【課題】導電性薄膜の抵抗を低くすることによって優れた導電性と発熱性能を有する導電性薄膜と電極を備えた発熱基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板１００、透明基板１００の一面に形成される複数の電極１１０，１１５，１２０、及び透明基板１００の一面に形成されて、複数の電極１１０，１１５，１２０によって電気的に並列連結される複数の領域１０５ａ，１０５ｂ，１０５ｃを含む。また、透明基板１００上に導電性薄膜１０５を形成する導電性薄膜形成段階と、導電性薄膜１０５の周縁と隣接して透明基板１００上に伸びてメイン電極１１０，１１５を形成するメイン電極形成段階と、メイン電極から伸びて導電性薄膜１０５に接して枝電極１２０を形成する枝電極形成段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は燃料を予熱して排気ガスと混合することにより、排気ガス内の粒子状物質を効果的に酸化させて除去するプラズマバーナ及び煤煙濾過装置を提供する。
【解決手段】エンジン２０の反対側で排気管４０に連結されるフィルタ８０と、エンジン２０とフィルタ８０の間で排気管４０内に設置され、燃料を供給する燃料流入口１２２及びプラズマ放電による火炎を噴出する火炎噴出口を有し、排気ガスを加熱させるプラズマバーナ１００と、燃料流入口１２２と燃料タンク３０を互いに連結する燃料流入管路１１２を有する。 （もっと読む）

本発明は、自己整合型有機薄膜トランジスタ及びその製造方法に関するものである。本発明によれば、基板上にパターニングされた第１導電膜としてゲート電極を形成し、ゲート電極を覆うように基板上にゲート絶縁膜を形成した後、ゲート絶縁膜上に第２導電膜を形成する。次いで、基板の下部側でゲート電極をマスクとして用いて、第２導電膜に紫外線を照射する紫外線背面露光を遂行した後、第２導電膜を現像することで、ゲート電極と自己整合され、ゲート電極と重畳しないソース／ドレイン電極を形成する。次いで、ソース／ドレイン電極の間及び上部に有機半導体膜を形成する。本発明は、リール・トゥ・リール工程を用いて、有機薄膜トランジスタを製造することができ、製造工程が単純になる。
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燃料貯蔵タンクから供給される炭化水素系燃料を燃焼させるエンジンの排気管に連結され、排気ガス中の粒子状物質を捕集して除去する排気ガス内の粒子状物質の低減システムは、気体流入口と排出口とを具備したプラズマ反応器と、フィルターを具備したＤＰＦ（Diesel Particulate Filter）装置とを含む。前記エンジンの排気管は前記プラズマ反応器の気体流入口と連結され、前記プラズマ反応器の排出口は前記ＤＰＦ装置と連結される。前記エンジンから排出される排気ガスは、前記プラズマ反応器を経て加熱された後、前記ＤＰＦ装置に伝達されることを特徴とする。
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本発明によるナノ素子構造物はナノ物質層（２０）を容易に塗布し、ナノ物質層（２０）と電極の間の接触抵抗を減少させるように整列基準部（１６）が形成された基板（１０）と、前記基板上に塗布された複数のナノ物質層（２０）及び前記ナノ物質層（２０）の上面と接するように形成された電極を含む。
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【課題】本発明は、疏水性を有して光透過ができるダイヤモンド状カーボン薄膜で構成される微細インプリントリソグラフィ用スタンプ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のスタンプ製造方法は、基板の上にダイヤモンド状カーボン薄膜を蒸着する段階Ｓ１１と、ダイヤモンド状カーボン薄膜の上にレジストを塗布する段階Ｓ１２と、レジストをパターニングする段階Ｓ１３と、パターニングされたレジストを保護膜としてダイヤモンド状カーボン薄膜をエッチングする段階Ｓ１４と、レジストを除去する段階Ｓ１５とを含む。 （もっと読む）

本発明は基板上にナノ構造物を形成するためのＵＶナノインプリントリソグラフィ法に関する。本発明によるＵＶナノインプリントリソグラフィ法は、基板上面にレジストを塗布する工程と、形成しようとする基板上のナノ構造物に対応するナノ構造物が表面に形成されたスタンプを常温でレジスト上面に接触させ所定の低圧力で基板の方向に加圧する工程と、紫外線をレジストに照射する工程と、スタンプをレジストから分離する工程と、レジストが塗布された基板の上面をエッチングする工程とを含む。前記スタンプは少なくとも二つの要素スタンプと、互いに隣接した要素スタンプ相互間に形成された溝であって、各々の要素スタンプ上に形成されたナノ構造物の深さよりさらに深い溝とを有する多重浮彫要素スタンプであることを特徴とする。
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