【課題】 高温下で繰り返し使用した場合でも、目皿と天板の横方向への変形を抑制できるようにしたプロセスチューブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 円筒形のチューブ本体１と、チューブ本体１の上端に取り付けられた天板２と、チューブ本体１の内側面の天板２から離れた位置に取り付けられた目皿３と、を有するプロセスチューブ１００であって、天板２と、目皿３とがそれぞれドーム状であり、かつ、天板２とチューブ本体１との接合部ａと、目皿３とチューブ本体１との接合部ｂとを含む当該チューブ本体１の上端部位５が、当該上端部位５以外の部位よりも厚くなっている。 （もっと読む）

【課題】被測定対象であるウエハなどの平板の表面と背面との形状差である厚みムラの凹凸判定を干渉縞を用いて測定することは複雑であった。
【解決手段】ウエハ５を光源１の照明光によりコリメータレンズ４を通して照明し、ウエハ５から反射した該照明光の反射光を干渉縞として撮像手段３により撮像し、該干渉縞からウエハの厚みムラ測定する際、撮像手段３により撮像して得られた画像に対し、所定サイズに区分けした複数の検査領域を対応させ、該検査領域内に存在する干渉縞の間隔が所定数を越えていると、当該被測定体の厚みムラが予め設定した許容値を越えていると判定し、また光源１と撮像手段３とが光軸中心線Ｌ_０に対する角度を等しく変化させると干渉縞の生成に変化が生じ、この変化によりウエハの凹凸を判定する。 （もっと読む）

【課題】電気的特性が良好で光電変換効率の高い多結晶シリコンインゴットを製造することができる容器を提供する。
【解決手段】シリコン溶融用容器１の側壁３の底部肉厚を厚く、側壁上方に行くにつれて、肉厚が薄くなるテーパ状の形状とした。得られる多結晶シリコンのインゴットの歩留まりの観点から、テーパ角度は、０．５〜２度が好ましい。また、容器内面のうねりを３ｍｍ以下、表面粗さＲａを１０μｍ以下、更に好ましくは６μｍ以下の平滑な表面とすることによってシリコンの食い込みを低減して発生応力を逃げ易くし、シリコン内部歪の残留を軽減し、多結晶シリコンの光電変換効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】光伝送用ロッドから出射される線状光の光量レベルを向上させるとともに、輝度のバラツキのない高均質な線状光を出射する。
【解決手段】光伝送用ロッドのレンズ作用によって、拡散縞により光伝送用ロッド内に拡散反射した光を光伝送用ロッドの中心軸線を横切る方向に指向性をもって外部へ出射する光源ユニットにおいて、光伝送用ロッドは、欠陥の最大長さが０．１５ｍｍ以下であるととともに、欠陥の最大長さと最小長さとの比が１０以下であり、かつ、欠陥の最大面積が０．０１ｍｍ^２以下である石英ガラス製ロッドよりなる。 （もっと読む）

【課題】接合面に気泡や異物が残存せず、清浄な状態で平面ガラスを接合する。
【解決手段】鏡面研磨された石英ガラス板２枚を純水の流水中で接合面を近接させて相対的に動かして気泡、異物を接合面間から除去し、位置合わせをおこない、０．０１ＭＰａ、５００℃で一昼夜真空乾燥して強固に接合する。清浄な純水の流水を用いているので異物の除去効果が高くなると共に相対移動によって気泡の発生を防止し、更に、治具等からの再汚染を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】主として無機粒子からなる研磨用成形体を用いた研磨用定盤により被研磨材料を研磨するにあたり、その面状態を適正に修正する方法及びそのための面修正材を提供する。
【解決の手段】面修正に用いられる修正材の修正に携わる面の一部または全面に、所定の材質からなる部材を配し、かつ当該研磨用定盤及び／または面修正材を互いに摺擦運動させながら修正液を加えつつ研磨用定盤を面修正する方法及びそのための面修正材を用いる。 （もっと読む）