リークテスト装置
【課題】 ワーク搬出、搬入のための構造を簡略化したリークテスト装置を提供する。
【解決手段】
インデックステーブル１０は、モータにより回転駆動されるテーブル本体１１と、このテーブル本体１１と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダ１２とを有している。各ホルダ１２には所定数のワークカプセル１６が配置されている。複数のホルダ１２はテーブル本体１１に対して選択的に連結されたり連結解除される。テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体１１に対して連結解除するとともに非テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体１１に連結することにより、テスト位置にあるホルダ１２を静止させたままで非テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体と一緒に回動させて、ワーク搬出と搬入を行うことができる。
【解決手段】
インデックステーブル１０は、モータにより回転駆動されるテーブル本体１１と、このテーブル本体１１と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダ１２とを有している。各ホルダ１２には所定数のワークカプセル１６が配置されている。複数のホルダ１２はテーブル本体１１に対して選択的に連結されたり連結解除される。テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体１１に対して連結解除するとともに非テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体１１に連結することにより、テスト位置にあるホルダ１２を静止させたままで非テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体と一緒に回動させて、ワーク搬出と搬入を行うことができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの漏れを検出するためのリークテスト装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回転式のインデックステーブルを用いてリークテストを実行する装置は公知である。
例えば特許文献１の図１１に開示されているリークテスト装置では、インデックステーブル上において、４つの群（複数群）のワークカプセルが周方向に９０°間隔で配置されている。各群は、複数例えば４つのワークカプセルを含んでいる。
【０００３】
上記インデックステーブルはモータにより９０°で間欠的に回転される。これにより各群のワークカプセルをエアリークテスト位置、ヘリウムリークテスト位置、搬出・搬入位置、待機位置へと順々に移動させる。
各群のワークカプセルが搬出・搬入位置にある時、テスト済のワークがワークカプセルから回収部へと搬出され、新たなワークが供給部からワークカプセルへ搬入される。
【０００４】
なお、特許文献１における待機位置を無くし、搬出・搬入位置を分離した装置も公知である。この場合、各群のワークカプセルは、搬出位置でのワーク搬出と、搬入位置でのワーク搬入が独立して実行される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１２１４８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記公知のリークテストでは、複数群のワークカプセルの相対的位置が固定関係にあるため、ある群のワークカプセルがリークテストを受けている際、他の群のワークカプセルも所定位置に静止したままであり、この静止位置でワーク搬出やワーク搬入を受けなければならない。そのため、装置の構造を改良する上で障害となることがあった。理解を容易にするために、具体例を挙げて説明する。
【０００７】
上記のように２種のリークテストを同時に実行するとともに、ワーク搬出とワーク搬入を周方向にずらした位置で独立して行う装置においては、インデックステーブルに４つのワークカプセル群を等間隔で配置しなければならない。また、１種のリークテストを実行するとともに、ワーク搬出とワーク搬入を周方向にずらした位置で独立して行う装置では、インデックステーブルに３つのワークカプセル群を等角度間隔で配置しなければならない。そのため、上記装置においてワークカプセル群の数を減らすことはできなかった。
【０００８】
また、ワークの搬出、搬入を行うためには、各群のワークカプセルの数と同数の吸着ノズル等を用意し、一度に搬出、搬入を行うのが一般的である。この吸着ノズルの数を減らして複数回に分けて搬出、搬入を行おうとすれば、静止状態のワークカプセルの位置が異なるため複雑なノズル移動機構を必要とする。そのため、吸着ノズルの数を減らすことができなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、（ア）インデックステーブルと、（イ）インデックステーブル上において、周方向に複数群に分かれて配置され、各群が複数の所定数からなるワークカプセルと、（ウ）上記インデックステーブルを回転軸線を中心として回転駆動させることにより、各群のワークカプセルを、少なくとも１つのテスト位置と、非テスト位置に、順に繰り返し位置させる回転駆動手段と、（エ）上記テスト位置にある１群のワークカプセルに収容されたワークに対して、ワークカプセルを密閉した状態で一度にリークテストを実行するリークテスト手段と、（オ）上記非テスト位置にあるワークカプセル群からインデックステーブル外の回収部へとリークテスト済のワークを搬出するとともに、非テスト位置にあるワークカプセル群にインデックステーブル外の供給部から新しいワークを搬入するワーク搬出・搬入手段と、を備えたリークテスト装置において、上記インデックステーブルは、上記回転駆動手段により回転駆動されるテーブル本体と、このテーブル本体と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダとを有し、各ホルダに上記ワークカプセルが１群ずつ配置され、さらに連結制御手段を備え、この連結制御手段は、上記複数のホルダを上記テーブル本体に対して選択的に連結したり連結解除し、上記テスト位置にあるホルダをテーブル本体に対して連結解除するとともに上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体に連結することにより、上記テスト位置にあるホルダを静止させたままで上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体と一緒に回動可能にすることを特徴とする。
上記構成によれば、ある群のワークカプセルがリークテストを受けている際、他の群のワークカプセルを移動させることができるので、ワーク搬出、搬入に便宜を図ることができ、構造上の種々の改良が可能となる。
【００１０】
好ましくは、さらにガイド機構を備え、このガイド機構は、上記ホルダを支持するとともに、上記回転軸線を中心とする円の軌跡に沿って案内する。
この構成によれば、上記テーブル本体はホルダに対して回動のみを負担すればよく、ホルダを安定して回動させることができる。
【００１１】
好ましくは、上記ガイド機構が、上記回転軸線を中心とする円環形状のレールと、各ホルダに設けられこのレールに沿って走行するスライダとを有する。
この構成によれば、比較的簡単な構造でホルダの支持及び案内を行うことができる。
【００１２】
好ましくは、上記連結制御手段は、上記ホルダ毎に設けられた連結機構と、テスト位置に対応して設けられた解除機構とを備え、上記連結機構は、上記テーブル本体に形成された第１係合穴に対して挿入離脱される係合シャフトと、この係合シャフトを第１係合穴への挿入位置に向かって付勢する付勢手段とを有し、この係合シャフトの第１係合穴への挿入により、上記ホルダとテーブル本体との連結が得られるようになっており、上記解除機構は、通常時には係合シャフトと干渉しない位置にある作動部材と、この作動部材を移動させて係合シャフトに係合させるとともにこの係合シャフトを上記第１係合穴から離脱させる駆動手段とを有する。
この構成によれば、連結機構と解除機構を分けたことにより、ホルダや回転テーブルに駆動手段を装備せずに済む。
【００１３】
好ましくは、上記テーブル本体に対向して支持部材が固定位置に配置され、この支持部材に第２係合穴が形成されており、上記係合シャフトは上記第１係合穴から離脱した時に上記第２係合穴に挿入される。
この構成によれば、テスト位置のホルダの静止状態を安定して維持できる。
【００１４】
好ましくは、上記回転駆動手段は、上記非テスト位置のホルダを、リークテストの最中に、少なくとも１つの搬出位置から少なくとも１つの搬入位置へと回動させ、上記ワーク搬出・搬入手段は、上記搬出位置にあるホルダのワークカプセル群から上記回収部へワークを搬出するワーク搬出機構と、上記供給部から上記搬入位置にあるホルダのワークカプセル群へワークを搬入するワーク搬入機構とを有する。
この構成によれば、ワークの搬出と搬入を位置をずらして独立した機構で行う装置において、ワークカプセル群の数を減らすことができる。
【００１５】
好ましくは、全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第１角度ずつ離れて配置され、上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬出位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬出点に順に位置させるようにし、上記ワーク搬出機構は、上記整数に相当する数の第１吸着ノズルと、この第１吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第１移動手段とを有し、上記特定搬出点にあるワークカプセル内のワークを上記第１吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記回収部の特定回収点で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダからのワークの搬出を完了する。
この構成によれば、ワーク搬出手段の第１吸着ノズルの数を減らすことができ、しかも第１吸着ノズルの移動軌跡がワークカプセル毎に同じであるので第１移動手段の構成および制御を簡略化することができる。
【００１６】
