【課題】位置決め作業等に支障を来たすのを抑制し、位置決め精度の低下を招くことが少なく、位置決め具の滑り性を向上させることのできる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体１の底板２に、一対の位置決めピン５１に嵌挿される位置決め具８を複数取り付け、各位置決め具８を、一対の位置決めピン５１にそれぞれ嵌挿されて相互に対向する一対の位置決めブロック９とから構成する。各位置決めブロック９を対向面１１が開口した平面略正方形に形成するとともに、断面略Ｖ字形に凹み形成してその傾斜した内面１２を位置決めピンの上部に接触可能とし、一対の位置決めブロック９の開口した対向面１１同士を突き合わせて連通させる。位置決め具８を後付けするので、位置決め具８の肉厚を薄肉化でき、しかも、成形時の冷却不足で位置決め具８の表面に凹凸が生じたり、変形して位置決め作業等に支障を来たすのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】ＳＰＭ、ｎＳＰＭ等の大気中の浮遊物質を除去することが可能であり、且つ気体の透過性が十分である膜を形成することができる選択透過材料、及びそれを用いる空調システムを提供すること。
【解決手段】ポリエステル及び含フッ素ポリマーから選ばれるベースポリマーに固形添加剤が分散されてなる選択透過材料であって、前記選択透過材料から形成される膜に酸素及び窒素を透過させた場合に、２３±２℃、膜間の圧力差１．０５〜１．２０ａｔｍにおける酸素及び窒素の透過係数(cm³・cm・sec^-1・cm^-2・cmHg^-1)の関係が下記式（１）で表される、選択透過材料。なお、式中、Ｐ（Ｏ_２）は酸素の透過係数、Ｐ（Ｎ_２）は窒素の透過係数を示す。
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【課題】基板との接触に伴う蓋体の変形を低減して基板の汚染を抑制し、蓋体の開閉や作業に支障を来たすことの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納する容器本体の開口したリムフランジを蓋体５０により開閉する基板収納容器であって、蓋体５０を、容器本体のリムフランジに着脱自在に嵌合される筐体５１と、容器本体に収納された半導体ウェーハの周縁部前方を保持するフロントリテーナ５９と、回転プレートの回転操作により筐体５１の周壁から出没可能な係止爪７７を突出させて容器本体のリムフランジ内周に係止させる施錠機構７０とから構成する。筐体５１の半導体ウェーハに対向する裏面にフロントリテーナ５９を、筐体５１の表面に施錠機構７０をそれぞれ取り付け、フロントリテーナ５９の前方に施錠機構７０を位置させる。 （もっと読む）

【課題】表示を切替えることができると共に、表示が大きく視認しやすい表示用部材およびそれを用いる押釦スイッチ用部材を提供する。
【解決手段】少なくとも第１の表示領域１０と第２の表示領域２０とが一部で重なっている重複表示領域３０を表示面に有する表示用部材１，１００であって、重複表示領域３０を除く上記第１の表示領域１０は、第１のフィルタ層５１を有し、重複表示領域３０を除く第２の表示領域２０は、第２のフィルタ層５２を有し、第１のフィルタ層５１は、第２のフィルタ層５２より第１の所定波長帯域の光を透過しやすく第２の所定波長帯域の光を透過しにくく、第２のフィルタ層５２は、第１のフィルタ層５１より第２の所定波長帯域の光を透過しやすく第１の所定波長帯域の光を透過しにくく、重複表示領域３０は、第１の所定波長帯域の光および第２の所定波長帯域の光の両方を透過するものである。 （もっと読む）

【課題】フレームに傷がつきにくく、傷痕残存等のおそれが少なく、カッタを頻繁に交換する必要もなく、しかも、支持テープの不要部を曲線的に容易に除去できる半導体ウェーハの支持テープ用カッタを提供する。
【解決手段】半導体ウェーハと粘着する支持テープを中空のフレームに粘着し、フレームに粘着した支持テープの不要部をカッタ２０を移動させながら除去するものであって、カッタ２０を、フレームの周方向に移動可能な移動ホルダ２３と、移動ホルダ２３に螺着される支持片２４と、支持片２４に軸支されて支持テープに接触するガイドローラ２５と、支持片２４に軸支されてガイドローラ２５の支持テープに接触する下面よりも下方に突出する刃先部２７により支持テープをカットする刃部２６とから構成する。そして、移動ホルダ２３を支持テープに対して揺動可能とし、移動ホルダ２３の移動方向後ろ側に刃先部２７を位置させる。 （もっと読む）

