【課題】フッ素系ガスだけでなく、発生した水素ガスをも高純度で回収・利用できるフッ素系ガス及び水素ガス発生装置を提供する。
【解決手段】陽極室３と陰極室４とを備えた電解槽１内の電解浴２を電気分解してフッ素系ガス及び水素ガスを発生する装置であって、陰極室４の気相部分と連通するように接続され、陰極室４で発生する水素ガスを供給する水素ガス供給用配管６１と、水素ガス供給用配管６１の途中に設けられた第１の自動弁４１と、第１の自動弁４１より下流に設けられた第１の加圧器４７と、陽極室３の気相部分と連通するように接続され、陽極室３で発生するフッ素系ガスを供給するフッ素系ガス供給用配管６２と、フッ素系ガス供給用配管６２の途中に設けられた第２の自動弁４２と、第２の自動弁４２より下流に設けられた第２の加圧器４８とを有するフッ素ガス及び水素ガス発生装置。 （もっと読む）

【課題】液体に大きな電流を流すことなく、液槽内の液体の液面の高さを検出する。
【解決手段】電解槽に設けられたＨＨＨ電極に接続されたＨＨＨ端子とＣＯＭ端子との間には、フォトカプラ４１ａ、４１ｂの発光ダイオード４４ａ、４４ｂが接続されており、、ＨＨ端子、Ｈ端子、Ｌ端子及びＬＬ端子とＣＯＭ端子との間には、それぞれ、フォトカプラ６１ａ〜６１ｄの発光ダイオード６４ａ、６４ｂ、６４ｃ、６４ｄが接続されている。発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄには、それぞれ、抵抗４２ａ、４２ｂ、６２ａ〜６２ｄが並列に接続されているとともに、抵抗３３、３３、６３ａ〜６３ｄが直列に接続されている。各電極が電解浴に浸ると、発光ダイオード４４ａ、４４ｂ、６４ａ〜６４ｄが発光し、対応するフォトトランジスタ４５ａ、４５ｂ、６５ａ〜６５ｄのコレクタ端子とエミッタ端子とが導通する。 （もっと読む）

【課題】高温下の還元性ガス（特に、アンモニア、水素、炭化水素ガスなど）に対して、優れた耐食性および耐熱衝撃性を有する炭化タンタル被覆炭素材料およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】炭素基材１と、前記炭素基材１上に形成されかつ（２２０）面に配向した炭化タンタルの結晶から実質的になる被覆膜２とを有する、炭化タンタル被覆炭素材料１０。被覆膜２のＸ線回折パターンにおいて、好ましくは、炭化タンタルの（２２０）面に基く回折強度が最大の強度を示しかつ２番目に大きな強度の回折強度の４倍以上の強度を示し、また、好ましくは、炭化タンタルの（２２０）面に基く回折強度の半価幅が０．２°以下である。
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【課題】チョクラルスキー法による単結晶引き上げ装置の石英ルツボと石英ルツボが載置される炭素質ルツボとの間に介在させて、炭素質ルツボを保護するためにその内面を覆う中敷に使用する膨張黒鉛シートであって、その引張強度を向上する方法並びにそれを用いた単結晶引き上げ装置を提供する。
【解決手段】膨張黒鉛材料からなる基材１１の少なくとも片面に、炭素繊維からなる補強材１２を積層状に形成することにより、膨張黒鉛シート１０を作製する。 （もっと読む）

【課題】取り扱いが容易で、作業時間が格段に低減し、しかも、シートを破損なくルツボの内面を隙間なく覆うことが可能な炭素質ルツボの保護方法および単結晶引き上げ装置を提供する。
【解決手段】石英ルツボと石英ルツボが載置される炭素質ルツボ２との間に、膨張黒鉛材料からなる保護シートを介在させて炭素質ルツボ２を保護する方法であって、保護シートが、ルツボ間の敷設において一体に組み合わさるような形状とした２以上からなる保護シート片１０Ａを炭素質ルツボ２の内面に敷設する炭素質ルツボの保護方法。 （もっと読む）

【課題】高温部材の寿命延長及び高品質単結晶の製造効率を向上させる単結晶引上げ装置用高温部材の製造方法、単結晶引上げ装置用高温部材及び単結晶引上げ装置を提供する。
【解決手段】炭素質基材の表面に熱分解炭素を被覆した単結晶引上げ装置用高温部材の製造において、前記熱分解炭素の被覆層は、下層の炭素質基材が露出する開口部を有していて、前記開口部は、予め開口部を所望の形状に加工された可撓性シートにより形成されている。特に、炭素質基材の表面の一部に可撓性シートを密着した後化学反応操作を行って、前記炭素質基材の表面に該炭素質基材が露出する開口部を有する緻密質の被覆層が形成された高温部材を得ることが好ましい。なお、可撓性シートとして、可撓性炭素質シートを用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】発熱体と放熱体との間に挟んだときにおいて、発熱体と放熱体との間の温度差を一定にすることができる伝熱シートの使用方法、およびかかる伝熱シートを備えた放熱構造体を提供する。
【解決手段】膨張黒鉛を素材とする伝熱シート１の使用方法であって、伝熱シート１を発熱体Ｈと放熱体２との間に配設し、厚さ方向から加わる加圧力が2.0ＭＰａ以上の条件で使用する。加圧前のかさ密度にかかわらず、発熱体Ｈと放熱体２との間の温度差を一定にすることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｓｉウェハの抵抗異常やノンドープ不良を回避できる気相成長用サセプター及びその製造方法を提供する。
【解決手段】気相成長用サセプター１は、黒鉛基材の表面にＣＶＤ法により炭化ケイ素膜２，３が少なくとも２層以上被覆されており、前記炭化ケイ素膜３の最表層膜３ａが、純化処理されており、前記純化処理されている表面の不純物量が、すべての元素において１×１０^１１ａｔｏｍｓ／ｃｍ^２以下である。また、気相成長用サセプター１の製造方法は、座ぐり凹部が形成された黒鉛基材の表面１ａに、ＣＶＤ法により炭化ケイ素膜を複数回被覆する炭化ケイ素膜被覆工程と、炭化ケイ素膜被覆工程において被覆された最表層の前記炭化ケイ素膜を、純化処理する最表層炭化ケイ素膜純化処理工程とを有し、炭化ケイ素膜被覆工程と、最表層炭化ケイ素膜純化処理工程とが同一炉内で行われる。 （もっと読む）

【課題】成形用材料を加圧圧縮させて製品を製造したときに、製品品質を高く保つことができ、しかも、作業効率および歩留りを向上させることができる加圧成形方法を提供する。
【解決手段】モールド１に収容された成形用原料を加圧して成形するときに、膨張黒鉛によって形成された離型用シート４を、モールド１や加圧部材２と成形用原料との間に配置する。モールド１や加圧部材２と成形用原料とが直接接触しないように離型用シート４が配置されているので、加圧成形したときに、両者が固着することを防ぐことができる。よって、モールド１や加圧部材２の損傷や、製品品質の低下などを防ぐことできる。 （もっと読む）

【課題】膨張黒鉛シートの使用方法を得る。
【解決手段】本発明の膨張黒鉛シートの使用方法は、外壁と内壁の間に、かさ密度０．７〜１．３ｇ／ｃｍ^３、厚み０．２〜１．０ｍｍ、不純物含有量１０ｐｐｍ以下の膨張黒鉛シートを挟んで用いるものである。前記膨張黒鉛シートは、高い純度が要求され且つ可撓性が要求される炉内部品として用いられることが好ましい。 （もっと読む）