好ましくは、さらに上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬入位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬入点に順に位置させるようにし、上記ワーク搬入機構は、上記整数に相当する数の第２吸着ノズルと、この第２吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第２移動手段とを有し、上記供給部の特定供給点にあるワークを上記第２吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記特定搬入点にあるワークカプセル上で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダへのワークの搬入を完了する。
この構成によれば、ワーク搬入手段の第２吸着ノズルの数を減らすことができ、しかも第２吸着ノズルの移動軌跡がワークカプセル毎に同じであるので第２移動手段の構成および制御を簡略化することができる。
【００１７】
好ましくは、上記ホルダは、所定の角度にある時に、上記搬出位置の１つに位置するとともに上記複数の搬入位置の１つに位置し、これにより、上記ホルダの１群のワークカプセルのうち、上記整数に相当する数のワークカプセルが上記特定搬出点に位置するとともに、上記整数に相当する数の他のワークカプセルが上記特定搬入点に位置し、上記ワーク搬出機構によるワーク搬出と上記ワーク搬入機構によるワーク搬入が同時に行われる。
上記構成によれば、ワーク搬出期間と、ワーク搬入期間が一部重なるので、ワークの搬出、搬入に要する時間を短縮できる。
【００１８】
好ましくは、上記整数が１または２である。これによれば、第１、第２吸着ノズルの数がそれぞれ１つまたは２つで済む。
【００１９】
１の態様では、上記複数のホルダが３つのホルダを含み、上記少なくとも１つのテスト位置は、第１テスト位置と第２テスト位置とを含み、さらに準備位置が設定され、上記準備位置と、第１テスト位置と、第２テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第２角度ずつ離れており、上記回転駆動手段は、第１，第２テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、リークテストが終了した後、上記連結制御手段が第１テスト位置および第２テスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回動制御手段が全てのホルダを上記第２角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダを第１テスト位置へ、第１テスト位置にあるホルダを第２テスト位置へ、第２テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させる。
上記構成によれば、２種のリークテストを行う場合において、ホルダの数、ひいてはワークカプセル群の数を３つに減らすことができる。しかも、リークテスト終了後のワークカプセル群の再配置を迅速に行うことができる。
【００２０】
他の態様では、上記複数のホルダが２つのホルダを含み、上記少なくとも１つのテスト位置は、単一のテスト位置を含み、さらに準備位置が設定され、上記準備位置と、テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第２角度ずつ離れており、上記回転駆動手段は、テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、リークテストが終了した後、上記連結制御手段がテスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回動制御手段が全てのホルダを上記第２角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダをテスト位置へ、テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させる。
上記構成によれば、１種のリークテストを行う場合において、ホルダの数、ひいてはワークカプセル群の数を２つにすることができる。しかも、リークテスト終了後のワークカプセル群の再配置を迅速に行うことができる。
【００２１】
好ましくは、全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第１角度ずつ離れて配置され、上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の位置で停止させることにより、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定点に順に位置させ、この特定点においてワーク搬出・搬入手段によるワークの搬出、搬入を行うことを特徴とする。
この構成によれば、ワーク搬出・搬入手段の構造を簡単にすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、複数のカークカプセル群の相対位置を可変にできるので、ワーク搬出、搬入の便宜を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施例１をなすリークテスト装置を一部断面にして示す側面図である。
【図２】同リークテスト装置のインデックステーブルを示す平面図である。
【図３】同リークテスト装置のワーク搬出機構およびワーク搬入機構をインデックステーブルとともに概略的に示す平面図である。
【図４】同リークテスト装置のホルダの位置を時系列で概略的に示す平面図である。
【図５】本発明の実施例２をなすリークテスト装置を概略的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２４】
以下、本発明の実施例１について図１〜図４を参照しながら説明する。図１に示すように、本実施例のリークテスト装置は、基台１上に設置されており、水平に配置されたインデックステーブル１０と、このインデックステーブル１０を垂直をなす回転軸線２を中心にして回転させるモータ２０（回転駆動手段）とを備えている。
【００２５】
図１、図２に示すように、上記インデックステーブル１０は、モータ２０に直結されたテーブル本体１１と、このテーブル本体１１と別体をなす３つ（複数）の板形状のホルダ１２とを備えている。各ホルダ１２はテーブル本体１１の下側に配置され、上から見た時ホルダ１２の内縁部とテーブル本体１１の外縁部が重なっている。
【００２６】
図１，図２に示すように、各ホルダ１２はガイド機構３０により支持され、上記回転軸線２を中心とする円形軌跡に沿って案内されるようになっている。詳述すると、ガイド機構３０は基台１に立設された複数の支柱３１と、この支柱３１の上端に固定された円環状の支持部材３２と、この支持部材３２の上面に固定された円環状のレール３３と、上記ホルダ１２の下面に固定されるとともに上記レール３３に沿って走行するスライダ３４とを有している。
【００２７】
図２に示すように、各ホルダ１２の外縁部には、８つ（複数）の昇降体１５が設けられている。全ての（すなわち２４個の）昇降体１５は上記回転軸線２を中心とした円上に配置されており、各ホルダ１２において８つの昇降体１５は例えば６°（第１角度）ずつ離れて配置されている。
【００２８】
上記昇降体１５は公知なので図１を参照しながら簡単に説明すると、ホルダ１２の外縁部を垂直に移動可能に貫通するシャフト１５ａと、このシャフト１５ａの上端に固定された保持部１５ｂとを有しており、図示しないバネにより下方に付勢されている。
図２に示すように、保持部１５ｂの上面には凹部すなわちワークカプセル１６が形成されており、ワークＷが収容されるようになっている。なお、保持部１５ｂの上面にはワークカプセル１６を囲むＯリング１７が設けられている。
【００２９】
図１に示すように、各ホルダ１２の内縁部には、連結機構４０が設けられている。この連結機構４０は、ホルダ１２の下面に固定されたＬ形ブラケット４１と、垂直をなす係合シャフト４２とを有している。この係合シャフト４２の上端部がホルダ１２の内縁部に形成された支持穴１２ａに挿通され、その下端部がブラケット４１の水平片部に形成された支持穴４１ａに挿通され、これにより係合シャフト４２は垂直方向に移動可能に支持されている。
【００３０】
上記係合シャフト４２はコイルスプリング４３（付勢手段）により常に上方に付勢されており、この係合シャフト４１の上端部近傍に設けられたストッパ４４がホルダ１２の下面に当たることにより、係合シャフト４２の上限位置が決定されている。
【００３１】
上述したように係合シャフト４２が上限位置にある時、係合シャフト４２の上端部はテーブル本体１１の外縁部に形成された第１係合穴４５に挿入され、これにより、ホルダ１２はテーブル本体１１と連結状態となり、テーブル本体１１と一緒に回動できるようになっている。
【００３２】
上記係合シャフト４２の第１係合穴４５への挿入状態は、後述するエアリークテスト位置Ｐ１（第１テスト位置）及びヘリウムリークテスト位置Ｐ２（第２テスト位置）にそれぞれ配置された解除機構５０（図２参照）によって、解除されるようになっている。
【００３３】
上記解除機構５０は、支柱３１に固定されたエアシリンダ５１（駆動手段）と、このエアシリンダ５１のロッド上端に固定された作動部材５２とを有している。この作動部材５２の上端の爪部５２ａは、上記連結機構４０のストッパ４４（係合部）の上方に配置されている。
【００３４】
上記エアシリンダ５１が第１位置にある時、作動部材５２の爪部５２ａはストッパ４４から離れた非干渉位置にあり、これにより係合シャフト４２は上限位置にあって第１係合穴４５に係合している。
エアシリンダ５１が作動して第２位置になると、作動部材５２が下降して上記ストッパ４４に当たり、係合シャフト４２をコイルバネ４３に抗して押し下げる。これにより、係合シャフト４２の上端部と第１係合穴４５との係合が解除され、これにより、テーブル本体１１が回動してもホルダ１２は一緒に回動せず、静止状態を維持される。
上記３つの連結機構４０と上記２つの解除機構５０は協働して、３つのホルダ１２をテーブル本体１１に対して選択的に連結、連結解除するための連結制御手段を構成している。
【００３５】
本実施例では、ガイド機構３０の支持部材３２に鍔部が形成されている。この鍔部は上記連結機構４０のブラケット４１の水平片部に対向しており、第２係合穴４６を有している。上記係合シャフト４２が下降して第１係合穴４５への挿入状態を解除された時に、係合シャフト４２の下端部が上記第２係合穴４６に挿入され、これによりホルダ１２の静止状態がより一層確実に維持できるようになっている。
【００３６】
上記モータ２０は上記解除機構５０とともに図示しないコントローラによりシーケンス制御され、上記ホルダ１２を図２、図３、図４（Ａ）に示すように、エアリークテスト位置Ｐ１、ヘリウムリークテスト位置Ｐ２、搬出位置Ｐ３、搬入位置Ｐ４、準備位置Ｐ５と順に位置させる。
【００３７】
