【課題】基板の表面に貼り付けられた保護フィルムの剥離きっかけを精度良く作成して剥離ミスを無くし、また、剥がす時間を短縮させ、さらに剥離テープの使用量を最小限とすると共に剥した後の保護フィルム等の再生を容易にすること。
【解決手段】液晶パネルＡの隣り合う２つの角部にある剥離ユニット４は、基板の対角線方向へ供給される剥離テープ３０を保護フィルムに押圧しながら移動する貼付ローラと、保護フィルムに貼り付いた剥離テープ３０を基板から引き剥がして保護フィルムを基板の角部から引き起こす機構と、基板の角部から引き起こされた保護フィルムを挟持するフィルムチャック機構と、フィルムチャック機構で挟持された部分より外側の保護フィルムを切断する切断機構とを有し、フィルムチャック機構が保護フィルムを挟持した状態で２つの剥離ユニット４が他方の角部側へ液晶パネルＡの側辺に沿う方向に移動することで液晶パネルＡの表面から保護フィルムを引き剥がす保護フィルムの剥離装置。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーの揺動動作を加工物の材質等に応じて的確に行え、加工条件を的確に設定及び制御できるワイヤソーを提供する。
【解決手段】回動自在の揺動円盤６に設けられた複数本のワークローラ４にワイヤ５を多数回巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤ５を高速で往復動又は一方走行させ、前記ワイヤ列にワーク３を押し当てて前記ワーク３を複数に切り出すと共に、前記ワーク３切断時にワイヤ列を揺動させるようにしたワイヤソーにおいて、前記揺動円盤６の回転軸心Ａに対して複数のワークローラ４間で構成する中心軸Ｂが揺動円盤６内の前記回転軸心Ａの上下方向にずれるように複数のワークローラ４を配置し、前記揺動円盤６を回動反転させることにより、前記ワーク３の切断面と前記ワイヤ列のワイヤ５との接触長さを変更可能にしたことを特徴とするワイヤソー。 （もっと読む）

【課題】加工物の切断時の装置制御が的確に行え、加工終了間際の装置振動による加工物の破損を防止でき、ワイヤコストやダミー部材のコスト低減が可能になるワイヤソーを提供する。
【解決手段】複数本のワークローラ２０間にワイヤを多数回巻回したワイヤ列のワイヤ３を高速で往復動又は一方走行させ、切断テーブル３１にダミー部材３２を介して取付けた加工物Ａを前記ワイヤ列に押し当て、この加工物Ａを多数枚に切り出すワイヤソーにおいて、前記加工物Ａのダミー部材３２に、加工物Ａの長さ方向に沿って、加工物Ａの中央部軸線上に該当する位置と、ダミー部材３２の幅方向の端部近傍の位置とに、ワイヤ列のワイヤ３を検知する検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃを設け、各検知センサ３９ａ、３９ｂ、３９ｃでワイヤ列のワイヤ３の接触を独立して検知する。 （もっと読む）

【課題】小型基板であっても搬送時に基板が落下するようなことがなく、搬送装置のコストも増大せず、基板の洗浄性や乾燥性も悪くならず、装置メンテナンス性も向上するとともに、洗浄時に洗浄水圧、エア圧を高めても基板の蛇行や落下等がない基板の搬送方法を提供すること。
【解決手段】基板Ａの搬送経路の上下に軸芯が搬送経路と直交する支持ローラ２０を複数本配置し、各支持ローラ２０の隣り合う支持ローラ２０との間でエンドレス状の搬送丸ベルト２１を搬送経路に平行となるよう複数本架け渡し、搬送経路の上下の搬送丸ベルト２１，２１にて基板Ａを挟持した状態で支持ローラ２０を回転させることにより搬送経路に沿って基板Ａを搬送する。 （もっと読む）

