【課題】画像記録装置内部の各駆動部の動作が不安定になることを抑制する技術を提供する。
【解決手段】画像記録装置１では、給紙部３から供給される印刷用紙Ｐは、無端状搬送機構２０により移動するテーブル１０上に保持される。そして、テーブル１０の搬送が、無端状搬送機構２０の駆動からリニアモータ機構６１の駆動に切り替えられ、画像記録部４により画像の記録が実行される。その後、テーブル１０の搬送駆動源が、再び無端状搬送機構２０の駆動に切り替えられ、テーブル１０上の印刷用紙Ｐが排紙部５により排出される。なお、複数のテーブル１０の各テーブル間は、テーブル１０の移動方向に沿って伸縮可能なカバー部材１１によって接続される。また、当該テーブル１０とカバー部材１１とは、連結軸１００ａ，１００ｂにより回転可能に連結される。 （もっと読む）

【課題】前処理剤吐出ノズルにおける吐出不良を検出可能な画像記録装置を提供する。
【解決手段】インクジェット方式で画像を記録する装置が、複数のインク吐出ノズルから第１色のインクを吐出する第１の記録ヘッドと、複数の前処理剤吐出ノズルから記録媒体に対しインクの定着性を高める前処理剤を吐出する前処理剤吐出ヘッドと、これらの吐出動作を制御する制御手段とを備え、複数の前処理剤吐出ノズルと複数のインク吐出ノズルとは、記録媒体の搬送方向と直交する方向についての吐出位置が１対１に対応しており、制御手段が、前記複数の前処理剤吐出ノズルによる吐出の対象とされた前記記録媒体上に、前記複数のインク吐出ノズルのうち隣接しあうインク吐出ノズルからの吐出タイミングを異ならせた印刷パターンである不良検出印刷パターンが形成されるように、吐出用ノズルから第１色のインクを吐出させる処理とを実行させるようにする。 （もっと読む）

【課題】タクト時間を満足する一定速度で検査対象物を安定搬送しつつ、撮像部に入射する光量を一定に調整して安定した高精度の検査を実現する。
【解決手段】基板処理システムのインライン装置として構成される検査装置に、検査対象物としての基板を実質的に一定の搬送速度で搬送する搬送ユニットと、搬送中の基板を撮像するラインカメラ２１と、撮像制御部３００と、画像処理部３０１とを設ける。撮像制御部３００は、基板の光の反射率に関する特性データ３２０に応じて、ラインカメラ２１の露光時間を制御する。すなわち、光の反射率の高い基板については当該反射率に応じて露光時間を短くする一方で、光の反射率の低い基板については当該反射率に応じて露光時間を長くする。さらに、必要に応じて画像処理部３０１がラインカメラ２１からの画像データの縦横比が１：１となるように、補間処理あるいは間引き処理を行って撮像データ３２１を作成する。 （もっと読む）

【課題】重ね刷りを行う場合に色合わせを好適に行えるインクジェット装置を提供する。
【解決手段】第１の記録媒体ＲＭ１に形成された第１の記録画像を読取手段７に読み取らせて得られた第１の読取画像Ｄ１と、第１の記録媒体に追加記録しようとする追加記録予定画像ＤＡとを合成し、合成画像ＤＣのうち第１の読取画像の範囲から第１の色合わせ対象領域を選択させるとともに追加記録予定画像の範囲から第２の色合わせ対象領域を選択しておいたうえで、第１の記録媒体に対し追加記録を行い、得られた第２の記録媒体ＲＭ２に形成された第２の記録画像を読取手段によって読み取り、読取結果に基づいて第１と第２の色合わせ対象領域についての色差を算出し、色差算出処理の結果に基づいて色濃度値とインクの吐出量との関係を記述する参照テーブルＴＢを補正する。 （もっと読む）

【課題】簡単かつ安価な構成で、長期的に安定した液除去（液切り）性能を享受する。
【解決手段】基板処理装置は剥離処理室１を有する。剥離処理室１には、剥離処理後の基板表面にエアを吐出し、剥離液を除去する第１エアナイフ１４が配置される。このエアナイフ１４は、送経路を横切るように支持される円筒状の本体１５と、この本体１５に所定間隔で配列されてエアを吐出するノズル部１６とを備えている。各ノズル部１６は、本体１５の軸方向と平行な方向に所定の噴角を有し、かつそれと直交する方向に扁平な形状でエアを吐出し、そのエアの吐出方向が基板搬送方向における下流側から上流側に向かう成分を含むように、本体１５に対して設けられ、かつ隣接するノズル部１６のエア吐出領域同士が基板上で前記軸方向に重複するように、ノズル部１６同士の間隔および各ノズル部１６から搬送基板Ｓまでの距離が設定されている。 （もっと読む）