後述するように、ホルダ１２は６°（第１角度）ずつ間欠回動されることにより、ワークカプセル１６と同数の８つの搬出位置Ｐ３で停止し、８つの搬入位置Ｐ４で停止するが、１番目の搬出位置、搬入位置をそれぞれＰ３、Ｐ４で示す。エアリークテスト位置Ｐ１、ヘリウムリークテスト位置Ｐ２、最初の搬出位置Ｐ３、準備位置Ｐ５は、互いに９０°（第２角度）離れている。
【００３８】
図３に示すように、上記エアリークテスト位置Ｐ１に対応してエアリークテスト機構６０（第１リークテスト手段）が配置され、ヘリウムリークテスト位置Ｐ２に対応してヘリウムリークテスト機構７０（第２リークテスト手段）が配置され、搬出位置Ｐ３に対応してワーク搬出機構８０が配置され、搬入位置Ｐ４に対応してワーク搬入機構９０が配置されている。これら搬出機構８０と搬入機構９０により、ワーク搬入・搬出手段が構成される。
【００３９】
上述したように、エアリークテスト機構６０とヘリウムリークテスト機構７０は実際には周方向にほぼ９０°離れている（図３参照）が、図１では両リークテスト機構６０，７０の構造を示すために、便宜上１８０°離して示している。
【００４０】
図１に示すように、上記エアリークテスト機構６０は、基台１に設置された支持台６１と、この支持台６１に支持されたマスタ用昇降体６２とを有している。この昇降体６２は、上述したワーク用昇降体１５と同様の構成で同数配置されている。昇降体６２にはワークカプセル１６と同容積のマスタカプセル６３が形成されており、このマスタカプセル６３にはマスタ品Ｍ（すなわち良品と確認されたワーク）が収容されている。
【００４１】
上記ホルダ１２がエアリークテスト位置にある時、８つのワーク用昇降体１５が８つのマスタ用昇降体６２と１対１に対応した位置（径方向の内側と外側）にある。
【００４２】
図１に示すように、上記エアリークテスト機構６０は、さらに上記昇降体１５、６２の上方に位置する通路ブロック６４と、この通路ブロック６４に装着された差圧センサおよび各種弁と、押し上げ機構６５とを有している。
【００４３】
上記通路ブロック６４は図示しない支柱等を介して上記基台１または固定系に固定されている。
上記押し上げ機構６５は、エアシリンダ６５ａと、このエアシリンダ６５ａによって昇降する押し上げ部材６５ｂとを有している。通常、押し上げ部材６５ｂは上記昇降体１５、６２の下方に離れて位置している。エアリークテストを開始する際には、エアシリンダ６５ａを作動させて押し上げ部材６５ｂを上昇させ、昇降体１５、６２を押し上げる。これにより、ワークカプセル１６、マスタカプセル６３を通路ブロック６４の受部６４ａ，６４ｂでそれぞれ密閉する。
【００４４】
上記通路ブロック６４にはエア通路が形成され、このエア通路の分岐路の末端が上記受部６４ａ，６４ｂに開口している。上記エア通路から加圧エアを搬入し、各分岐路を遮断し、分岐路間の差圧すなわちワークカプセル１６、マスタカプセル６３間の差圧を差圧センサで検出することにより、ワークＷの傷等による漏れを判定するようになっている。このエアリークテストは周知であるので、これ以上の説明を省略する。
【００４５】
図１に示すように、上記ヘリウムリークテスト機構７０は、支柱７１等を介して基台１に固定された通路ブロック７２と、この通路ブロック７２に接続されたヘリウムディテクタ、真空ポンプおよび必要な弁等（いずれも図示せず）を有している。この通路ブロック７２は、ヘリウムリークテスト位置にあるホルダ１２の昇降体１５の真上に位置する受部７２ａを有している。各受部７２ａには上記ヘリウムディテクタや真空ポンプにそれぞれ連なるヘリウム通路の末端が開口している。
【００４６】
上記ヘリウムリークテスト機構７０はさらに押し上げ機構７５を有している。この押し上げ機構７５は、エアシリンダ７５ａとこのエアシリンダ７５ａによって昇降する押し上げ部材７５ｂとを有している。通常、押し上げ部材７５ｂは上記昇降体１５の下方に離れて位置している。ヘリウムリークテストを開始する際には、エアシリンダ７５ａを作動させて押し上げ部材７５ｂを上昇させることにより、昇降体１５を押し上げ、ワークカプセル１６を通路ブロック７２の受部７２ａで密閉する。この状態で真空ポンプを駆動しヘリウム通路を介してワークカプセル１６を真空にし、ワークＷから漏れる微量のヘリウムを、ヘリウム通路を介してヘリウムディテクタにより検出し、ワークＷの微小な傷等による漏れを判定するようになっている。このヘリウムリークテストは周知であるので、これ以上の説明を省略する。
【００４７】
図３に示すように、ワーク搬出機構８０は、吸着ノズル８１（第１吸着ノズル）と、この吸着ノズル８１を所定軌跡に沿って往復移動させるノズル移動機構８２（第１移動手段）と、回収部８５とを備えている。なお、吸着ノズル８１は実際には垂直をなしているが、図３では見やすいように水平に描いている。
【００４８】
上記回収部８５は、回収ボックス８６と、この回収ボックス８６を直線移動させるボックス移動機構８７とを有している。上記回収ボックス８６は、良品収容のための室８６ａと不良品収容のための室８６ｂとを有している。本実施形態では、室８６ｂは、さらに計測不可、エアリーク漏れ、ヘリウムリーク漏れのワークを分離収容するために３つに分かれている。
【００４９】
上記ノズル移動機構８２は、単一のモータ８２ａとカム機構８２ｂ（図３で模式的に示す）とを有し、吸着ノズル８１を、上に凸の湾曲軌跡（所定軌跡）を描くようにして、特定搬出点Ｐａと特定回収点Ｐｂとの間で往復動させるようになっている。
【００５０】
上記ホルダ１２が最初の搬出位置Ｐ３にある時に、１番目のワークカプセル１６が上記特定搬出点Ｐａに位置するようになっている。
上記吸着ノズル８１が上記特定搬出点Ｐａに位置するワークカプセル１６からワークＷを吸着した後、上記ノズル移動機構８２が吸着ノズル８１を上記湾曲軌跡を経て上記特定回収点Ｐｂへと移し、この特定回収点Ｐｂで吸着ノズル８１がワークＷの吸着を解除して、ワークＷを落下させる。ボックス移動機構８７は、漏れの有無の判定結果に基づいて回収ボックス８６を移動させ、良品判定の場合はワークＷの落下地点（特定回収点Ｐｂ）に室８６ａを位置させ、不良品判定の場合は室８６ｂを位置させる。
【００５１】
上記ワーク搬入機構９０は、垂直をなす吸着ノズル９１（第２吸着ノズル。図３では水平に描かれている）と、この吸着ノズル９１を所定軌跡に沿って往復動させるノズル移動機構９２（第２移動手段）と、供給部９５とを備えている。
【００５２】
上記ノズル移動機構９２は、単一のモータ９２ａとカム機構９２ｂ（図３で模式的に示す）とを有し、吸着ノズル９１を上に凸の湾曲軌跡（所定軌跡）を描くようにして特定供給点Ｐｃと特定搬入点Ｐｄとの間で往復動させるようになっている。
【００５３】
上記ホルダ１２が最初の搬入位置Ｐ４にある時に、１番目のワークカプセル１６が上記特定搬入点Ｐｄに位置するようになっている。
上記吸着ノズル９１が上記特定供給点Ｐｃに位置するワークＷを吸着した後、上記ノズル移動機構９２が吸着ノズル８１を上記湾曲軌跡を経て上記特定搬入点Ｐｄへと移し、この特定搬入点Ｐｄで吸着ノズル８１がワークＷの吸着を解除することにより、特定搬入点Ｐｄに位置するワークカプセル１６にワークＷを搬入する。
【００５４】
上記供給部９５は、ワークＷを一列に所定ピッチで直線的に並べてセットしてなるロッド形状のキャリア９６と、このキャリア９６をその長手方向に間欠的に移動させるキャリア移動機構９７とを有している。
【００５５】
上記キャリア移動機構９７は、キャリア９６にセットされた特定供給点Ｐｃに位置するワークＷが吸着ノズル９１によってキャリア９６から取り出される度に、間欠的にキャリア９６を移動させ、次のワークＷを上記特定供給点Ｐｃに位置させる。
【００５６】
本実施形態では、特定搬出点Ｐａと特定搬入点Ｐｄとの間の角度は、各ホルダ１２におけるワークカプセル１６間の角度の４倍（整数倍）、すなわち２４°である。したがって、上記ホルダ１２の８つの搬出位置のうちの５〜８番目の搬出位置と、上記ホルダ１２の８つの搬入位置のうちの１〜４番目の搬入位置はそれぞれ一致する。換言すれば、ホルダ１２が所定の角度にある時に、このホルダ１２の１群のワークカプセル１６のうち、１つのワークカプセル１６が上記特定搬出点Ｐａに位置するとともに、他のワークカプセル１６が特定搬入点Ｐｄに位置するようになっている。
【００５７】
次に、上記リークテスト装置の概略的な作用を図４を参照しながら説明する。理解を容易にするために、図４では３つのホルダ１２にそれぞれ符号Ｘ，Ｙ，Ｚを付けて識別する。
図４（Ａ）は、リークテスト終了後に３つのホルダ１２Ｘ〜１２Ｚをテーブル本体１１に連結して互いに９０°間隔維持したまま、９０°回動させた直後の状態を示す。この回動により、ホルダ１２Ｘはヘリウムリークテスト位置Ｐ２から１番目の搬出位置Ｐ３に至り、ホルダ１２Ｙはエアリークテスト位置Ｐ１からヘリウムリークテスト位置Ｐ２に至り、ホルダ１２Ｚは準備位置Ｐ５からエアリーク位置Ｐ１に至る。
【００５８】
図４（Ａ）の状態で、ホルダ１２ＸではワークＷの搬出が開始され、ホルダ１２Ｙでヘリウムリークテストが実行され、ホルダ１２Ｚでエアリークテストが実行される。これらリークテストは、後述するようにホルダ１２ＸでワークＷの搬出、搬入が終了し、このホルダ１２Ｘを準備位置まで回動するまでの間、実行することができる。本実施形態ではホルダ１２ＸでのワークＷの搬入が終了した時点まで実行する。
【００５９】
図４（Ａ）の状態で、特定搬出点Ｐａに位置するホルダ１２Ｘの一番目のワークカプセル１６からワークＷが搬出される。
次に、図４（Ｂ）に示すように、上記ホルダ１２Ｙ、１２Ｚでヘリウムリークテスト、エアリークテストを実行している最中に、テーブル本体１１を、ワークカプセル１６間の角度間隔に相当する６°だけ回動させる。この際、ホルダ１２Ｘではテーブル本体１１と連結されているので、テーブル本体１１と一緒に回動するが、ホルダ１２Ｙ、１２Ｚではテーブル本体１１との連結が解除され、支持部材３２と連結されているため、静止状態を維持される。図４（Ｂ）の状態で、特定搬出点Ｐａに位置するホルダ１２Ｘの２番目のワークカプセルからワークＷが搬出される。
【００６０】
上記のように、テーブル本体１１およびホルダ１２Ｘを６°回転して停止する度に特定搬出点Ｐａに位置するホルダ１２Ｘの３番目、４番目のワークカプセルからワークＷを搬出する。
【００６１】
そして、上記テーブル本体１１およびホルダ１２Ｘの４回目の間欠回動を行うと、図４（Ｃ）に示すように、５番目のワークカプセル１６が特定搬出点Ｐａに至る。この時、ホルダ１２Ｘの１番目のワークカプセル１６が上記特定搬出点Ｐａから２４°離れた特定搬入点Ｐｄに達する。したがって、図４（Ｃ）の状態では、５番目のワークカプセル１６からワークＷを搬出し、これと同時に１番目のワークカプセル１６にワークＷを搬入する。
【００６２】
さらに、テーブル本体１１およびホルダ１２Ｘを６°回転して停止する度に、特定搬出点Ｐａに位置するホルダ１２Ｘの６，７，８番目のワークカプセル１６からワークＷを搬出すると同時に特定搬入点Ｐｄに位置する２，３，４番目のワークカプセル１６にワークＷを搬入する。
