【課題】１０００℃を超える高温の還元性ガス雰囲気中においても、優れた還元性ガス反応抑制効果を発揮し、製品寿命を大きく延ばすことができる還元性雰囲気炉用炭素複合材料及びその製造方法を得る。
【解決手段】本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料は、Ｔａ微粒子を、Ｃを含む反応性ガス粒子と共に、黒鉛基材の表面に付着させることによって、前記表面にＴａＣ微粒子を緻密に積層した結晶組織のＴａＣ被膜が形成され、かつ該黒鉛基材の特性値として熱膨張係数が、前記炭化タンタル被膜の熱膨張係数±２．０×１０^−６／Ｋの範囲内にある。また、本発明の還元性雰囲気炉用炭素複合材料の製造方法は、ターゲット材としての金属Ｔａ及びＣを含む反応ガスを使用してアークイオンプレーティング（ＡＩＰ）式反応性蒸着法により上記の熱膨張係数を特性値として有する黒鉛基材の表面に炭化タンタルの皮膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】シリンダ状の胴部のみならずボウル状の底部もフィラメントワインディング法で強化されたＣ／Ｃ複合材製の単結晶引き上げ用ルツボを提供する。
【解決手段】本発明は、フィラメントワインディングを、周方向強化層２３のみならず軸方向強化層２２，２６を組み合わせ、これらの組み合わせを２組以上とする炭素繊維強化炭素複合材製の単結晶引き上げ用ルツボである。軸方向強化層２２，２６は中心軸１６に対する巻き付け角が０°〜１０°のレベル巻き２６又はポーラ巻き２２の少なくとも一つで形成でき、周方向強化層２３は中心軸１６に対する巻き付け角が７０°〜９０°のパラレル巻き２３又はヘリカル巻きの少なくとも一つで形成できる。軸方向強化層２２，２６が底部の中心１７を覆うことで、孔無しの一体でＣ／Ｃ複合材製ルツボになる。 （もっと読む）

【課題】シリンダ状の胴部のみならずボウル状の底部もフィラメントワインディング法で強化されたＣ／Ｃ複合材製の単結晶引き上げ用ルツボを提供する。
【解決手段】本発明は、フィラメントワインディングを、周方向強化層２３のみならず軸方向強化層２２，２６を組み合わせ、これらの組み合わせを２組以上とする炭素繊維強化炭素複合材製の単結晶引き上げ用ルツボである。軸方向強化層２２，２６は中心軸１６に対する巻き付け角が０°〜１０°のレベル巻き２６又はポーラ巻き２２の少なくとも一つで形成でき、周方向強化層２３は中心軸１６に対する巻き付け角が７０°〜９０°のパラレル巻き２３又はヘリカル巻きの少なくとも一つで形成できる。軸方向強化層２２，２６が底部の中心１７を覆うことで、孔無しの一体でＣ／Ｃ複合材製ルツボになる。 （もっと読む）

【課題】カーボン系材料からなるすり板であって、これに直接雌ネジを切ることなく、パンタグラフの舟体下からボルトで取り付けることが可能なすり板を得る。
【解決の手段】すり板１０は、内側に雌ネジが切られている筒状の金属管１１、１２が嵌合固定されている貫通穴を端部付近にそれぞれ１つずつ有するカーボン系材料部材１３と、カーボン系材料部材１３底面側に装着された金属製のサヤ１４とを有し、サヤ１４には、カーボン系材料部材１３の貫通穴の底面側開口部と同位置に配設されるような孔が形成され、パンタグラフの舟体１５にもサヤ１４と同位置に同様の孔が形成されており、すり板１０の底面側からサヤ１４及び舟体１５の各孔にボルト１６、１７をそれぞれ挿通し、金属管１１、１２に締結することによって、サヤ１４をカーボン系材料部材１３に固定するとともに、すり板１０を舟体１５に固定している。 （もっと読む）

