニット４と、基板１０を加熱するとともに貼付ローラ２３と相対的に水平移動可能な加熱テーブル４２とから構成し、ＡＣＦ９を貼り付けた後、貼付ローラ２３を圧着ユニット４と一体に上昇させてセパレータ７５と貼付ローラ２３が接した状態で貼付ローラ２３を基板１０から離脱するようにした異方性導電膜の貼付装置。 （もっと読む）