【００６３】
さらにテーブル本体１１およびホルダ１２Ｘを６°回転させると、特定搬出点Ｐａに位置するワークカプセル１６がなくなり、特定搬入点Ｐｄに５番目のワークカプセル１６が位置される。この状態でこの５番目のワークカプセル１６にワークＷを搬入する。
それ以降は、例えば図４（Ｄ）に示すようにテーブル本体１１およびホルダ１２Ｘを６°回転して停止する度に、搬入点Ｐｄに位置するホルダ１２Ｘの６，７，８番目のワークカプセルにワークＷを搬入する。
【００６４】
そして、図４（Ｅ）に示すように、搬出点Ｐｄに位置する８番目のワークカプセル１６にワークＷを搬入した後、ホルダ１２Ｘを準備位置まで一気に２４°回動させることにより、図４（Ｆ）に示す状態にする。この状態で、準備位置にあるホルダ１２Ｘはエアリークテスト位置にあるホルダ１２Ｚと９０°離れている。
【００６５】
次に、リークテスト位置にあるホルダ１２Ｙ、１２Ｚをテーブル本体１１と連結させて、テーブル本体１１を９０°回動させる。これにより、３つのホルダ１２Ｘ〜１２Ｚが全て９０°回動され、図４（Ａ）と同じ位置関係になる。ただし、ホルダ１２Ｘがエアリークテスト位置Ｐ１になり、ホルダ１２Ｚがヘリウムリークテスト位置Ｐ２になり、ホルダ１２Ｙが第１番目の搬出位置Ｐ３となる。
その後で、ホルダ１２Ｘ、１２Ｚとテーブル本体１１との連結が解除され、前述と同様にしてリークテストが実行される。このリークテストの間に、ホルダ１２ＹでワークＷの搬出と搬入が実行される。
以後、同様の動作を繰り返し実行する。
【００６６】
図３において、ワーク搬出機構８０とワーク搬入機構９０での吸着ノズル８１．９１の移動軌跡の長さが異なっているが、これを等しくしてワーク搬送に要する時間をほぼ等しくするのが好ましい。
【実施例２】
【００６７】
次に、本発明の実施例２について図５を参照しながら説明する。本実施例のリークテスト装置は、１種類のリークテストすなわちエアリークテストしか実行しない。本実施例のインデックステーブル１０は、テーブル本体１１と、２つのホルダ１２Ｘ，１２Ｙを備えている。
本実施例では、エアリークテスト位置Ｐ１と１番目の搬出位置Ｐ３が９０°離れ、準備位置Ｐ５がエアリークテスト位置Ｐ１と９０°離れ、１番目の搬出位置Ｐ３と１８０°離れている。
【００６８】
本実施例のワーク搬出機構８０は実施例１と同様であるから、同番号を付してその詳細な説明を省略する。ワーク搬入機構９０は、実施例１と同様の構成をなす吸着ノズル９１とノズル移動機構９２を有しているが、供給部９５’の構成が実施例１と異なる。この供給部９５’はパーツフィーダからなり、その搬出端が特定供給点Ｐｄとして提供される。
【００６９】
図５は、エアリークテストを終了してテーブル本体１１と２つのホルダ１２Ｘ，１２Ｙを一緒に９０°回動した直後の状態を示す。この状態では、一方のホルダ１２Ｘが１番目の搬出位置Ｐ３にあり、他方のホルダ１２Ｙがエアリークテスト位置Ｐ１にある。この状態で、ホルダ１２Ｙとテーブル本体１１の連結が解除されてエアリークテストが実行される。上記ホルダ１２Ｘは実施例１と同様にテーブル本体１１と一緒に間欠的に所定角度ずつ回動され、ワークカプセル１６が順次特定搬出点Ｐａに位置され、ワーク搬出が行われる。
【００７０】
さらに間欠回動を進めると、１番目のワークカプセル１６が特定搬入点Ｐｄに達し、それ以降は異なるワークカプセル１６でのワーク搬出と搬入が同時に行われる。さらに間欠回動を進めると、特定搬入点Ｐｄに位置するワークカプセル１６へのワーク搬入のみが実行される。この特定搬入点Ｐｄへのワーク搬入が終了した後、ホルダ１２Ｘを想像線で示す準備位置Ｐ５まで一気に回動する。この後、２つのホルダ１２Ｘ，１２Ｙを一緒に９０°回動させ、ホルダ１２Ｘをエアリークテスト位置Ｐ１に、ホルダ１２Ｙを１番目の搬出位置Ｐ３に位置させる。
他の作用は実施例１と同様であるので説明を省略する。
【００７１】
本発明は上記実施例に制約されず、種々の形態を採用可能である。上記実施例では搬出、搬入において１個の吸着ノズルで行っているが、２個の吸着ノズルで２個のワークを同時に搬出、搬入してもよい。この場合、ホルダの間欠回動角度は、隣接するワークカプセルの離間角度の２倍となる。また、特定搬出点、特定搬入点、特定回収点、特定供給点も２つずつとなる。
【００７２】
間欠回動によるホルダの最後の搬入位置が準備位置と一致していてもよい。
実施例１において、実施例２と同様のパーツフィーダを用いてもよい。この場合、ヘリウムボンビングを済ませたワークをパーツフィーダに供給しておく。
実施例１において、キャリアをロッド形状にし、このキャリ・BR>Aにワークをセットした状態でヘリウムボンビングを行うようにしているが、キャリアは矩形のパレット状にしてもよい。この場合、キャリアは２次元的に移動される。
連結機構はテーブル本体に設けてもよい。また、連結制御手段の全ての構成要素をホルダに設けてもよい。
【００７３】
ワーク搬出機構、ワーク搬入機構の吸着ノズルの数を各ホルダのワークカプセルの数と同数とし、それぞれ１度にワーク搬出とワーク搬入を行ってもよい。この場合、ホルダは１つの搬出位置から１つの搬入位置へと搬出される。
【００７４】
ワーク搬出と搬入のための構成は、独立せずに一部構成要素を兼用してもよい。この場合、特定点でワークの搬出と搬入が行われるが、ホルダを間欠回動させることにより、本発明の利益を得ることができる。すなわち、ワーク搬出・搬入手段の吸着ノズルの数を１つまたは２つにすることができ、構成を簡略化することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明の装置は、特に小形のワークのエアリークテストやヘリウムリークテストを実行するのに適している。
【符号の説明】
【００７６】
２ 回転軸線
１０ インデックステーブル
１１ テーブル本体
１２ ホルダ
１６ ワークカプセル
２０ モータ（回転駆動手段）
３０ ガイド機構
３３ レール
３４ スライダ
４０ 連結機構（連結制御手段）
４２ 係合シャフト
４３ コイルスプリング（付勢手段）
４５ 第１係合穴
４６ 第２係合穴
５０ 解除機構（連結制御手段）
５１ エアシリンダ５１（駆動手段）
５２ 作動部材
６０ エアリークテスト機構（第１リークテスト手段）
７０ ヘリウムリークテスト機構（第２リークテスト手段）
８０ ワーク搬出機構（ワーク搬出・搬入手段）
８１ 吸着ノズル（第１吸着ノズル）
８２ ノズル移動機構（第１移動手段）
８５ 回収部
９０ ワーク搬入機構（ワーク搬出・搬入手段）
９１ 吸着ノズル（第２吸着ノズル）
９２ ノズル移動機構（第２移動手段）
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの漏れを検出するためのリークテスト装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
回転式のインデックステーブルを用いてリークテストを実行する装置は公知である。
例えば特許文献１の図１１に開示されているリークテスト装置では、インデックステーブル上において、４つの群（複数群）のワークカプセルが周方向に９０°間隔で配置されている。各群は、複数例えば４つのワークカプセルを含んでいる。
【０００３】
上記インデックステーブルはモータにより９０°で間欠的に回転される。これにより各群のワークカプセルをエアリークテスト位置、ヘリウムリークテスト位置、搬出・搬入位置、待機位置へと順々に移動させる。
各群のワークカプセルが搬出・搬入位置にある時、テスト済のワークがワークカプセルから回収部へと搬出され、新たなワークが供給部からワークカプセルへ搬入される。
【０００４】
なお、特許文献１における待機位置を無くし、搬出・搬入位置を分離した装置も公知である。この場合、各群のワークカプセルは、搬出位置でのワーク搬出と、搬入位置でのワーク搬入が独立して実行される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−１２１４８１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記公知のリークテストでは、複数群のワークカプセルの相対的位置が固定関係にあるため、ある群のワークカプセルがリークテストを受けている際、他の群のワークカプセルも所定位置に静止したままであり、この静止位置でワーク搬出やワーク搬入を受けなければならない。そのため、装置の構造を改良する上で障害となることがあった。理解を容易にするために、具体例を挙げて説明する。
【０００７】
上記のように２種のリークテストを同時に実行するとともに、ワーク搬出とワーク搬入を周方向にずらした位置で独立して行う装置においては、インデックステーブルに４つのワークカプセル群を等間隔で配置しなければならない。また、１種のリークテストを実行するとともに、ワーク搬出とワーク搬入を周方向にずらした位置で独立して行う装置では、インデックステーブルに３つのワークカプセル群を等角度間隔で配置しなければならない。そのため、上記装置においてワークカプセル群の数を減らすことはできなかった。
【０００８】
また、ワークの搬出、搬入を行うためには、各群のワークカプセルの数と同数の吸着ノズル等を用意し、一度に搬出、搬入を行うのが一般的である。この吸着ノズルの数を減らして複数回に分けて搬出、搬入を行おうとすれば、静止状態のワークカプセルの位置が異なるため複雑なノズル移動機構を必要とする。そのため、吸着ノズルの数を減らすことができなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、（ア）インデックステーブルと、（イ）インデックステーブル上において、周方向に複数群に分かれて配置され、各群が複数の所定数からなるワークカプセルと、（ウ）上記インデックステーブルを回転軸線を中心として回転駆動させることにより、各群のワークカプセルを、少なくとも１つのテスト位置と、非テスト位置に、順に繰り返し位置させる回転駆動手段と、（エ）上記テスト位置にある１群のワークカプセルに収容されたワークに対して、ワークカプセルを密閉した状態で一度にリークテストを実行するリークテスト手段と、（オ）上記非テスト位置にあるワークカプセル群からインデックステーブル外の回収部へとリークテスト済のワークを搬出するとともに、非テスト位置にあるワークカプセル群にインデックステーブル外の供給部から新しいワークを搬入するワーク搬出・搬入手段と、を備えたリークテスト装置において、上記インデックステーブルは、上記回転駆動手段により回転駆動されるテーブル本体と、このテーブル本体と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダとを有し、各ホルダに上記ワークカプセルが１群ずつ配置され、さらに連結制御手段を備え、この連結制御手段は、上記複数のホルダを上記テーブル本体に対して選択的に連結したり連結解除し、上記テスト位置にあるホルダをテーブル本体に対して連結解除するとともに上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体に連結することにより、上記テスト位置にあるホルダを静止させたままで上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体と一緒に回動可能にすることを特徴とする。
