【課題】製造工程を煩雑にすることなく、ガラス管を切断する際にガラスの微粒粉を発生することがないようにするとともに、歩留まりを向上することができるようにしたガラス管の切断方法を提供する。
【解決手段】ガラス管の外周面あるいは内周面における切断所望箇所にカッターを押しつけて、上記ガラス管と上記カッターとを上記切断所望箇所に沿って相対的に移動させ、上記ガラス管の上記外周面あるいは上記内周面における上記切断所望箇所に上記カッターによりケガキ傷を形成する第１の工程と、上記第１の工程で上記ガラス管の上記外周面あるいは上記外周面における上記ケガキ傷を形成された領域を冷却する第２の工程とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス板へ微細穴を高精度、高速で加工すると共に、研削ツールの長寿命化を図る。
【解決の手段】被加工物である石英ガラス板２に、所望の穴１の直径より小さな元穴１０をレーザーを使用して穴あけ加工し、次に、この元穴１０に研削ツールを使用して研削することによって所望の直径の穴１を形成する。レーザー加工によって生じたバリ（ドロス）３が研削ツールによって除去されて平坦面とすることができ、更に、研削ツールに負担をかけることなく正確な円形の穴の加工ができ、研削ツールの寿命を研削ツール単独加工による場合よりも数倍長くすることができ、加工時間の短縮、コストの低減が達成される。 （もっと読む）

【課題】製造工程を煩雑にすることなく、ガラス管を切断する際にガラスの微粒粉を発生することがないようにするとともに、歩留まりを向上することができるようにしたガラス管の切断方法を提供する。
【解決手段】ガラス管の外周面における切断所望箇所にカッターを押しつけて、上記ガラス管と上記カッターとを上記切断所望箇所に沿って相対的に移動させ、上記ガラス管の上記外周面における上記切断所望箇所に上記カッターによりケガキ傷を形成する第１の工程と、上記第１の工程で上記ガラス管の上記外周面に形成された上記ケガキ傷と対向する上記ガラス管の内周面を加圧する第２の工程とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着した液の残留を抑止すると共に、キャリアからのパーティクルの放出を極力少なくする。
【解決手段】表面を電解研磨処理したステンレス製のコの字型のフレーム１は上部において樹脂製の連結材１１が固定してあり、左右のフレーム１は、スペーサ材１２によって間隔が保持されている。フレーム１の底部は、ポリフッ化ビニリデン製の丸棒に適宜の間隔でＶ型保持溝３を形成した保持棒２０、２１、２２が両フレーム１の間に三角形に配置してネジで固定してある。フレーム１の保持棒を固定するための穴１３、１３は長穴にしてあり、固定位置を微調整することができる。保持棒２のＶ型保持溝の角度を１０６度とし、基板の糸面が点接触となるようにして洗浄液がいきわたるようにしてある。 （もっと読む）

【課題】石英ガラス表面に形成される膜の性質や作用する応力に応じて最適な凹凸面の物理的性状（断面形状や配列）を求める。
【解決の手段】（１）石英ガラス基板２の平滑表面、（２）基板２の表面に半径２５μｍ半円形の凸部が連続した凹凸面、（３）基板２の表面に５０μｍ四角の溝が形成された凹凸面、（４）基板２の表面に頂部間隔が５０μｍ、深さ５０μｍのＶ字溝が連続して形成された鋸歯状凹凸面に、厚さ２μｍの窒化珪素膜２１が生成されている。６８０℃の温度差を与え、石英ガラスと窒化珪素の膨張率の差異に基づく最大膜応力をＱｕｉｃｋ Ｗｅｌｄｅｒを使用して求めたところ鋸歯状凹凸面が最小であったので、レーザー加工装置を使用して石英基板表面にＶ字状溝を形成して鋸歯状凹凸面とした。 （もっと読む）

