【課題】省スペース、生産性の向上、合わせて設備費用の低減に寄与する研磨システムを提供する。
【解決手段】ワーク一括搬送装置６０がワークを研磨装置１０へローディングする時に、ワーク給排装置３０がローディング用テーブル３０５を上昇させて研磨装置用ガイド部２０とローディング用ガイド部３０４とを隣接させることでワーク一括搬送装置６０がこれらガイド部を移動できる状態とし、ワーク搬送装置６０がローディング用テーブル３０５上の全てのワークを一括して保持して研磨装置１０のワークキャリアへ搬送するようにして、ローディング時間を大幅に短縮した研磨システム１とした。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡素な構成を追加するのみで、微少量の流体供給により剥がし力をワークに付与するようにして、上定盤へのワークの貼り付きを確実に防止し、復帰作業および清掃作業を無用としてプロセスの連続性を向上させる両面研磨装置を提供する。
【解決手段】上定盤と下定盤とによりワークの表裏両面をラッピングまたはポリッシングする両面研磨装置において、旋回ロッド２１８がシール用ボール２２０を押して形成する隙間を通じて微少量の圧力流体を流路空間２２２へ進入させる供給を順次行い、複数の流路空間２２２を通じて外部へ圧力流体を吐出する圧力流体吐出装置２１と、圧力流体吐出装置２１の複数の流路空間２２２と連通するように上定盤に複数設けられ、圧力流体を上定盤とワークとの間に流入させる吐出を、全てのワークに対して行う複数の流体吐出孔と、を備える両面研磨装置とした。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡素な構成であるにも拘わらず、ワークおよびキャリアプレートを定盤上で定盤半径方向の内外周全域に揺動させる揺動機構を採用し、定盤あるいは研磨布の全面を研磨領域として均一に磨耗させることで定盤あるいは研磨布面に段差を発生させないようにしてワークへの悪影響を防止するとともに、ワークの外周側と内周側の研磨レートの均一化や、定盤あるいは研磨布の延命化を図る片面研磨装置を提供する。
【解決手段】回転する定盤１０１の内外周の速度差によりワーク１０とともにキャリアプレート１０２を回転させ、センターローラ１１１に追従ローラ１１０が追従してガイドアーム１０９が揺動され、センターローラ１１１とガイドローラ１０９とにより位置決めされているキャリアプレート１０２がガイドアーム１０６とほぼ一体となって定盤半径方向へ揺動される片面研磨装置１００とした。 （もっと読む）

【課題】遊星歯車式研磨装置において、上定盤の追従性を確保しつつ、上定盤を加圧して研磨加工を行なうことができる構造の研磨装置を提供する。
【解決手段】従来の上定盤５の吊下げ用ワイア９による吊支構造に加え、その内周側に上定盤５への加圧荷重を付与するための加圧用ワイア１２を配置し、上定盤吊り板２から下方への作用荷重を上定盤連結リング１３を介して上定盤５へ均一に伝達する荷重伝達部を構成することにより、加圧荷重条件における研磨加工を可能とする。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡素な構成であるにも拘わらず、ワークの割れが確実に検出されるようにして、生産性の向上に寄与するワーク加振搬送装置、欠損ワーク判別装置、積層ワーク切り出しシステムおよび積層ワーク切り出し方法を提供する。
【解決手段】段差によりワークに対して加振しつつ搬送してワークの割れの入ったコーナー部を欠損させるワーク加振搬送装置５０とした。また、搬送されるワークの左右の二隅のコーナ部または四隅のコーナー部の欠損を同時に検出する欠損ワーク判別装置６０とした。そしてこれらとともに欠損ワークを回収するワーク仕分け装置７０を備える積層ワーク切り出しシステム、および、このシステムを用いる積層ワーク切り出し方法とした。 （もっと読む）