【課題】治具全体を交換したり、廃棄する必要がなく、しかも、溶剤の使用に伴うトレーの溶解を抑制することのできるトレー治具を提供する。
【解決手段】トレー１の収納部３に粘着される両面粘着テープ１０と、トレー１の収納部３に両面粘着テープ１０を介して着脱自在に収納され、センサ２０を着脱自在に粘着保持する保持具３０とを備え、トレー１の収納部３と両面粘着テープ１０とに、相互に連通する排気口４・１３をそれぞれ穿孔する。保持具３０を、保持板３１と、保持板表面の凹み穴３２に配設される複数の支持突起３５と、保持板３１の凹み穴３２に覆着されて複数の支持突起３５に支持される可撓性の粘着保持層３６と、保持板３１の凹み穴３２に穿孔されてトレー１と両面粘着テープ１０の排気口４・１３に連通し、凹み穴３２の空気を排気して粘着保持層３６を凹凸に変形させる排気孔３３とから形成する。 （もっと読む）

【課題】薄型で、キートップがベースシートから浮き上がらず、かつ、より高い接着力にてキートップとベースシートとが固着された押釦スイッチ用部材を提供すること。
【解決手段】ベースシート３と、そのベースシート３上に１以上のキートップ２を固着した押釦スイッチ用部材１であって、キートップ２とベースシート３との接触面において、キートップ２とベースシート３とが相溶した融着部分を形成することにより、キートップ２とベースシート３とが固着されている押釦スイッチ用部材１としている。 （もっと読む）

【課題】、従来よりも低い誘電率を有する低誘電率材料を提供すること。
【解決手段】オルガノシロキサン骨格を有するポリマーに固形添加剤が分散されてなる低誘電率材料であって、前記低誘電率材料から形成される膜に酸素及び窒素を透過させた場合に、２３±２℃、膜間の圧力差１．０５〜１．２０ａｔｍにおける酸素及び窒素の透過係数(cm³・cm・sec^-1・cm^-2・cmHg^-1)の関係が下記式（１）で表される、低誘電率材料。なお、式中、Ｐ（Ｏ_２）は酸素の透過係数、Ｐ（Ｎ_２）は窒素の透過係数を示す。
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【課題】容器本体内を適切に密閉でき、汚染物を含んだ気体が容器本体内に流入するのを防ぎ、蓋体の開閉に支障を来たすおそれの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体１と、容器本体１の開口した正面のリムフランジ２６を開閉する蓋体５０と、容器本体１の開口したリムフランジ２６と蓋体５０との間に介在される変形可能なガスケットとを備える。ガスケットを、容器本体１のリムフランジ２６内周に嵌合されて蓋体５０の周壁に密接するガスケット２８と、蓋体５０に嵌合されて容器本体１のリムフランジ２６内周に密接するガスケット６４とから形成する。リップタイプのガスケット２８・６４を装着して二重シール構造とするので、容器本体１内を適切かつ確実に密閉することができ、しかも、蓋体５０の嵌合の際、抵抗が増大して開閉に支障を来たすおそれがない。 （もっと読む）

【課題】容器および加工装置の滑り性の評価を正しく行うことができる滑り性試験装置、および滑り性試験方法を目的とする。
【解決手段】位置決めピンを嵌める３つの断面Ｖ字状または断面Ｕ字状をした位置決め溝２４が底面に設けられた容器２２における、位置決め溝２４と位置決めピンとの滑り性を評価する滑り性試験装置１であって、３つの位置決め溝２４のいずれかに嵌めて、位置決め溝２４の幅方向および鉛直方向に移動可能な測定用ピン７と、測定用ピン７を、測定用ピン７が嵌まる位置決め溝２４の幅方向および鉛直方向に移動させる移動部４と、位置決め溝２４の最深部２５から測定用ピン７の頂部をずらして位置決め溝２４に嵌める際の、測定用ピン７に掛かる最大荷重を測定する測定部とを有することを特徴とする滑り性試験装置１。 （もっと読む）