上記構成によれば、ある群のワークカプセルがリークテストを受けている際、他の群のワークカプセルを移動させることができるので、ワーク搬出、搬入に便宜を図ることができ、構造上の種々の改良が可能となる。
【００１０】
好ましくは、さらにガイド機構を備え、このガイド機構は、上記ホルダを支持するとともに、上記回転軸線を中心とする円の軌跡に沿って案内する。
この構成によれば、上記テーブル本体はホルダに対して回動のみを負担すればよく、ホルダを安定して回動させることができる。
【００１１】
好ましくは、上記ガイド機構が、上記回転軸線を中心とする円環形状のレールと、各ホルダに設けられこのレールに沿って走行するスライダとを有する。
この構成によれば、比較的簡単な構造でホルダの支持及び案内を行うことができる。
【００１２】
好ましくは、上記連結制御手段は、上記ホルダ毎に設けられた連結機構と、テスト位置に対応して設けられた解除機構とを備え、上記連結機構は、上記テーブル本体に形成された第１係合穴に対して挿入離脱される係合シャフトと、この係合シャフトを第１係合穴への挿入位置に向かって付勢する付勢手段とを有し、この係合シャフトの第１係合穴への挿入により、上記ホルダとテーブル本体との連結が得られるようになっており、上記解除機構は、通常時には係合シャフトと干渉しない位置にある作動部材と、この作動部材を移動させて係合シャフトに係合させるとともにこの係合シャフトを上記第１係合穴から離脱させる駆動手段とを有する。
この構成によれば、連結機構と解除機構を分けたことにより、ホルダや回転テーブルに駆動手段を装備せずに済む。
【００１３】
好ましくは、上記テーブル本体に対向して支持部材が固定位置に配置され、この支持部材に第２係合穴が形成されており、上記係合シャフトは上記第１係合穴から離脱した時に上記第２係合穴に挿入される。
この構成によれば、テスト位置のホルダの静止状態を安定して維持できる。
【００１４】
好ましくは、上記回転駆動手段は、上記非テスト位置のホルダを、リークテストの最中に、少なくとも１つの搬出位置から少なくとも１つの搬入位置へと回動させ、上記ワーク搬出・搬入手段は、上記搬出位置にあるホルダのワークカプセル群から上記回収部へワークを搬出するワーク搬出機構と、上記供給部から上記搬入位置にあるホルダのワークカプセル群へワークを搬入するワーク搬入機構とを有する。
この構成によれば、ワークの搬出と搬入を位置をずらして独立した機構で行う装置において、ワークカプセル群の数を減らすことができる。
【００１５】
好ましくは、全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第１角度ずつ離れて配置され、上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬出位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬出点に順に位置させるようにし、上記ワーク搬出機構は、上記整数に相当する数の第１吸着ノズルと、この第１吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第１移動手段とを有し、上記特定搬出点にあるワークカプセル内のワークを上記第１吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記回収部の特定回収点で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダからのワークの搬出を完了する。
この構成によれば、ワーク搬出手段の第１吸着ノズルの数を減らすことができ、しかも第１吸着ノズルの移動軌跡がワークカプセル毎に同じであるので第１移動手段の構成および制御を簡略化することができる。
【００１６】
好ましくは、さらに上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬入位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬入点に順に位置させるようにし、上記ワーク搬入機構は、上記整数に相当する数の第２吸着ノズルと、この第２吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第２移動手段とを有し、上記供給部の特定供給点にあるワークを上記第２吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記特定搬入点にあるワークカプセル上で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダへのワークの搬入を完了する。
この構成によれば、ワーク搬入手段の第２吸着ノズルの数を減らすことができ、しかも第２吸着ノズルの移動軌跡がワークカプセル毎に同じであるので第２移動手段の構成および制御を簡略化することができる。
【００１７】
好ましくは、上記ホルダは、所定の角度にある時に、上記搬出位置の１つに位置するとともに上記複数の搬入位置の１つに位置し、これにより、上記ホルダの１群のワークカプセルのうち、上記整数に相当する数のワークカプセルが上記特定搬出点に位置するとともに、上記整数に相当する数の他のワークカプセルが上記特定搬入点に位置し、上記ワーク搬出機構によるワーク搬出と上記ワーク搬入機構によるワーク搬入が同時に行われる。
上記構成によれば、ワーク搬出期間と、ワーク搬入期間が一部重なるので、ワークの搬出、搬入に要する時間を短縮できる。
【００１８】
好ましくは、上記整数が１または２である。これによれば、第１、第２吸着ノズルの数がそれぞれ１つまたは２つで済む。
【００１９】
１の態様では、上記複数のホルダが３つのホルダを含み、上記少なくとも１つのテスト位置は、第１テスト位置と第２テスト位置とを含み、さらに準備位置が設定され、上記準備位置と、第１テスト位置と、第２テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第２角度ずつ離れており、上記回転駆動手段は、第１，第２テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、リークテストが終了した後、上記連結制御手段が第１テスト位置および第２テスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回動制御手段が全てのホルダを上記第２角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダを第１テスト位置へ、第１テスト位置にあるホルダを第２テスト位置へ、第２テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させる。
上記構成によれば、２種のリークテストを行う場合において、ホルダの数、ひいてはワークカプセル群の数を３つに減らすことができる。しかも、リークテスト終了後のワークカプセル群の再配置を迅速に行うことができる。
【００２０】
他の態様では、上記複数のホルダが２つのホルダを含み、上記少なくとも１つのテスト位置は、単一のテスト位置を含み、さらに準備位置が設定され、上記準備位置と、テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第２角度ずつ離れており、上記回転駆動手段は、テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、リークテストが終了した後、上記連結制御手段がテスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回動制御手段が全てのホルダを上記第２角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダをテスト位置へ、テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させる。
上記構成によれば、１種のリークテストを行う場合において、ホルダの数、ひいてはワークカプセル群の数を２つにすることができる。しかも、リークテスト終了後のワークカプセル群の再配置を迅速に行うことができる。
【００２１】
好ましくは、全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第１角度ずつ離れて配置され、上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の位置で停止させることにより、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定点に順に位置させ、この特定点においてワーク搬出・搬入手段によるワークの搬出、搬入を行うことを特徴とする。
この構成によれば、ワーク搬出・搬入手段の構造を簡単にすることができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、複数のカークカプセル群の相対位置を可変にできるので、ワーク搬出、搬入の便宜を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施例１をなすリークテスト装置を一部断面にして示す側面図である。
【図２】同リークテスト装置のインデックステーブルを示す平面図である。
【図３】同リークテスト装置のワーク搬出機構およびワーク搬入機構をインデックステーブルとともに概略的に示す平面図である。
【図４】同リークテスト装置のホルダの位置を時系列で概略的に示す平面図である。
【図５】本発明の実施例２をなすリークテスト装置を概略的に示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【実施例１】
【００２４】
以下、本発明の実施例１について図１〜図４を参照しながら説明する。図１に示すように、本実施例のリークテスト装置は、基台１上に設置されており、水平に配置されたインデックステーブル１０と、このインデックステーブル１０を垂直をなす回転軸線２を中心にして回転させるモータ２０（回転駆動手段）とを備えている。
【００２５】
図１、図２に示すように、上記インデックステーブル１０は、モータ２０に直結されたテーブル本体１１と、このテーブル本体１１と別体をなす３つ（複数）の板形状のホルダ１２とを備えている。各ホルダ１２はテーブル本体１１の下側に配置され、上から見た時ホルダ１２の内縁部とテーブル本体１１の外縁部が重なっている。