【課題】切り出しによりワークの複数枚送りが発生したときに最上部の一枚のワークを搬送するとともに他のワークを確実に滞留させ、切り出し動作の信頼性を高める積層ワーク切り出しシステムおよび積層ワーク切り出し方法を提供する。
【解決手段】上側搬送ローラ４１、下側搬送ローラ４２、隙間４６、制御駆動手段、を備え、ワークが複数枚重なった状態で搬送されるとき、複数枚送られたワークのうち最上部のワークを上側搬送ローラ４１が隙間４６を通じて搬送方向へ送り、また、下側の他のワークを下側搬送ローラ４２が搬送方向とは逆方向へ送って滞留させる積層ワーク切り出しシステムとした。また、この送り防止による積層ワーク切り出し方法とした。 （もっと読む）

【課題】分離促進されて貼り付き力を低減した状態の積層ワークから薄型のワークを所定押圧力で連続して一枚ずつ切り出し、円滑に搬送する積層ワーク切り出しシステムおよび積層ワーク切り出し方法を提供する。
【解決手段】積層ワークの分離を促進する分離水槽２０と、積層ワークの分離を促進しつつ、切り出しコンベアが積層ワークの最上のワークを切り出す切り出し装置３０と、二枚以上のワークの通過を防止する複数枚ワーク送り防止装置４０と、ワークを加振しつつ搬送してワークの割れの入ったコーナー部を欠損させるワーク加振搬送装置５０と、搬送されるワークのコーナー部の欠損を検出する欠損ワーク判別装置６０と、欠損ワークを回収し良品のワークを下流へ流すワーク仕分け装置７０と、良品のワークを収納するワーク収納装置８０と、を備える積層ワーク切り出しシステム、および、このシステムを用いる積層ワーク切り出し方法とした。 （もっと読む）

【課題】貼り付き力を低減させる第一，第二分離促進処理を行うことで、切り出し時における貼り付き力を確実に低減させ、積層ワークから薄型のワークを所定押圧力で連続して一枚ずつ切り出すことができるようにした積層ワークの分離方法、積層ワーク切り出しシステムおよび積層ワーク切り出し方法を提供する。
【解決手段】浸入した液体および気泡の剥離促進作用により該ワーク間の摩擦力を著しく低下させて分離する積層ワークの分離方法を採用する。さらに、浸漬水内で横置きの積層ワークのワーク積層面に気泡または気泡水を噴射する分離水槽２０と、浸漬水内で縦置きの積層ワーク最上部のワーク積層面に気泡または気泡水を噴射する切り出し装置３０と、を備える積層ワーク切り出しシステム、および、このシステムを用いる積層ワーク切り出し方法とした。 （もっと読む）

【課題】大型構造でもスパークアウト加工を可能とする上定盤の支持構造および下定盤の支持構造を採用し、ワークの研磨精度を向上させた両面研磨装置およびこの両面研磨装置を用いる加工方法を提供する。
【解決手段】上定盤９と下定盤１５との間に挟み込んだワーク２００をラッピングまたはポリッシングする両面研磨装置１００において、上定盤９を上下方向に昇降させる上定盤昇降シリンダ３と、上定盤９を上下方向の所定位置に固定するための固定動作を行う上定盤位置固定装置６と、流体軸受皿１７と下定盤支持部１６とにより構成され、垂直軸周りに回転駆動される下定盤１５の垂直荷重を支持する流体軸受けと、を備えた両面研磨装置１００とした。また、この両面研磨装置１００を用いる加工方法とした。 （もっと読む）

【課題】マウントプレートに対して広範囲で均一な圧力でエアにより押圧してワークに対する押付け力も均一とし、研磨能力を向上させる研磨装置を提供する。
【解決手段】トッププレート２の下面に、その中心軸を基点に径の異なる複数の円環状溝２８ａと各円環状溝２８ａを結ぶ径方向の複数の連通溝２８ｂを設け、分散孔２７をこれら円環状溝２８ａと連通溝２８ｂの任意の交点およびトッププレート２の中心に設け、トッププレート２の中心点に対して点対称な溝形状として広範囲で均一な圧力でエアにより押圧する研磨装置とした。 （もっと読む）