【課題】切断時のウエハ同士の貼り付きを防止し、精度よく切断することができると共に、切断時のウエハの割れの発生を防止し、効率よくウエハを枚葉分離してウエハの洗浄性を高めることができるワイヤソーによる切断方法を提供する。
【解決手段】ワークローラ１０間に巻回したワイヤ列のワイヤＡを高速で往復動又は一方走行させ、このワイヤ列にワークＢを押し当てて多数枚のウエハ状に切り出すワイヤソーによる切断方法において、前記ワークＢを切断するワイヤ列の直下位置に、多数の支持ワイヤ３４を前記ワイヤ列のワイヤと同じピッチで設けたカセット式の受け部材２７を配置し、ワイヤＡによってワークＢから切り出されてきたウエハｂを受け部材２７の各支持ワイヤ３４間に枚葉分離状態で収納する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ列の揺動時に生じるワイヤ張力の変動を吸収することができ、ワイヤの高速化が可能になり、細線ワイヤであってもワイヤ列の揺動を利用した効率及び精度のよい切断が行えるワイヤソーを提供する。
【解決手段】揺動円盤１０に設けられた複数本のワークローラ１１にワイヤＡを多数回巻回してワイヤ列を形成し、高速で往復動又は一方走行させたワイヤ列にワークＢを押し当てて複数に切り出すと共に、このワーク切断時にワイヤ列を揺動させるようにしたワイヤソーにおいて、前記ワークローラ１１に入る供給側のワイヤＡ₁をワークローラ１１に誘導する供給側プーリ３４と、前記ワークローラ１１から出る回収側のワイヤＡ₂を外部に誘導する回収側プーリ３５を、前記揺動円盤１０の回転軸心上に同軸心状に配置し、ワイヤ列を揺動させてもワイヤＡに張力の変動が生じないようにする。 （もっと読む）

【課題】 液晶パネルへＴＡＢ部品を圧着する際に、同時にＰＣＢへもＴＡＢ部品を圧着して工程短縮を図りつつ、種々のＴＡＢ部品の寸法にツール交換を行わずに対応可能で、また、各圧着ツールに液晶パネル側及びＰＣＢ側への圧着時の温度及び圧力等を独立して設定可能とし、それぞれで最適な圧着条件で圧着でき、精度の良い圧着が行える圧着方法を提供すること。
【解決手段】 液晶パネル側圧着ツール２３、及びＰＣＢ側圧着ツール４４の２本の圧着ツールを用い、ＰＣＢ側圧着ツール４４をＰＣＢ側バックアップ６２等と共に液晶パネル側圧着ツール２３に対して移動させてＴＡＢ部品３の大きさに合わせた距離に調整した後、各圧着ツール２３、４４の圧着条件を独立して調整しながら、液晶パネル１とＴＡＢ部品３、及びＴＡＢ部品３と制御基板（ＰＣＢ４）の圧着を同時に行う液晶パネルへのＴＡＢ部品の圧着方法。 （もっと読む）

【課題】 光学シートの供給時に多重取りの問題を無くし、作業の効率化、高速化を図ると共に、取り出し時に光学シートに傷がつくことが無いような光学シートの供給方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 積層状態の光学シート（偏光板Ａ）を収納する供給スロット（偏光板供給スロット６）を取り出し側を下方にして傾斜させ、その下方端部に自由回転するガイドローラ１５と、ガイドローラ１５より下側に設けた脱落防止部材１４とを偏光板Ａ表面に接触させておき、偏光板供給スロット６の外側から吸着部材にてガイドローラ１５より上側の開口部を通じて偏光板Ａを吸着し、吸着部材をガイドローラ１５の軸と垂直方向かつ偏光板Ａ表面に対して平行な方向に移動させることにより、偏光板Ａを偏光板供給スロット６から取り出す光学シートの供給方法。 （もっと読む）

【課題】 インデックステーブルの複雑化を防止しつつ、θ方向へのズレ量の補正機能を設けること、及び、圧着時の位置決め時間を短縮すること、及び、熱等による位置決め誤差を減らし、精度良い位置決めを行えること。
【解決手段】 インデックステーブル１７にＴＡＢ部品２を吸着保持するボンディングヘッド１８を等間隔に複数設け、ＴＡＢ部品供給部ａ、ＴＡＢ部品位置認識部ｂ、仮圧着部ｃの各ポジションを配置し、ＴＡＢ部品位置認識部ｂにてＴＡＢ部品２の所定位置からのθ方向へのズレ量をＴＡＢ部品位置認識カメラ２２により認識し、仮圧着部ｃにて仮圧着前にボンディングヘッド１８を前記θ方向へのズレ量に応じてインデックステーブル１７に対して回転させて補正を行うようにした液晶パネルへのＴＡＢ部品圧着方法。 （もっと読む）

【課題】 ウエハへのテープ貼付方法に関し、テープのランニングコストを低減し、テープ貼り付け時にローテンション化が図れるとともに、真空下で気泡等なく貼り付ける方法を提供する。
【解決手段】 ウエハ１が載置された吸着テーブル３９の直上に引き出した保護テープ３を上昇位置にあるテープ支持板４２，４３に貼り付けて固定し、貼付作業時に、各テープ支持板４２，４３を貼付ローラ５１の進行に伴い独立して下降動させると共に、少なくとも１つのテープ支持板４２を張力緩和機構６８により張力緩和方向に移動可能とする。 （もっと読む）