【００２６】
図１，図２に示すように、各ホルダ１２はガイド機構３０により支持され、上記回転軸線２を中心とする円形軌跡に沿って案内されるようになっている。詳述すると、ガイド機構３０は基台１に立設された複数の支柱３１と、この支柱３１の上端に固定された円環状の支持部材３２と、この支持部材３２の上面に固定された円環状のレール３３と、上記ホルダ１２の下面に固定されるとともに上記レール３３に沿って走行するスライダ３４とを有している。
【００２７】
図２に示すように、各ホルダ１２の外縁部には、８つ（複数）の昇降体１５が設けられている。全ての（すなわち２４個の）昇降体１５は上記回転軸線２を中心とした円上に配置されており、各ホルダ１２において８つの昇降体１５は例えば６°（第１角度）ずつ離れて配置されている。
【００２８】
上記昇降体１５は公知なので図１を参照しながら簡単に説明すると、ホルダ１２の外縁部を垂直に移動可能に貫通するシャフト１５ａと、このシャフト１５ａの上端に固定された保持部１５ｂとを有しており、図示しないバネにより下方に付勢されている。
図２に示すように、保持部１５ｂの上面には凹部すなわちワークカプセル１６が形成されており、ワークＷが収容されるようになっている。なお、保持部１５ｂの上面にはワークカプセル１６を囲むＯリング１７が設けられている。
【００２９】
図１に示すように、各ホルダ１２の内縁部には、連結機構４０が設けられている。この連結機構４０は、ホルダ１２の下面に固定されたＬ形ブラケット４１と、垂直をなす係合シャフト４２とを有している。この係合シャフト４２の上端部がホルダ１２の内縁部に形成された支持穴１２ａに挿通され、その下端部がブラケット４１の水平片部に形成された支持穴４１ａに挿通され、これにより係合シャフト４２は垂直方向に移動可能に支持されている。
【００３０】
上記係合シャフト４２はコイルスプリング４３（付勢手段）により常に上方に付勢されており、この係合シャフト４１の上端部近傍に設けられたストッパ４４がホルダ１２の下面に当たることにより、係合シャフト４２の上限位置が決定されている。
【００３１】
上述したように係合シャフト４２が上限位置にある時、係合シャフト４２の上端部はテーブル本体１１の外縁部に形成された第１係合穴４５に挿入され、これにより、ホルダ１２はテーブル本体１１と連結状態となり、テーブル本体１１と一緒に回動できるようになっている。
【００３２】
上記係合シャフト４２の第１係合穴４５への挿入状態は、後述するエアリークテスト位置Ｐ１（第１テスト位置）及びヘリウムリークテスト位置Ｐ２（第２テスト位置）にそれぞれ配置された解除機構５０（図２参照）によって、解除されるようになっている。
【００３３】
上記解除機構５０は、支柱３１に固定されたエアシリンダ５１（駆動手段）と、このエアシリンダ５１のロッド上端に固定された作動部材５２とを有している。この作動部材５２の上端の爪部５２ａは、上記連結機構４０のストッパ４４（係合部）の上方に配置されている。
【００３４】
上記エアシリンダ５１が第１位置にある時、作動部材５２の爪部５２ａはストッパ４４から離れた非干渉位置にあり、これにより係合シャフト４２は上限位置にあって第１係合穴４５に係合している。
エアシリンダ５１が作動して第２位置になると、作動部材５２が下降して上記ストッパ４４に当たり、係合シャフト４２をコイルバネ４３に抗して押し下げる。これにより、係合シャフト４２の上端部と第１係合穴４５との係合が解除され、これにより、テーブル本体１１が回動してもホルダ１２は一緒に回動せず、静止状態を維持される。
上記３つの連結機構４０と上記２つの解除機構５０は協働して、３つのホルダ１２をテーブル本体１１に対して選択的に連結、連結解除するための連結制御手段を構成している。
【００３５】
本実施例では、ガイド機構３０の支持部材３２に鍔部が形成されている。この鍔部は上記連結機構４０のブラケット４１の水平片部に対向しており、第２係合穴４６を有している。上記係合シャフト４２が下降して第１係合穴４５への挿入状態を解除された時に、係合シャフト４２の下端部が上記第２係合穴４６に挿入され、これによりホルダ１２の静止状態がより一層確実に維持できるようになっている。
【００３６】
上記モータ２０は上記解除機構５０とともに図示しないコントローラによりシーケンス制御され、上記ホルダ１２を図２、図３、図４（Ａ）に示すように、エアリークテスト位置Ｐ１、ヘリウムリークテスト位置Ｐ２、搬出位置Ｐ３、搬入位置Ｐ４、準備位置Ｐ５と順に位置させる。
【００３７】
後述するように、ホルダ１２は６°（第１角度）ずつ間欠回動されることにより、ワークカプセル１６と同数の８つの搬出位置Ｐ３で停止し、８つの搬入位置Ｐ４で停止するが、１番目の搬出位置、搬入位置をそれぞれＰ３、Ｐ４で示す。エアリークテスト位置Ｐ１、ヘリウムリークテスト位置Ｐ２、最初の搬出位置Ｐ３、準備位置Ｐ５は、互いに９０°（第２角度）離れている。
【００３８】
図３に示すように、上記エアリークテスト位置Ｐ１に対応してエアリークテスト機構６０（第１リークテスト手段）が配置され、ヘリウムリークテスト位置Ｐ２に対応してヘリウムリークテスト機構７０（第２リークテスト手段）が配置され、搬出位置Ｐ３に対応してワーク搬出機構８０が配置され、搬入位置Ｐ４に対応してワーク搬入機構９０が配置されている。これら搬出機構８０と搬入機構９０により、ワーク搬入・搬出手段が構成される。
【００３９】
上述したように、エアリークテスト機構６０とヘリウムリークテスト機構７０は実際には周方向にほぼ９０°離れている（図３参照）が、図１では両リークテスト機構６０，７０の構造を示すために、便宜上１８０°離して示している。
【００４０】
図１に示すように、上記エアリークテスト機構６０は、基台１に設置された支持台６１と、この支持台６１に支持されたマスタ用昇降体６２とを有している。この昇降体６２は、上述したワーク用昇降体１５と同様の構成で同数配置されている。昇降体６２にはワークカプセル１６と同容積のマスタカプセル６３が形成されており、このマスタカプセル６３にはマスタ品Ｍ（すなわち良品と確認されたワーク）が収容されている。
【００４１】
上記ホルダ１２がエアリークテスト位置にある時、８つのワーク用昇降体１５が８つのマスタ用昇降体６２と１対１に対応した位置（径方向の内側と外側）にある。
【００４２】
図１に示すように、上記エアリークテスト機構６０は、さらに上記昇降体１５、６２の上方に位置する通路ブロック６４と、この通路ブロック６４に装着された差圧センサおよび各種弁と、押し上げ機構６５とを有している。
【００４３】
上記通路ブロック６４は図示しない支柱等を介して上記基台１または固定系に固定されている。
上記押し上げ機構６５は、エアシリンダ６５ａと、このエアシリンダ６５ａによって昇降する押し上げ部材６５ｂとを有している。通常、押し上げ部材６５ｂは上記昇降体１５、６２の下方に離れて位置している。エアリークテストを開始する際には、エアシリンダ６５ａを作動させて押し上げ部材６５ｂを上昇させ、昇降体１５、６２を押し上げる。これにより、ワークカプセル１６、マスタカプセル６３を通路ブロック６４の受部６４ａ，６４ｂでそれぞれ密閉する。
【００４４】
上記通路ブロック６４にはエア通路が形成され、このエア通路の分岐路の末端が上記受部６４ａ，６４ｂに開口している。上記エア通路から加圧エアを搬入し、各分岐路を遮断し、分岐路間の差圧すなわちワークカプセル１６、マスタカプセル６３間の差圧を差圧センサで検出することにより、ワークＷの傷等による漏れを判定するようになっている。このエアリークテストは周知であるので、これ以上の説明を省略する。
【００４５】
図１に示すように、上記ヘリウムリークテスト機構７０は、支柱７１等を介して基台１に固定された通路ブロック７２と、この通路ブロック７２に接続されたヘリウムディテクタ、真空ポンプおよび必要な弁等（いずれも図示せず）を有している。この通路ブロック７２は、ヘリウムリークテスト位置にあるホルダ１２の昇降体１５の真上に位置する受部７２ａを有している。各受部７２ａには上記ヘリウムディテクタや真空ポンプにそれぞれ連なるヘリウム通路の末端が開口している。
【００４６】
上記ヘリウムリークテスト機構７０はさらに押し上げ機構７５を有している。この押し上げ機構７５は、エアシリンダ７５ａとこのエアシリンダ７５ａによって昇降する押し上げ部材７５ｂとを有している。通常、押し上げ部材７５ｂは上記昇降体１５の下方に離れて位置している。ヘリウムリークテストを開始する際には、エアシリンダ７５ａを作動させて押し上げ部材７５ｂを上昇させることにより、昇降体１５を押し上げ、ワークカプセル１６を通路ブロック７２の受部７２ａで密閉する。この状態で真空ポンプを駆動しヘリウム通路を介してワークカプセル１６を真空にし、ワークＷから漏れる微量のヘリウムを、ヘリウム通路を介してヘリウムディテクタにより検出し、ワークＷの微小な傷等による漏れを判定するようになっている。このヘリウムリークテストは周知であるので、これ以上の説明を省略する。
【００４７】
図３に示すように、ワーク搬出機構８０は、吸着ノズル８１（第１吸着ノズル）と、この吸着ノズル８１を所定軌跡に沿って往復移動させるノズル移動機構８２（第１移動手段）と、回収部８５とを備えている。なお、吸着ノズル８１は実際には垂直をなしているが、図３では見やすいように水平に描いている。
【００４８】
上記回収部８５は、回収ボックス８６と、この回収ボックス８６を直線移動させるボックス移動機構８７とを有している。上記回収ボックス８６は、良品収容のための室８６ａと不良品収容のための室８６ｂとを有している。本実施形態では、室８６ｂは、さらに計測不可、エアリーク漏れ、ヘリウムリーク漏れのワークを分離収容するために３つに分かれている。
【００４９】
上記ノズル移動機構８２は、単一のモータ８２ａとカム機構８２ｂ（図３で模式的に示す）とを有し、吸着ノズル８１を、上に凸の湾曲軌跡（所定軌跡）を描くようにして、特定搬出点Ｐａと特定回収点Ｐｂとの間で往復動させるようになっている。
【００５０】
上記ホルダ１２が最初の搬出位置Ｐ３にある時に、１番目のワークカプセル１６が上記特定搬出点Ｐａに位置するようになっている。
上記吸着ノズル８１が上記特定搬出点Ｐａに位置するワークカプセル１６からワークＷを吸着した後、上記ノズル移動機構８２が吸着ノズル８１を上記湾曲軌跡を経て上記特定回収点Ｐｂへと移し、この特定回収点Ｐｂで吸着ノズル８１がワークＷの吸着を解除して、ワークＷを落下させる。ボックス移動機構８７は、漏れの有無の判定結果に基づいて回収ボックス８６を移動させ、良品判定の場合はワークＷの落下地点（特定回収点Ｐｂ）に室８６ａを位置させ、不良品判定の場合は室８６ｂを位置させる。
【００５１】
上記ワーク搬入機構９０は、垂直をなす吸着ノズル９１（第２吸着ノズル。図３では水平に描かれている）と、この吸着ノズル９１を所定軌跡に沿って往復動させるノズル移動機構９２（第２移動手段）と、供給部９５とを備えている。