【課題】フッ素ガス発生装置で発生させたフッ素ガスを半導体製造装置に安全及び安定して供給でき、かつ、半導体製造におけるコストパフォーマンスにも優れた半導体製造プラントを提供する。
【解決手段】フッ素ガス発生装置と、半導体製造装置３ａ〜３ｅとが、オンサイトフッ素ガス発生装置１ａ〜１ｅで発生するフッ素ガスを所定量貯蔵できる貯蔵タンク１２を有しているガス供給システム２を介して接続されており、オンサイトフッ素ガス発生装置１ａ〜１ｅの一つ以上が停止した際、所定量のフッ素ガスが貯蔵されている貯蔵タンク１２からフッ素ガスを半導体製造装置３ａ〜３ｅに供給することによって、半導体製造装置の３ａ〜３ｅ運用を維持する。 （もっと読む）

【課題】母材とダイヤモンド被膜との密着性を向上させて、両者の界面に生じやすいクラックや剥離の発生を無くし、炭素材料自体が有する性質の優位性を確保しつつ、ダイヤモンド被膜の優れた特性を最大限有効に発揮させることのできるダイヤモンド被覆炭素部材及びその製造方法を提供する。
【解決手段】炭素質基体の表面にＣＶＲ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｅｒ Ｒｉａｃｔｉｏｎ）法により炭化珪素に転化することで、該表面の状態を反映した境界面を前記基体との間に有した被覆層を形成し、その表面にさらにダイヤモンド被膜を形成した。 （もっと読む）

【課題】高容量化とともに放電電圧が高く維持されかつ大電流充放電が繰り返し可能な高出力リチウムイオン二次電池を得る。
【解決手段】リチウムイオンの吸蔵・放出が可能な材料を含む負極材層と、リチウム含有金属酸化物を含む正極材層とが、合成樹脂製のセパレータを介して積層又は捲回されることにより形成される電極群と、当該電極群が浸漬されるリチウム塩を含む非水電解液とを備えているリチウムイオン二次電池であって、前記正極材層がフッ素処理されたリチウム含有金属酸化物を主剤とするものであり、かつ、前記セパレータが親水基を有するものであることを特徴とする。前記正極材層が、ＬｉＮｉ_xＣｏ_yＭｎ_zＯ₂（０．４≦ｘ≦１、０≦ｙ≦０．２、０≦ｚ≦０．２、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）からなる主剤を含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】耐薬品性又は耐酸化性に優れた特殊な金属粒子（炭素被膜金属粒子）及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の特殊な金属粒子は、純粋な金属粒子の表面が炭素の被膜で覆われてなる炭素被覆金属粒子である。また、本発明の製造方法は、金属酸化物の粒子と熱可塑性樹脂の粒子との混合物を不活性ガス雰囲気中で加熱処理し、前記熱可塑性樹脂を液相炭素化することにより、金属酸化物の還元と熱可塑性樹脂の炭素化を同時に進行させて、炭素被覆金属粒子を得るものである。 （もっと読む）

【課題】高電流低エネルギータイプのイオン注入装置において、ウエハー表面に混入するパーティクルを著しく低減できるイオン注入装置のビームラインの内部部材用の黒鉛部材を提供すること。
【解決手段】イオン注入装置に用いるための黒鉛部材であって、かさ密度が１．８０Ｍｇ／ｍ^３以上であり電気抵抗率が９．５μΩ・ｍ以下であるイオン注入装置のビームラインの内部部材用の黒鉛部材。好ましくは、当該黒鉛部材の自然破面のラマンスペクトルにおける１３７０ｃｍ^−１のＤバンド強度を１５７０ｃｍ^−１のＧバンド強度で除して得られるＲ値は０．２０以下である。 （もっと読む）

【課題】ガス遮蔽性および耐クリープ性の確保、導電性に優れた燃料電池用セパレータの製造方法および燃料電池用セパレータを提供する。
【解決手段】膨張黒鉛とバインダを含む基材で形成された第１シート２と、第１シート２の外縁部の互いに対向する表面のうち少なくとも一方に対面可能な第２シート３とを用意する。第１シート２の外縁部２５の互いに対向する表面のうち少なくとも一方に第２シート３を当接し、加圧手段４で加圧することにより第１シート２と第２シート３とを接合するとともに、第１シート２に表面流路２２を形成する加圧工程とを実施する。 （もっと読む）