【課題】温度補正のための感温部材を含むリークテスト装置において、差圧検出路を簡素化する。
【解決手段】検査対象１０の内部空間１１の内面と良熱伝導材料からなる感温部材６０の外面との間に被検室１３を形成する。加圧気体を被検室１３及び感温部材６０の内部の感温室６１にそれぞれ導入した後、第１、第２通路３１，３２を遮断したうえで、第２下流側開閉手段Ｖ_３６を閉じ、差圧センサ３３によって被検室１３と第２通路の被検圧部分３６との差圧Ｄ_１を検出する。また、第１下流側開閉手段Ｖ_３５を閉じ、差圧センサ３３によって感温室６１と第１通路の被検圧部分３５との差圧Ｄ_２を検出する。差圧データＤ_１を差圧データＤ_２に基づいて補正し、補正後の差圧データＤ_１に基づいて漏れ判定を行なう。 （もっと読む）

【課題】スニファープローブとガス測定装置とを接続する配管が長くても気密試験時間を短縮する。
【解決手段】サクションカップ２１，２２，２３ａ，２３ｂは、試験対象部位の雰囲気を収集する。スニファーチューブ３５〜３８は、採取された雰囲気をガス測定装置４９まで移送する。測定用弁Ｖｉ（ｉ＝１〜５）と、予備吸引用弁Ｖ（ｉ＋５）とは、予備吸引を行うか、測定を行うかを切り換える切り換え手段である。予備吸引用の排気ポンプ４４は、予備吸引用弁Ｖ６〜Ｖ９を介して、測定前に予備吸引を行って、サクションカップ２１，２２，２３ａ，２３ｂが収集した試験対象部位の雰囲気をガス測定装置４９の近傍まで引き込む。予備吸引用弁を閉じ、測定用弁を開くと、スニファーチューブによる移送遅れなく、ガス測定装置４９でトレーサガス濃度の測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象の内部空間が狭隘であっても温度変化を確実に感知できるリークテスト装置を提供する。
【解決手段】感温部材７０の良熱伝導性材料からなる本体７１を検査対象１０の外面に当接し、検査対象１０の内部空間１１の開口を塞ぐ。感温部材本体７１の内部に感温室７３を形成する。感温室７３内に加圧気体を導入する。感温室７３の内圧情報に基づいて、検査対象１０の内部空間１１の圧変化データを補正し、漏れ判定を行う。 （もっと読む）

【課題】 ワーク搬出、搬入のための構造を簡略化したリークテスト装置を提供する。
【解決手段】
インデックステーブル１０は、モータにより回転駆動されるテーブル本体１１と、このテーブル本体１１と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダ１２とを有している。各ホルダ１２には所定数のワークカプセル１６が配置されている。複数のホルダ１２はテーブル本体１１に対して選択的に連結されたり連結解除される。テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体１１に対して連結解除するとともに非テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体１１に連結することにより、テスト位置にあるホルダ１２を静止させたままで非テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体と一緒に回動させて、ワーク搬出と搬入を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 ボンビング終了時からリークテスト開始時点までの経過時間を短くすることにより正確なリークテストを可能にし、しかも構造が簡単なテストガスボンビングシステムを提供する。
【解決手段】 キャリア１０はロッド状をなし、軸方向に沿う収容凹部１２にワークを装填するようになっている。キャリア支持体２０は互いに独立した複数のチャンバ２１を有している。チャンバ２１は、互いに平行をなして直線的に延び同一平面上に配列されている。キャリア支持体２０は移動手段によりチャンバ２１の配列方向に移動され、１つのチャンバ２１が選択的に特定位置に位置させられる。特定位置にあるチャンバ２１のキャリア１０は搬送手段により出し入れされる。キャリア１０が収容位置にある時、チャンバ２１の開口端部内周とこれに対応する上記キャリア１０の端部外周との間がＯリング１４によりシールされ、チャンバ２１が密閉される。この密閉状態でテストガスがチャンバ２１に供給される。 （もっと読む）

