【課題】半導体ウェハーなどを洗浄する場合に金属コンタミをなくし、簡便で高効率なマイクロ・ナノバブルの発生装置とノズルを作成する。
【解決手段】ベローズシリンダポンプ１５と気液混合槽１４とマイクロ・ナノバブル発生用ノズル１１と液をポンプに取り込む口と１７と気体を取り込む口１６と気体の量を絞る弁１８とを備えたマイクロ・ナノバブル発生装置において、ベローズシリンダポンプを含めて全ての接液部をフッ素樹脂で構成した。 （もっと読む）

【課題】ベローズポンプにおいて、ポンプボディ内部の流体通路の加工部分の簡略化と組み立ての簡略化を行い、ベローズとポンプボディの接合部からの搬送流体の漏れをなくし、ポンプの信頼性を上げ、高圧で駆動できるポンプにする。かつベローズ天板部外周で摺動シール行い、蛇腹側気室と天板側気室とを構成する形式のベローズポンプにおいて、摺動シールの摩擦を軽減し、動作を安定にすると共に、長寿命のベローズポンプを実現する。
【解決手段】ポンプボディ１ａ内に設置する吸入側逆止弁と吐出側逆止弁を、１つの穴内に設置することにより、流体通路穴を減らす。ベローズの取り付け部は、内部側に延伸する薄肉部を設け、この薄肉部が加圧時にポンプボディ１ａの面と圧接するようにする。ゴム等の弾性体から成る環状のシール部材（例えばＯリング６７、６８）の外側に低摩擦のプラスチック主体の潤滑シート材を配置する。 （もっと読む）

【課題】圧縮流動体を圧縮流体作動室に供給したときに、あるいは圧縮流体によってベローズ蛇腹が伸張すべきときに伸張しないで収縮してしまうという現象の発生を回避することができ、もって従来のベローズポンプでは、ダンパーを使用して脈動を少なくしていたものを、ベローズポンプだけで脈動を少なくし、かつ使用する圧縮空気の量を少なくても駆動できるポンプ駆動方法を確立する。
【解決手段】圧縮流体作動室に接続され、該圧縮流体作動室への圧縮流体の導入の切替えをタイマーからの切替え信号によって行う電磁バルブを設け、ポンプ内部で搬送液の吐出側の出口を液吸引の入り口の穴よりも小さくし、ポンプのベローズ天板側気室への圧縮流体の導入スピードをコントロールするスピードコントローラを設ける。 （もっと読む）

【課題】従来は、ベローズを圧縮、伸張させるために、ベローズに機械的に操作体を締結していたので、部品点数が多くなり、かつ、組立精度上も精密に組み立てる必要があったため、多大な組立工数を必要としていた。簡単な方法で、ベローズを圧縮、伸張させることにより部品点数の低減を図ると共に、組立が簡単なベローズポンプが切望されていた。
【解決手段】ベローズとシリンダとシリンダ端板とで構成される気室をベローズ天板部に設けたシールで分割して２つの気室を構成し、それぞれ気室に駆動流体の駆動源に接続される気室出入り口継手を設ける。この気室出入り継手は大気開放され得る。べローズ天板部には、これらの気室を連結する細い穴または、小さな溝を設けて、ベローズ部の変形破壊を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】
従来の義歯洗浄機は、水道水を利用するもの、超音波を利用するものなどが提案されているが、洗浄の結果、洗浄効果の一層の改良、小型化、取り扱いの簡便性などの要求がある。洗浄、殺菌、消毒を行う液を一液にすることで、操作を簡単に、機械を小型にする。
【解決手段】
義歯洗浄の効果を上げるのと。洗浄、殺菌、消毒を行う液を一液にすることで、操作を簡単に、機械を小型にする。１液で洗浄を行うこと義歯を入れる洗浄カゴの回転中心ノズルから水道水を外周に向けて噴射するノズルと外周から洗浄カゴの内部に向けたノズルから洗浄カゴの中に向けて水道水を発射することと、この水道水の水路を従来のポールでなく洗浄室の壁から噴射するようにしたことで洗浄カゴを回転させながら義歯を洗浄すると小型化が可能になった。 （もっと読む）