【課題】製造工程を煩雑にすることなく、ガラス管を切断する際にガラスの微粒粉を発生することがないようにするとともに、歩留まりを向上することができるようにしたガラス管の切断方法を提供する。
【解決手段】ガラス管の外周面における切断所望箇所にカッターを所定の圧力で押しつけて、上記ガラス管と上記カッターとを上記切断所望箇所に沿って相対的に移動させ、上記ガラス管の上記外周面における上記切断所望箇所に上記カッターによりケガキ傷を形成する第１の工程と、上記第１の工程で上記ガラス管の上記外周面に形成された上記ケガキ傷と対向する上記ガラス管の内周面を所定の温度で加熱する第２の工程とを有するようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス管の表面処理にあたり、処理によって新たなパーティクル発生原因を生成することを抑止し、かつ、均一で高精度で再現性のある微細凹凸面を形成できるようにする。
【解決の手段】レーザー発振手段２で生成されたレーザーは、導光手段３に導かれ、先端の照射手段５から照射される。導光手段３は水平アーム３１内に設けられた回転駆動装置３３によって１回転／秒で回転するので、照射手段５から照射されたレーザーは被処理物のガラス管６の内周面に均等にレーザーを照射される。レーザー導光手段３の回転と送り手段４の水平移動が同期させてあり、照射手段５が１回転すると送り手段４が被処理物６を一定距離移動するので、ガラス管６の表面には、一定間隔で微細凹凸面が形成され、レーザーによる表面処理がおこなわれる。 （もっと読む）

【課題】砥粒先端部の切れ刃高さを鏡面レベルの研削面が得られるように揃えると共に、ツルーイング時の加工抵抗を下げ、薄刃砥石のツルーイングを可能とし、ツルーイングによる金属汚染を防止する。
【解決手段】石英ガラスを主成分とする材料をツルーイング工具とし、ダイヤモンド砥石でツルーイング工具を研削加工することによりボンド表面の砥粒の先端に平滑な平坦部を高能率に形成し、砥粒切れ刃高さを整列させる。ダイヤモンド砥粒の先端は、石英ガラスを研削加工することで摩滅磨耗すると共に平均的な切れ刃高さに比べ、突き出た砥粒先端は深く切り込むことで磨耗が大きく、また、低い砥粒先端は切り込みが浅く、磨耗が小さくなり、結果として砥粒切れ刃高さが揃いツルーイングされる。 （もっと読む）

【課題】表面を均一で高精度で再現性のある微細凹凸面とし、腐食性洗浄液、腐食性ガスに対する耐食性に優れ、パーティクルの発生がなく耐久性に優れるなど、機能性、表面特性に優れた石英ガラス材料を提供する。
【解決手段】多関節アームロボット３を利用したレーザー加工装置１のレーザー光の焦点を石英ガラスプレート２の表面に合わせ、所望の表面粗さにするために予め表面粗さＲａ０．５〜５０μｍの範囲内における速度と表面粗さの関係式から求めた速度で移動させて、石英ガラスプレートの表面に微細な凹凸面を形成した。次いで、ダイヤモンド・ライク・カーボン膜（ＤＬＣ）で凹凸面が形成された面を被覆した。パーティクルの発塵がなく、フッ酸耐久性や熱酸化速度が良好であり、ハロゲン化物ガス及び／又はそのプラズマに対する耐食性が高く、半導体製造装置用部材など、表面特性に優れた石英ガラス材料として好適である。 （もっと読む）

【課題】表面処理によって新たなパーティクル発生原因を生成することを抑止し、かつ、均一で高精度で再現性のある微細凹凸面を有する石英ガラス治具を提供する。
【解決の手段】多関節アームロボット３を利用したレーザー加工装置１からの炭酸ガスレーザー光の焦点を石英ガラスプレート２の表面に合わせ、所望の表面粗さにするために、予め表面粗さＲａ０．５〜５０μｍの範囲内における速度と表面粗さの関係式から求めた速度で移動させて、石英ガラスプレートの表面に微細凹凸面を形成した。炭酸ガスレーザー照射により表面に所望表面粗さの微細な凹凸層が形成された。 （もっと読む）