【課題】 リークテストシステムが配置された部屋にトレーサーガスが蓄積されるのを回避し、高精度のリークテストを行えるようにする。
【解決手段】
リークテストシステムは、ワークＷを収容する密閉容器１０と、ワークＷ内に加圧されたトレーサーガスを供給する供給手段４０と、密閉空間１０内のトレーサーガスを検出する検出手段３０と、ワークＷからトレーサーガスを回収する回収手段５０と、回収手段５０で回収したトレーサーガスを供給手段４０へと戻す戻し手段７０とを備えている。戻し手段７０の昇圧器８０においてピストン８２を往復動させると、回収手段５０からの低圧のトレーサーガスが第１入側逆止弁７３を介して第１室８３に吸引され、ここで昇圧され、第１出側逆止弁７４を介して供給手段４０に戻される。昇圧器８０の動作時に、第２室８４でもポンプ作用が実行され、第２入側逆止弁９１を介して空気が吸引され、第２室８４へ漏れたトレーサーガスが第２出側逆止弁９３および排気回路９４を介して屋外へと排出される。 （もっと読む）

【課題】 ボンビング終了時からヘリウムリークテスト開始時点までの経過時間を短くすることにより正確なヘリウムリークテストを可能にし、しかも、多数のタンクを用いずにコストを低減できるヘリウムボンビング装置を提供する。
【解決手段】
ヘリウムボンビング装置はチャンバー２０を備えている。チャンバー２０は、筒状をなして垂直に配置され、上下端の開口のいずれか一方が入口２１、他方が出口２２となっている。チャンバー２０の周壁にはガス供給通路２７が形成され、ヘリウムガスボンベ８０に接続されている。チャンバー２０には、ワークを載せた多数のパレット１０が、水平状態で上下に重なるようにして収容されている。押込シリンダ３０を駆動させることにより、パレット１０を１つずつチャンバー２０に押し込み、１つずつ出口２２から送り出す。パレット１０とパレット１０に装着されたシールリング１５により、ガス供給通路２７が入口２１および出口２２から遮断される。 （もっと読む）

【課題】テスト開始までの経過時間を短くすることにより正確なトレーサーガスリークテストを可能にする。
【解決手段】多数のワークを載せたトレイは、ガスボンビング装置４０の密閉した容器４２内に収容された状態で、トレーサーガスの供給を受ける。トレイ搬送手段７０は、ガスボンビング装置４０の容器４２からボンビング完了後のトレイを取り出すとともに、多数のワークを載せたボンビング前のトレイを容器４２に投入する。リークテスト装置５０は、複数のワークカプセル５２と、これらワークカプセルに接続されるトレーサーガス検出器を有し、ワークカプセル５２内のワークの微小漏れ検査を行う。第２ワーク投入手段８０は、ボンビング装置４０の容器４２から取り出されたトレイから、複数個のワークを同時に吸着してワークカプセル５２に投入する。 （もっと読む）

【課題】微小な検査対象に対するリークテストの不感帯を解消する。
【解決手段】複数の検査対象Ｗをまとめてボンビングタンク１０内の加圧ヘリウム空間に長時間置く。その後、検査対象Ｗを１つずつカプセル２００に入れ、カプセル２００内を短時間加圧ヘリウム空間にし、そのうえでヘリウムリークテスタ２３０にて検査対象からのヘリウム検出を行なう。また、エアリークテスタ２４０にてエアリークテストを行なう。 （もっと読む）

【課題】 検査対象の容積ごとに設定を変える必要の無い検査装置を提供する。
【解決手段】
圧力制御弁２で設定したテスト圧を、圧導入路３Ｌを経て検査対象Ｗに導入する。圧導入路３Ｌは、第１分流路３１と第２分流路３２に分岐させ、加圧時は第１開閉弁Ｖ３１を閉じて第２開閉弁Ｖ３２を開き、その後、第１開閉弁Ｖ３１を開いて第２開閉弁Ｖ３２を閉じ、第１分流路３１の流量計Ｔ３１で流量測定を行なう。この測定流量に基づいて検査対象Ｗの漏れや流通性などの性能検査を行なう。 （もっと読む）