【課題】 エッチング液等の処理液が半導体基板の裏面側に廻り込むのを防止して製品の品質の向上を図ることができる半導体基板処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板１１を保持するテーブル部１２を有する半導体基板固定手段１３と、半導体基板１１を回転及び昇降する回転駆動昇降手段１４と、半導体基板１１の表面１５にエッチング液１７を供給するエッチング液供給手段１８を備え、テーブル部１２に搭載された半導体基板１１の裏面１９側下方に設けられ、半導体基板１１の裏面１９外周部の半径方向外側に向けて斜め上方向に気体２０を均一に噴出するリング状スリット２１と、噴出された気体２０をテーブル部１２に搭載された半導体基板１１の裏面１９側に沿って半導体基板１１の厚み方向中心位置Ｔの外側端部Ｓまで導くガイド部２２とを有するリングブローノズル２３を、半導体基板固定手段１３と完全に独立して設けている。 （もっと読む）

【課題】 統一的な判断が可能な高精度の回転機械の診断方法を提供する。
【解決手段】 回転機械１１の正常時に回転機械１１の振動信号を所定時間間隔で測定して有次元の第１の振動データを得た後、回転機械１１の点検時に回転機械１１の振動信号を所定時間間隔で測定して有次元の第２の振動データを得る第１工程と、第１の振動データを複数の無次元のパラメータに変換した時系列の第１のマトリックスと、第２の振動データを複数の無次元のパラメータに変換した第２のマトリックスとを作成する第２工程と、第１及び第２のマトリックスを１つの多変量カルバック・ライブラー情報量として算出する第３工程と、多変量カルバック・ライブラー情報量によって回転機械１１の状態を判断する第４工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 統一的な判定基準の設定が可能な高精度の流体回転機械の診断方法を提供する。
【解決手段】 予め回転部に機械要素を有する流体回転機械１１の正常時に流体回転機械１１の状態を示す複数の状態信号からなる第１の状態信号群を所定時間間隔でそれぞれ測定して有次元の第１の状態データ群を得た後、流体回転機械１１の点検時に流体回転機械１１の状態を示す複数の状態信号からなる第２の状態信号群を所定時間間隔でそれぞれ測定して有次元の第２の状態データ群を得て、第１及び第２の状態データ群をそれぞれ無次元の第１及び第２のパラメータ群に変換した時系列の第１及び第２のマトリックスを作成し、第１及び第２のマトリックスを１つの多変量カルバック・ライブラー情報量として算出して、流体回転機械１１の状態を判断する。 （もっと読む）

【課題】 鉄筋などの磁性を有する線状体を搬送する際に、マグネットローラーコンベア等の搬送装置から脱線させることなく搬送できるようにすることを課題とする。
【解決手段】 磁気吸引力を有するローラーと、該ローラーの外周に沿って所定間隔を隔てて平行に設けられた一対の非磁性ガイド体を有するマグネットローラーであり、このマグネットローラーが搬送路に沿って複数設けられ、搬送路の上流から下流に向かって、非磁性ガイド体の間隔が狭くなされているマグネットローラー搬送装置である。 （もっと読む）