【００５２】
上記ノズル移動機構９２は、単一のモータ９２ａとカム機構９２ｂ（図３で模式的に示す）とを有し、吸着ノズル９１を上に凸の湾曲軌跡（所定軌跡）を描くようにして特定供給点Ｐｃと特定搬入点Ｐｄとの間で往復動させるようになっている。
【００５３】
上記ホルダ１２が最初の搬入位置Ｐ４にある時に、１番目のワークカプセル１６が上記特定搬入点Ｐｄに位置するようになっている。
上記吸着ノズル９１が上記特定供給点Ｐｃに位置するワークＷを吸着した後、上記ノズル移動機構９２が吸着ノズル８１を上記湾曲軌跡を経て上記特定搬入点Ｐｄへと移し、この特定搬入点Ｐｄで吸着ノズル８１がワークＷの吸着を解除することにより、特定搬入点Ｐｄに位置するワークカプセル１６にワークＷを搬入する。
【００５４】
上記供給部９５は、ワークＷを一列に所定ピッチで直線的に並べてセットしてなるロッド形状のキャリア９６と、このキャリア９６をその長手方向に間欠的に移動させるキャリア移動機構９７とを有している。
【００５５】
上記キャリア移動機構９７は、キャリア９６にセットされた特定供給点Ｐｃに位置するワークＷが吸着ノズル９１によってキャリア９６から取り出される度に、間欠的にキャリア９６を移動させ、次のワークＷを上記特定供給点Ｐｃに位置させる。
【００５６】
本実施形態では、特定搬出点Ｐａと特定搬入点Ｐｄとの間の角度は、各ホルダ１２におけるワークカプセル１６間の角度の４倍（整数倍）、すなわち２４°である。したがって、上記ホルダ１２の８つの搬出位置のうちの５〜８番目の搬出位置と、上記ホルダ１２の８つの搬入位置のうちの１〜４番目の搬入位置はそれぞれ一致する。換言すれば、ホルダ１２が所定の角度にある時に、このホルダ１２の１群のワークカプセル１６のうち、１つのワークカプセル１６が上記特定搬出点Ｐａに位置するとともに、他のワークカプセル１６が特定搬入点Ｐｄに位置するようになっている。
【００５７】
次に、上記リークテスト装置の概略的な作用を図４を参照しながら説明する。理解を容易にするために、図４では３つのホルダ１２にそれぞれ符号Ｘ，Ｙ，Ｚを付けて識別する。
図４（Ａ）は、リークテスト終了後に３つのホルダ１２Ｘ〜１２Ｚをテーブル本体１１に連結して互いに９０°間隔維持したまま、９０°回動させた直後の状態を示す。この回動により、ホルダ１２Ｘはヘリウムリークテスト位置Ｐ２から１番目の搬出位置Ｐ３に至り、ホルダ１２Ｙはエアリークテスト位置Ｐ１からヘリウムリークテスト位置Ｐ２に至り、ホルダ１２Ｚは準備位置Ｐ５からエアリーク位置Ｐ１に至る。
【００５８】
図４（Ａ）の状態で、ホルダ１２ＸではワークＷの搬出が開始され、ホルダ１２Ｙでヘリウムリークテストが実行され、ホルダ１２Ｚでエアリークテストが実行される。これらリークテストは、後述するようにホルダ１２ＸでワークＷの搬出、搬入が終了し、このホルダ１２Ｘを準備位置まで回動するまでの間、実行することができる。本実施形態ではホルダ１２ＸでのワークＷの搬入が終了した時点まで実行する。
【００５９】
図４（Ａ）の状態で、特定搬出点Ｐａに位置するホルダ１２Ｘの一番目のワークカプセル１６からワークＷが搬出される。
次に、図４（Ｂ）に示すように、上記ホルダ１２Ｙ、１２Ｚでヘリウムリークテスト、エアリークテストを実行している最中に、テーブル本体１１を、ワークカプセル１６間の角度間隔に相当する６°だけ回動させる。この際、ホルダ１２Ｘではテーブル本体１１と連結されているので、テーブル本体１１と一緒に回動するが、ホルダ１２Ｙ、１２Ｚではテーブル本体１１との連結が解除され、支持部材３２と連結されているため、静止状態を維持される。図４（Ｂ）の状態で、特定搬出点Ｐａに位置するホルダ１２Ｘの２番目のワークカプセルからワークＷが搬出される。
【００６０】
上記のように、テーブル本体１１およびホルダ１２Ｘを６°回転して停止する度に特定搬出点Ｐａに位置するホルダ１２Ｘの３番目、４番目のワークカプセルからワークＷを搬出する。
【００６１】
そして、上記テーブル本体１１およびホルダ１２Ｘの４回目の間欠回動を行うと、図４（Ｃ）に示すように、５番目のワークカプセル１６が特定搬出点Ｐａに至る。この時、ホルダ１２Ｘの１番目のワークカプセル１６が上記特定搬出点Ｐａから２４°離れた特定搬入点Ｐｄに達する。したがって、図４（Ｃ）の状態では、５番目のワークカプセル１６からワークＷを搬出し、これと同時に１番目のワークカプセル１６にワークＷを搬入する。
【００６２】
さらに、テーブル本体１１およびホルダ１２Ｘを６°回転して停止する度に、特定搬出点Ｐａに位置するホルダ１２Ｘの６，７，８番目のワークカプセル１６からワークＷを搬出すると同時に特定搬入点Ｐｄに位置する２，３，４番目のワークカプセル１６にワークＷを搬入する。
【００６３】
さらにテーブル本体１１およびホルダ１２Ｘを６°回転させると、特定搬出点Ｐａに位置するワークカプセル１６がなくなり、特定搬入点Ｐｄに５番目のワークカプセル１６が位置される。この状態でこの５番目のワークカプセル１６にワークＷを搬入する。
それ以降は、例えば図４（Ｄ）に示すようにテーブル本体１１およびホルダ１２Ｘを６°回転して停止する度に、搬入点Ｐｄに位置するホルダ１２Ｘの６，７，８番目のワークカプセルにワークＷを搬入する。
【００６４】
そして、図４（Ｅ）に示すように、搬出点Ｐｄに位置する８番目のワークカプセル１６にワークＷを搬入した後、ホルダ１２Ｘを準備位置まで一気に２４°回動させることにより、図４（Ｆ）に示す状態にする。この状態で、準備位置にあるホルダ１２Ｘはエアリークテスト位置にあるホルダ１２Ｚと９０°離れている。
【００６５】
次に、リークテスト位置にあるホルダ１２Ｙ、１２Ｚをテーブル本体１１と連結させて、テーブル本体１１を９０°回動させる。これにより、３つのホルダ１２Ｘ〜１２Ｚが全て９０°回動され、図４（Ａ）と同じ位置関係になる。ただし、ホルダ１２Ｘがエアリークテスト位置Ｐ１になり、ホルダ１２Ｚがヘリウムリークテスト位置Ｐ２になり、ホルダ１２Ｙが第１番目の搬出位置Ｐ３となる。
その後で、ホルダ１２Ｘ、１２Ｚとテーブル本体１１との連結が解除され、前述と同様にしてリークテストが実行される。このリークテストの間に、ホルダ１２ＹでワークＷの搬出と搬入が実行される。
以後、同様の動作を繰り返し実行する。
【００６６】
図３において、ワーク搬出機構８０とワーク搬入機構９０での吸着ノズル８１．９１の移動軌跡の長さが異なっているが、これを等しくしてワーク搬送に要する時間をほぼ等しくするのが好ましい。
【実施例２】
【００６７】
次に、本発明の実施例２について図５を参照しながら説明する。本実施例のリークテスト装置は、１種類のリークテストすなわちエアリークテストしか実行しない。本実施例のインデックステーブル１０は、テーブル本体１１と、２つのホルダ１２Ｘ，１２Ｙを備えている。
本実施例では、エアリークテスト位置Ｐ１と１番目の搬出位置Ｐ３が９０°離れ、準備位置Ｐ５がエアリークテスト位置Ｐ１と９０°離れ、１番目の搬出位置Ｐ３と１８０°離れている。
【００６８】
本実施例のワーク搬出機構８０は実施例１と同様であるから、同番号を付してその詳細な説明を省略する。ワーク搬入機構９０は、実施例１と同様の構成をなす吸着ノズル９１とノズル移動機構９２を有しているが、供給部９５’の構成が実施例１と異なる。この供給部９５’はパーツフィーダからなり、その搬出端が特定供給点Ｐｄとして提供される。
【００６９】
図５は、エアリークテストを終了してテーブル本体１１と２つのホルダ１２Ｘ，１２Ｙを一緒に９０°回動した直後の状態を示す。この状態では、一方のホルダ１２Ｘが１番目の搬出位置Ｐ３にあり、他方のホルダ１２Ｙがエアリークテスト位置Ｐ１にある。この状態で、ホルダ１２Ｙとテーブル本体１１の連結が解除されてエアリークテストが実行される。上記ホルダ１２Ｘは実施例１と同様にテーブル本体１１と一緒に間欠的に所定角度ずつ回動され、ワークカプセル１６が順次特定搬出点Ｐａに位置され、ワーク搬出が行われる。
【００７０】
さらに間欠回動を進めると、１番目のワークカプセル１６が特定搬入点Ｐｄに達し、それ以降は異なるワークカプセル１６でのワーク搬出と搬入が同時に行われる。さらに間欠回動を進めると、特定搬入点Ｐｄに位置するワークカプセル１６へのワーク搬入のみが実行される。この特定搬入点Ｐｄへのワーク搬入が終了した後、ホルダ１２Ｘを想像線で示す準備位置Ｐ５まで一気に回動する。この後、２つのホルダ１２Ｘ，１２Ｙを一緒に９０°回動させ、ホルダ１２Ｘをエアリークテスト位置Ｐ１に、ホルダ１２Ｙを１番目の搬出位置Ｐ３に位置させる。
他の作用は実施例１と同様であるので説明を省略する。
【００７１】
本発明は上記実施例に制約されず、種々の形態を採用可能である。上記実施例では搬出、搬入において１個の吸着ノズルで行っているが、２個の吸着ノズルで２個のワークを同時に搬出、搬入してもよい。この場合、ホルダの間欠回動角度は、隣接するワークカプセルの離間角度の２倍となる。また、特定搬出点、特定搬入点、特定回収点、特定供給点も２つずつとなる。
【００７２】
間欠回動によるホルダの最後の搬入位置が準備位置と一致していてもよい。
実施例１において、実施例２と同様のパーツフィーダを用いてもよい。この場合、ヘリウムボンビングを済ませたワークをパーツフィーダに供給しておく。
実施例１において、キャリアをロッド形状にし、このキャリ・BR>Aにワークをセットした状態でヘリウムボンビングを行うようにしているが、キャリアは矩形のパレット状にしてもよい。この場合、キャリアは２次元的に移動される。
連結機構はテーブル本体に設けてもよい。また、連結制御手段の全ての構成要素をホルダに設けてもよい。
【００７３】
ワーク搬出機構、ワーク搬入機構の吸着ノズルの数を各ホルダのワークカプセルの数と同数とし、それぞれ１度にワーク搬出とワーク搬入を行ってもよい。この場合、ホルダは１つの搬出位置から１つの搬入位置へと搬出される。
【００７４】
ワーク搬出と搬入のための構成は、独立せずに一部構成要素を兼用してもよい。この場合、特定点でワークの搬出と搬入が行われるが、ホルダを間欠回動させることにより、本発明の利益を得ることができる。すなわち、ワーク搬出・搬入手段の吸着ノズルの数を１つまたは２つにすることができ、構成を簡略化することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７５】
本発明の装置は、特に小形のワークのエアリークテストやヘリウムリークテストを実行するのに適している。
【符号の説明】
【００７６】
２ 回転軸線
１０ インデックステーブル
１１ テーブル本体
１２ ホルダ
１６ ワークカプセル
２０ モータ（回転駆動手段）
３０ ガイド機構
３３ レール
３４ スライダ
４０ 連結機構（連結制御手段）
４２ 係合シャフト
４３ コイルスプリング（付勢手段）
４５ 第１係合穴
４６ 第２係合穴
５０ 解除機構（連結制御手段）
５１ エアシリンダ５１（駆動手段）
５２ 作動部材