【課題】基板の処理効率を向上させて、かつ基板の搬送制御を簡易に行う基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基板を搬送する経路である一連の基板搬送経路を、上下に階層構造で配設するとともに、１階の処理部搬送経路２５および２階の処理部搬送経路２６間で基板Ｗの受け渡しが可能に構成し、処理部搬送経路２５，２６を、基板が順方向に搬送される行き専用経路と、基板Ｗが逆方向に搬送される帰り専用経路とを上下に配設して構成する。また、処理部搬送経路２５，２６の各々の一端をインデクサ１で連結し、各々の他端をインターフェイス４で連結する。このように構成することで、行き専用経路上で搬送される基板と、帰り専用経路上で搬送される基板との干渉による基板の待ち時間を低減させて、基板の処理効率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 記録材料にしわ等を生ずることなく、画像を正確に記録することが可能な画像記録装置を提供すること。
【解決手段】 巻き出しローラ１１と、巻き取りローラ１４と、巻き出しローラ１１から巻き出され巻き取りローラ１４により巻き取られることで一方向に移動する記録材料１をその下面から吸着保持した状態で往復移動する吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１と同期して移動する一対の剥離ローラと、記録材料１の移動方向と交差する方向に移動する記録ヘッド３４と、第１のダンサーローラ機構１２と、第２のダンサーローラ機構１３と、ニップローラ３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】チャンバーを開放することなくチャンバー内の基板の有無を検出することができる熱処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理装置１は、チャンバー６内に収容した半導体ウェハーＷにフラッシュランプＦＬからフラッシュ光を照射して加熱処理を行う。チャンバー６には半導体ウェハーＷを支持するための支持ピン７０が立設されている。支持ピン７０は石英にて形成され、その基端部はチャンバー６の外部に突出しており、光ケーブル１６を介して投光部１１および受光部１２と接続されている。フラッシュランプＦＬからフラッシュ光を照射した後、投光部１１から支持ピン７０に光を入射し、支持ピン７０の先端から基端へと導かれる反射光を受光部１２によって受光する。受光した反射光のレベルを判定することによってチャンバー６内の半導体ウェハーＷの有無を検出して割れの発生を検知する。 （もっと読む）

【課題】基板にダメージを与えることなく、注入されたイオンの活性化および導入された欠陥の回復の双方を行うことができる熱処理方法および熱処理装置を提供する。
【解決手段】光照射の総時間が１秒以下の光照射加熱において、発光出力を目標値ＬＰまで増大させつつ半導体ウェハーＷに初期光照射を行った後、その目標値ＬＰから±１０％以内の変動幅の範囲内で発光出力を維持しつつ半導体ウェハーＷに後続光照射を行う。初期光照射における光照射時間は０．１ミリ秒以上１０ミリ秒以下であり、後続光照射における光照射時間は５ミリ秒以上１秒未満である。半導体ウェハーＷの表面温度を概ね一定の処理温度Ｔ２に維持しつつも、表面よりやや深い位置をもある程度昇温することができるため、半導体ウェハーＷに熱的なダメージを与えることなく、注入されたイオンの活性化および導入された欠陥の回復の双方を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】印刷画像の質の低下を抑制しつつ対象画像を効率よく印刷する。
【解決手段】印刷装置では、それぞれが搬送部２７による基材の移動速度および走査方向の記録解像度を含む複数の印刷条件が印刷条件データ５２１として記憶部５２にて記憶され、スペクトル取得部５１２では対象画像の走査方向に対応する方向における周波数スペクトルが取得される。そして、印刷条件選択部５１３では、対象画像の周波数スペクトルから求められる代表周波数の値が低いほど、複数の印刷条件のうち低い記録解像度を含むものが選択印刷条件として選択され、選択印刷条件に従ってヘッド３および搬送部２７を制御することにより対象画像が印刷される。このように、対象画像の周波数スペクトルに基づいて印刷条件を選択することにより、印刷画像の質の低下を抑制しつつ対象画像を効率よく印刷することができる。 （もっと読む）