【課題】急速排気弁が取り付け姿勢を気にしないで自在にセットしても動作が安定することと、圧縮空気によって付加されるダイヤフラムの変形をダイヤフラム形状で押さえ込むようにして、ダイヤフラムの破壊をふせいで急速排気弁の安定動作と長寿命化とを同時達成する。
【解決手段】急速排気弁1のダイヤフラム3に突起3a,3b,3c,3dを付けてこの突起をガイドしながら動くようにしたことで急速排気弁1の取り付け姿勢を気にしないで動作するようにし、かつダイヤフラム3が圧縮空気の圧力をうけて衝撃で破壊にいたるような応力を弾性体の応力限界を超える力が加わらないようにするために、ダイヤフラム形状にそうような形状で圧縮空気の圧力を受けることと、圧縮空気が給気されたときに変形がすくなくなるようにダイヤフラム3の傘の部分3eに若干の隙間がでるようにするようにした。 （もっと読む）

【課題】従来は、ベローズを圧縮、伸張させるために、ベローズに機械的に操作体を締結していたので、部品点数が多くなり、かつ、組立精度上も精密に組み立てる必要があったため、多大な組立工数を必要としていた。簡単な方法で、ベローズを圧縮、伸張させることにより部品点数の低減を図ると共に、組立が簡単なベローズポンプが切望されていた。
【解決手段】ベローズとシリンダとシリンダ端板とで構成される気室をベローズ天板部に設けたシールで分割して２つの気室を構成し、それぞれ気室に駆動流体の駆動源に接続される気室出入り口継手を設ける。この気室出入り継手は大気開放され得る。べローズ天板部には、これらの気室を連結する細い穴または、小さな溝を設けて、ベローズ部の変形破壊を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】
往復動ポンプで液を移送するとき脈動が発生する。その脈動は、移送液を使用していろいろな仕事（洗浄、エッチング）をさせる場合に、良い品質を得るときの障害になる。つまり移送液には、脈動が少なく、液の流量、液圧が一定であることが重要である。この脈動減衰装置を１個の圧縮気体流入制御弁機構と液室と気室を分割するベローズの上下動を利用して気室の圧力を大気圧に放出することで調整する機構を使って脈動の減衰を行う。
【解決手段】
ベローズにシール部を設けると共に、本体ケース内面にカム部を設けることで、気室を圧縮空気が入る第１気室と大気と連通する第２気室とに分け、ベローズの上下の動きを弁と同じ効果のある装置とする。 （もっと読む）

【課題】
従来ベローズポンプ用に使用する圧縮気体駆動回路システムは、安定作動を確保するために複雑な復帰回路を持っていた。安価で、安定して動作するポンプを自動連続駆動する圧縮気体駆動回路を作る必要がある。
【解決手段】
メインバルブ（５ポート２ポジション）と、ベローズの動きで切り替わる２ポートバルブとオリフィス、３ポートバルブなどを使用して安定して動作する簡便で安価なベローズポンプ用に使用する圧縮気体駆動回路を作成する。 （もっと読む）

【課題】
従来の義歯洗浄機は、水道水を利用するもの、超音波を利用するものなどが提案されているが、洗浄の結果、洗浄効果の一層の改良、コンパクト化などの要求がある。
【解決手段】
義歯洗浄の効果を高めたものを作成する。義歯を入れる洗浄カゴの回転中心ノズルから水道水を外周に向けて噴射するノズルと外周から洗浄カゴの内部に向けたノズルから洗浄カゴの中に向けて水道水を発射することと、洗浄カゴを回転させながら義歯を洗浄することで、洗浄効果を大幅にあげることができた。 （もっと読む）