【課題】発明は、ディスプレイ又は半導体の製造工程中に低圧工程チャンバで発生する汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】本発明に係る汚染物質除去用プラズマ反応器２１０は、互いに距離をおいて位置する第１接地電極２１及び第２接地電極２２と、第１接地電極２１と第２接地電極２２との間に固定される誘電体３０と、第１接地電極２１及び第２接地電極２２と距離をおいて誘電体３０の外面に位置して交流電源部４０と連結し、これから駆動電圧の印加を受ける少なくとも１つの駆動電極５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、感光性プレポリマーレジンを使用せずに、感光性金属有機物前駆体溶液を基板に塗布して、ナノインプリント方式で直接パターニングする金属酸化薄膜パターンの形成方法、当該形成方法によって直接パターニングされた金属酸化薄膜パターン、および、当該形成方法によって光結晶層を含むＬＥＤ素子の製造方法を提供する。
【解決手段】基板に感光性金属有機物前駆体溶液をコーティングして感光性金属有機物前駆体コーティング層を形成する段階と、凹凸構造を有するようにパターン化されたモールドで前記感光性金属有機物前駆体コーティング層を加圧する段階と、前記加圧された感光性金属有機物前駆体コーティング層に紫外線を照射して硬化された金属酸化薄膜パターンを形成する段階と、前記パターン化されたモールドを前記金属酸化薄膜パターンから除去する段階とを含むナノインプリントを利用した金属酸化薄膜パターンの形成方法。 （もっと読む）

本発明は、バイオオイル製造装置、バイオオイル製造システム、およびバイオオイル製造方法に関する。反応器の傾斜部にバイオマスを供給し、前記傾斜部に供給された前記バイオマスの上面に高温の流動砂を供給し、加熱器が前記傾斜部を加熱する。したがって、バイオマスの急速熱分解性能を向上させ、バイオオイルの収率も増大させることができる。また、加熱器の燃焼ガスを反応器の内部に供給し、反応器の内部を容易に非酸化性雰囲気とすることができ、このようなバイオオイル製造装置を極めて簡単な構造で製作することができる。
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本発明は、少なくとも２自由度（２ＤＯＦ：２Ｄｅｇｒｅｅｓ ｏｆ Ｆｒｅｅｄｏｍ）以上のロボットに備えられるモジュールの構造に関する。より詳細には、前記モジュールの外観となる固定ハウジングと、前記固定ハウジングに連結して回転する回転ハウジングのそれぞれの外側にケーブルが接続する入力コネクタと、出力コネクタとを備え、前記入力コネクタと出力コネクタの連結は固定ハウジングと回転ハウジングの内部を経てなされ、前記回転ハウジングの出力コネクタに連結したケーブルは、前記モジュールと同様のもう一つのモジュールの外観となる固定ハウジングと回転ハウジングのうち、固定ハウジングの入力コネクタに連結することによってなされることを特徴とする、モジュール型ロボット駆動部の構造に関する。
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表面パターン形成装置は、一定の条件で硬化することができる流動体、前記流動体が塗布される基底部、および前記塗布された流動体に振動を加えて前記流動体の表面に波形を形成する振動部を含む。また、表面パターン形成方法は、基底部に流動体を塗布させる流動体収容段階、前記基底部に塗布された流動体に振動を付加して前記流動体の表面に波形を形成する振動段階、および前記波形が形成された流動体を硬化する硬化段階を含む。この流動体の表面パターン形成装置および方法は、振動部によって流動体の表面に多様なパターンを容易に形成することができるという長所がある。また、流動体の表面に機械的接触なくパターンを形成することができるため、パターンの大きさに制約が少なく、パターンの生産費用を節減することができる。さらに、流動体の表面に微細な大きさのパターンを形成するために別途の精密金型を用いる必要がない。
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本発明は、階層化構造物の形状、その形状に応じた階層化構造物の工学的効果、その工学的効果の増大方法、新規素材または部品に対する階層化構造物の応用方法、階層化構造物の大量製造方法に関する。本発明は、階層化構造物およびその製造方法に関し、内部の基地にナノスケール領域の特性長さを有する少なくとも１つ以上のナノオブジェクトが一定のパターンによって配列されたことを特徴とする階層化構造物を含む。本発明によれば、ナノスケール領域で発生する優れた特性を巨視的なスケール領域の構造物でも活用することができ、スケールが互いに異なる構造物を相違するスケールに関係なく容易に連係することができる。
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本発明では、スクラブを減少させることができる二重ビームカンチレバー型プローブの長所を生かしつつ、ヒンジ構造を適用して優れた応力緩和効果を得て、プローブの許容変位を増加させることを特徴とする。ヒンジ構造は、モーメントを受けない構造であるので、従来のプローブでモーメントを除去した効果を得ることができ、応力を均等に受けるので、プローブの許容変位が増加する。
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本発明の一側面に係る微細接触プローブは、複数の単位ユニットが互いに繋がって長さ方向に積層して形成された柱部と、前記柱部の先端に形成されて半導体チップの電極パッドと接触する先端部とを含む。前記単位ユニットは、交互に左右に屈曲するプローブ本体と、前記プローブ本体から突出して幅方向の中心を基準として左右に配置され、圧縮時に隣接した前記プローブ本体に接触して前記プローブ本体を支持することができる突起とを含む。
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【課題】本発明はフォトニック結晶構造を有する有機発光素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の有機発光素子は、光を通過させる基板１０と、基板１０上に形成されてフォトニック結晶構造を有するフォトニック結晶層５０と、フォトニック結晶層５０上に形成されてフォトニック結晶層５０に比べて大きい屈折率を有する中間層６０と、中間層６０上に形成される第１電極層２０と、第１電極層２０上に形成されて電流の流れにより光を発光する発光層３０と、発光層３０上に形成される第２電極層４０と、を含む。 （もっと読む）