【課題】加圧器に用いられている合成樹脂からなるシール部材の寿命を長期化できるフッ素ガス発生装置を提供する。
【解決手段】フッ素ガス発生装置１０００は、フッ化水素を含む混合溶融塩からなる電解浴２が形成された電解槽１と、電解浴２を電気分解させて発生したフッ素含有ガスが電解槽１から排出され、フッ素含有ガス中に含まれたフッ化水素を吸着する吸着手段１４、１５と、フッ化水素が吸着されたフッ素含有ガスのフッ素ガスを加圧する加圧器２１と、電解槽１と、吸着手段１４、１５と、加圧器２１とが収容された筐体１００とを備え、加圧器２１が、加圧器２１の内部を通過するガスの純度を維持するために、加圧器の内部と加圧器の外部とを遮断するための合成樹脂製のシール部材を用いているものであり、筐体１００内において、加圧器２１と、電解槽１及び吸着手段１４、１５とが、隔壁により区画されている。 （もっと読む）

【課題】除害剤の目詰まりを抑止して、除害塔のメンテナンスの頻度を少なくし、フッ素ガス発生装置の連続運転を長くできるフッ素ガス発生装置を提供する。
【解決手段】フッ素ガス発生装置は、フッ化水素を含む混合溶融塩からなる電解浴を、電解槽内で電気分解してフッ素を含むガスを発生するフッ素ガス発生装置であって、電解槽から発生したガスに含まれている不純物を除去する除害塔５ａを有しており、除害塔５ａが、ガス導入口３１と、ガス導出口３２と、ガス導入口３１とガス導出口３２との間に充填されている除害剤３３とを備え、ガス導入口３１と除害剤３３とが、ガスを透過でき且つ除害剤３３の通過を阻止できる離隔手段３４により空間を介して隔てられているものである。また、離隔手段３４が、ガス導出口３２側の方向に向かって、窪んだ形状を有している。 （もっと読む）

【課題】高強度で、耐腐食性、耐熱性を有する集塵機用仕切り板及び集塵機を提供する。
【解決手段】集塵機用仕切り板２５は、炭素繊維強化炭素複合材が用いられている。また、集塵機３００は、ダスト含有ガスに含まれたダストを取り除く集塵機であって、ダスト含有ガスが導入される集塵室２３と、前記ダスト含有ガスのダストを濾過する筒状のフィルタ３６ａ、３６ｂ、３６ｃと、前記集塵室２３に隣接して配置され、前記筒状のフィルタ３６ａ、３６ｂ、３６ｃで濾過された清浄空気が導入される清浄室２２と、前記集塵室２３の前記清浄室２２側と反対側に、前記集塵室２３に連設して配置されているホッパ２４と、前記清浄室２２と前記集塵室２３とを区画している炭素繊維強化炭素複合材からなる仕切り板２５とを有しているものである。 （もっと読む）

【課題】装置を構成している部材等の損傷及び被処理物の処理ムラを抑止することができる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１００は、希釈ガスを供給する希釈ガス供給装置１と、フッ素ガスを供給するフッ素ガス供給装置２と、前記希釈ガスと、前記フッ素ガスとを混合して混合ガスを生成させる混合器５と、前記混合ガスに被処理物を接触させる反応器６とを備えた表面処理装置１００であって、前記希釈ガスを加熱する加熱手段８をさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】シリコンの製造に使用される内側るつぼの損傷を防止し、かつ、外側るつぼのＳｉＣ化を抑制することができ、外側るつぼから内側るつぼに均一に熱を伝えることができる膨張黒鉛シートの使用方法及びこの使用方法を用いたシリコンの製造方法を提供する。
【解決手段】石英製の内側るつぼ２と黒鉛製の外側るつぼ３を有するるつぼ１において、両るつぼの間に、ガス透過率が１．０×１０^−４ｃｍ^２／ｓより小さく、熱伝導率が１２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上である膨張黒鉛シート４を配設する。これによりガス遮蔽性が保たれ、るつぼの均一加熱が可能となる。 （もっと読む）

【課題】表面処理、改質に使用されたガスにより装置が損傷することを抑止できる表面処理装置を提供する。
【解決手段】表面処理装置１００は、希釈ガスを供給する希釈ガス供給装置１と、フッ素ガスを供給するフッ素ガス供給装置２と、前記希釈ガスと、前記フッ素ガスとを混合し、混合ガスを発生させる混合器５と、前記混合ガスを被処理物に接触させる反応器６とを備えた表面処理装置１００であって、前記反応器内から排気ガスを排出する排気装置７と、前記反応器６と前記排気装置７との間に設けられており、前記排気ガスを流通させる複数の流路１９、２０、２１、２２と、前記複数の流路の各々に設けられている複数の弁２３、２４、２５、２６とをさらに備えている。 （もっと読む）

【課題】イオン注入装置内部部品、例えば、フライトチューブ、各種スリット、電極、電極カバー、ガイドチューブ、ビームストップ等に使用される黒鉛部材から黒鉛粒子が脱落したり、該部材上に堆積した熱分解炭素が剥離したりするのを防止し、イオン注入装置内の発塵を低減する。
【解決手段】イオン注入装置用黒鉛部材の耐熱衝撃係数を５４〜９６ｋＷ／ｍにする。 （もっと読む）

【課題】発生したフッ素ガスと、電解浴中の水分、酸素ガス又はＯＦ_２とが反応する濃度となることを抑制し、装置寿命が延びるとともに安定した運転が可能な溶融塩電解装置、及び、フッ素ガスの発生方法を提供する。
【解決手段】溶融塩電解装置は、フッ化水素を含む混合溶融塩からなる電解浴２を形成し、陽極５１が設けられた陽極室３と、陰極５２が設けられた陰極室４とに分離された電解槽１と、電解槽１内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段９１と、電解槽１内で発生したフッ素ガス量を測定する測定手段と、前記測定手段で得られたフッ素ガス量の値から、不活性ガス供給手段９１によって前記フッ素ガスを２倍以上に希釈するように制御する制御手段とを備えている。フッ素ガスの発生方法は、フッ化水素を含む混合溶融塩を電解槽１内で電気分解して発生させ、電解槽１内のフッ素ガスを不活性ガスで２倍以上に希釈する。 （もっと読む）

【課題】内側るつぼの損傷および傾きを防止して作業性を向上し、かつ、外側るつぼのＳｉＣ化や減肉等の発生を防ぐことができ、また、ガス遮蔽性が保たれることにより、製品品質の低下を防ぐことができる。
【解決手段】内側るつぼ２と外側るつぼ３を有するるつぼ１において、両るつぼの間に膨張黒鉛からなるシート４を複数枚積層して配設する。 （もっと読む）

【課題】充放電時に電解液の酸化、分解を抑制でき、且つ二次電池の容量を向上させることのできる非水電解液二次電池用正極活物質を提供する。
【解決手段】非水電解液二次電池用に用いられるリチウムを含む遷移金属正極活物質であって、リチウムを含む遷移金属正極活物質の一部分がフッ素原子を含んでなり、
遷移金属正極活物質がＬｉＮｉＯ_２である。 （もっと読む）