【課題】後工程におけるラップ仕上における取り代を少なくして、ラップ仕上に要する時間およびスラリー使用量を抑える。さらに、研削砥石の寿命を長くする。
【解決手段】粗研削された基板（Ｗ）の表面を仕上研削する仕上研削装置（２）は、基板を研削する研削砥石（１２）を備えていて回転可能な研削部（１０）と、研削部の研削砥石に対面して配置されていて、基板を保持しつつ回転可能なチャック（２０）と、研削部をその回転軸に沿ってチャックに向かって送込む研削送り部（１５）と、研削送り部が前記研削部を送込む送り量に応じて、前記研削砥石に対する前記基板の研削比を変更する研削比変更部（３０、３５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】透明・半透明なウェーハであってもカーフチェックを正確に実施することができるダイシング装置のカーフチェック方法及びカーフチェックシステムを提供する。
【解決手段】ブレードによって、所定本数の溝を所定の間隔をもってウェーハＷに加工した後、所定本数の溝のうち最後に加工された溝ＳＰ１−３のストリートから、２本以上隔てた位置にあるストリートＳＰ１−４を、ブレードによって切削することによりカーフチェック用の溝５２ＣをウェーハＷに加工し、カーフチェック用の溝５２Ｃを用いてブレードのカーフチェックを実施する。 （もっと読む）

【課題】
スピンドルの軸と顕微鏡の距離が熱により変化することを防止し、基準線と実際の切断位置との誤差を小さくすることができる。
【解決手段】
Ｙ軸ベース４６の取付面４６ａには、ブレード用Ｙ軸テーブル４２Ａ、４２Ｂ及びブレード用Ｚ軸テーブル４０Ａ、４０Ｂを介して、先端にブレード２８Ａ、２８Ｂが設けられたスピンドル２８Ａ、２８ＢがＹ方向及びＺ方向にスライド自在に設けられる。また、Ｙ軸ベース４６の取付面４６ａには、カメラ用Ｙ軸テーブル５６及びカメラ用Ｚ軸テーブル５２を介してカメラユニット５０がＹ方向及びＺ方向にスライド自在に設けられる。そのため、熱膨張等により基準線と切断位置とがズレることを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、かつ回転台の回転軸心を基準とした任意の径位置でのコラムの移動軸心の平行度あるいはアームの移動軸心の直角度を検定する。
【解決手段】コラム３１の傾斜量ａ0、真直マスタの第１の傾斜量ａ1及び真直マスタ６１の第２の傾斜量ａ2を測定した後、検査者は、コラムの真直度軸心の平行度誤差ａ3により算出する。 （もっと読む）

【課題】ケーブルの長さを短縮させケーブルの損傷を防止し、ダイシング装置の据え付け安定性及び加工精度を向上させ、ワークテーブル等の移動を円滑にし、メンテナンスを容易にする。
【解決手段】ワークを切断するブレードと、ワークを載置したワークテーブルをブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、スピンドルを移動可能に支持するスピンドル移動機構とを備え、スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構とは互いに直交し、スピンドル及びワークテーブルに夫々ケーブルの一端部が接続されている。スピンドル移動機構とワークテーブル送り機構は、装置匡体の対角線上に配置され、該装置匡体の隅部又は辺縁部には支柱が設けられ、該支柱にはケーブルの中間部が固定されている。又、ケーブルにおける固定部よりも一端部側部分は下方に湾曲するように懸架され、スピンドル又はワークテーブルの対角線方向への移動に追従して、前記湾曲部分が固定部を支点として旋回できるように構成した。 （もっと読む）

【課題】所望の精度を保持し、かつスラスト負荷容量を高める。
【解決手段】エアスピンドル１では、ハウジング２にスラスト方向エア噴出手段及びラジアル方向エア噴出手段としてのステータ３が固定される。このステータ３の上面、下面、内径面には上エア噴出し面３ａ、下エア噴出し面３ｂ、内径エア噴出し面３ｃが形成されている。上エア噴出し面３ａの外周周りには、外周側負荷容量生成手段としての複数、例えば６個のパッド型エアベアリング１１〜１６が均等に配置されて構成される。このパッド型エアベアリング１１〜１６は、スラスト板上６と同一平面を受けるように構成される。 （もっと読む）

【課題】
精度が良く位置関係を再現できる位置決め機構及び位置決め方法を提供すること。
【解決手段】
測定用穴２ａとガイド穴２ｂとを有する測定治具プレート２と、テーパ部３ｂ１が形成されたガイド穴２ｂに挿入される複数の第１のピン３と、第１のピン３へねじ込まれて第１のピン３の調整部３ｂを径方向に押し広げる第２のピンとを備えた位置決め機構１により、測定治具プレート２の取り付け取り外しを容易に行うことが可能であって、精度良く位置関係を再現する。 （もっと読む）

【課題】
非接触による限られた電力供給であっても安定した駆動を実現する駆動装置及び駆動方法を提供すること。
【解決手段】
給電部２と、制御部３と、負荷装置４とを備えた非接触による電力供給を行う駆動装置１において、受電用の第２のコイル７側にコンデンサ９が備えられ、コンデンサ９が負荷装置４の駆動電力に応じて充放電されることで安定した駆動が可能となる。 （もっと読む）

【課題】研磨テープを使用したウエハエッジ加工において、高精度なエッジ形状加工を行う。
【解決手段】研磨ヘッド部５２は、４つの搬送ローラ７１，７２，７３，７４を頂点とする略四角形の内側に、ガイドローラ７５と搬送ローラ７２、及びガイドローラ７６と搬送ローラ７３によりそれぞれ移動可能に把持されている研磨テープ５１をウエハ２のエッジ部に向けて突出させ、研磨テープ５１をウエハ２のエッジ部に略点接触にて当接させる可動ローラ７８を先端に有するシリンダ７７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】バランスヘッド部の重量のバランスを取りつつ、バランスヘッド部の回転方向の角度基準を識別可能とするオートバランサを提供すること。
【解決手段】本発明のオートバランサは、回転体の不釣合いを修正する略円盤状のバランスヘッド部と、前記バランスヘッド部の円盤面に設けられ検出手段により検出可能な複数の検出領域と、前記複数の検出領域の間に設けられた複数の無検出領域と、を有し、前記複数の無検出領域のうちの少なくとも１つは、前記バランスヘッド部の周方向の幅が他の前記無検出領域と異なること、を特徴とする。 （もっと読む）