【目的】 ＤＵＴのあるピンについてあるテスト波形の状態を維持して次のテストができるＩＣテスタを提供することを目的とする。
【構成】 パターン発生器のパターン情報の１つに発生波形ホールド有無を示す制御信号を加えておき、この制御信号をタイミングパルス発生回路で受けて、第１のパルス信号及び第２のパルス信号を停止するようにしているので、波形発生回路が現在の波形発生状態を維持することができる。その結果、種々の波形状態をそれぞれのピン対応に簡単に設定でき、それが維持され、あるいは現在の波形を維持したままに次のテストを継続することが可能になる。また、種々の機能テストが可能になり、かつ、パターン発生器のメモリ容量を増加させずに済む。 （もっと読む）

【目的】 ロータリテーブルによるワークの自動供給装置において、メモリに記憶されたテーブルの角度データを較正する。
【構成】 自動搬送機構に設けられたロボット機構５のハンドアーム５a に光学式の変位センサ９a を、また、テーブル４の半径ＯＲの方向に回転角度の基準を示す基準反射板９b をそれぞれ設ける。ロータリテーブル４の中心Ｏを通るＸ軸を固定側の基準線とし、メモリに記憶された基準角度データを制御回路に与えてテーブルを回転し、基準反射板をＸ軸に一致させて停止する。変位センサ９a をＸ方向に移動して基準反射板の両端のＹ座標値ｙ_a,ｙ_b をそれぞれ測定し、両Ｙ座標値の差と両端間の長さＬとによりＸ軸に対する基準反射板のズレ角度θを算出し、これをメモリ１０c に与えて記憶された各角度データを較正する。 （もっと読む）

【目的】バス配線において、問題となるクロストークノイズを抑えるために設けられたガードパターンの配線方法。
【構成】クロストークノイズを抑えるためにバス配線５の中に設けられた通常グランド電位を持ったガードパターン６を電子部品２，３の部品ピン７，８から直接引き出す。また前記ガードパターン用に設けられた部品ピンは、基板搭載後は不要となるピンを割当て、基板搭載後はグランド電位を供給出来るよう前記電子部品内に切替論理を設け、ピンを無駄なく前記ガードパターン用ピンに利用する。 （もっと読む）

【目的】 空間フィルタを用いて散乱光の一部を遮光しても信号レベルをあまり低下させることなく、S/N 比のよい異物検査装置を提供することを目的とする。
【構成】 例えば、フーリェ変換面に設けられたＴＶカメラ５２により、あらかじめサンプルとして取り出されたあるウエハ１の各チップにおけるフーリェ変換パターンが受像され、情報処理装置の処理により各フーリェ変換パターンの共通パターン（または論理和パターン）が抽出され、この抽出されたパターンに対応する遮光パターンが描かれた空間フィルタをフーリェ変換面に設けることにより光センサの受光信号においてウエハ１からの規則的パターンの回折光が除去され、ガラス板や写真フィルムのような赤外線透過率が高い透明板を用いているので、遮光パターンにより除去された光量低下分を補足することができ、その結果、パターン上に付着した異物の散乱光のＳ／Ｎ比が向上し、異物を良好に検出できる。 （もっと読む）