６０ エアリークテスト機構（第１リークテスト手段）
７０ ヘリウムリークテスト機構（第２リークテスト手段）
８０ ワーク搬出機構（ワーク搬出・搬入手段）
８１ 吸着ノズル（第１吸着ノズル）
８２ ノズル移動機構（第１移動手段）
８５ 回収部
９０ ワーク搬入機構（ワーク搬出・搬入手段）
９１ 吸着ノズル（第２吸着ノズル）
９２ ノズル移動機構（第２移動手段）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ア）インデックステーブルと、
（イ）インデックステーブル上において、周方向に複数群に分かれて配置され、各群が複数の所定数からなるワークカプセルと、
（ウ）上記インデックステーブルを回転軸線を中心として回転駆動させることにより、各群のワークカプセルを、少なくとも１つのテスト位置と、非テスト位置に、順に繰り返し位置させる回転駆動手段と、
（エ）上記テスト位置にある１群のワークカプセルに収容されたワークに対して、ワークカプセルを密閉した状態で一度にリークテストを実行するリークテスト手段と、
（オ）上記非テスト位置にあるワークカプセル群からインデックステーブル外の回収部へとリークテスト済のワークを搬出するとともに、非テスト位置にあるワークカプセル群にインデックステーブル外の供給部から新しいワークを搬入するワーク搬出・搬入手段と、
を備えたリークテスト装置において、
上記インデックステーブルは、上記回転駆動手段により回転駆動されるテーブル本体と、このテーブル本体と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダとを有し、各ホルダに上記ワークカプセルが１群ずつ配置され、
さらに連結制御手段を備え、この連結制御手段は、上記複数のホルダを上記テーブル本体に対して選択的に連結したり連結解除し、上記テスト位置にあるホルダをテーブル本体に対して連結解除するとともに上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体に連結することにより、上記テスト位置にあるホルダを静止させたままで上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体と一緒に回動可能にすることを特徴とするリークテスト装置。
【請求項２】
さらにガイド機構を備え、このガイド機構は、上記ホルダを支持するとともに、上記回転軸線を中心とする円の軌跡に沿って案内することを特徴とする請求項１に記載のリークテスト装置。
【請求項３】
上記ガイド機構が、上記回転軸線を中心とする円環形状のレールと、各ホルダに設けられこのレールに沿って走行するスライダとを有することを特徴とする請求項２に記載のリークテスト装置。
【請求項４】
上記連結制御手段は、上記ホルダ毎に設けられた連結機構と、テスト位置に対応して設けられた解除機構とを備え、
上記連結機構は、上記テーブル本体に形成された第１係合穴に対して挿入離脱される係合シャフトと、この係合シャフトを第１係合穴への挿入位置に向かって付勢する付勢手段とを有し、この係合シャフトの第１係合穴への挿入により、上記ホルダとテーブル本体との連結が得られるようになっており、
上記解除機構は、通常時には係合シャフトと干渉しない位置にある作動部材と、この作動部材を移動させて係合シャフトに係合させるとともにこの係合シャフトを上記第１係合穴から離脱させる駆動手段とを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項５】
上記テーブル本体に対向して支持部材が固定位置に配置され、この支持部材に第２係合穴が形成されており、上記係合シャフトは上記第１係合穴から離脱した時に上記第２係合穴に挿入されることを特徴とする請求項４に記載のリークテスト装置。
【請求項６】
上記回転駆動手段は、上記非テスト位置のホルダを、リークテストの最中に、少なくとも１つの搬出位置から少なくとも１つの搬入位置へと回動させ、
上記ワーク搬出・搬入手段は、上記搬出位置にあるホルダのワークカプセル群から上記回収部へワークを搬出するワーク搬出機構と、上記供給部から上記搬入位置にあるホルダのワークカプセル群へワークを搬入するワーク搬入機構とを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項７】
全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第１角度ずつ離れて配置され、
上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬出位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬出点に順に位置させるようにし、
上記ワーク搬出機構は、上記整数に相当する数の第１吸着ノズルと、この第１吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第１移動手段とを有し、上記特定搬出点にあるワークカプセル内のワークを上記第１吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記回収部の特定回収点で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダからのワークの搬出を完了することを特徴とする請求項６に記載のリークテスト装置。
【請求項８】
さらに上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬入位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬入点に順に位置させるようにし、
上記ワーク搬入機構は、上記整数に相当する数の第２吸着ノズルと、この第２吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第２移動手段とを有し、上記供給部の特定供給点にあるワークを上記第２吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記特定搬入点にあるワークカプセル上で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダへのワークの搬入を完了することを特徴とする請求項７に記載のリークテスト装置。
【請求項９】
上記ホルダは、所定の角度にある時に、上記搬出位置の１つに位置するとともに上記複数の搬入位置の１つに位置し、これにより、上記ホルダの１群のワークカプセルのうち、上記整数に相当する数のワークカプセルが上記特定搬出点に位置するとともに、上記整数に相当する数の他のワークカプセルが上記特定搬入点に位置し、上記ワーク搬出機構によるワーク搬出と上記ワーク搬入機構によるワーク搬入が同時に行われることを特徴とする請求項８に記載のリークテスト装置。
【請求項１０】
上記整数が１または２であることを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項１１】
上記複数のホルダが３つのホルダを含み、
上記少なくとも１つのテスト位置は、第１テスト位置と第２テスト位置とを含み、さらに準備位置が設定され、
上記準備位置と、第１テスト位置と、第２テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第２角度ずつ離れており、
上記回転駆動手段は、第１，第２テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、
リークテストが終了した後、上記連結制御手段が第１テスト位置および第２テスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回動制御手段が全てのホルダを上記第２角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダを第１テスト位置へ、第１テスト位置にあるホルダを第２テスト位置へ、第２テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項１２】
上記複数のホルダが２つのホルダを含み、上記少なくとも１つのテスト位置は、単一のテスト位置を含み、さらに準備位置が設定され、
上記準備位置と、テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第２角度ずつ離れており、
上記回転駆動手段は、テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、
リークテストが終了した後、上記連結制御手段がテスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回動制御手段が全てのホルダを上記第２角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダをテスト位置へ、テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項１３】
全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第１角度ずつ離れて配置され、
上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の位置で停止させることにより、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定点に順に位置させ、この特定点においてワーク搬出・搬入手段によるワークの搬出、搬入を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項１】
（ア）インデックステーブルと、
（イ）インデックステーブル上において、周方向に複数群に分かれて配置され、各群が複数の所定数からなるワークカプセルと、
（ウ）上記インデックステーブルを回転軸線を中心として回転駆動させることにより、各群のワークカプセルを、少なくとも１つのテスト位置と、非テスト位置に、順に繰り返し位置させる回転駆動手段と、
（エ）上記テスト位置にある１群のワークカプセルに収容されたワークに対して、ワークカプセルを密閉した状態で一度にリークテストを実行するリークテスト手段と、
（オ）上記非テスト位置にあるワークカプセル群からインデックステーブル外の回収部へとリークテスト済のワークを搬出するとともに、非テスト位置にあるワークカプセル群にインデックステーブル外の供給部から新しいワークを搬入するワーク搬出・搬入手段と、
を備えたリークテスト装置において、
上記インデックステーブルは、上記回転駆動手段により回転駆動されるテーブル本体と、このテーブル本体と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダとを有し、各ホルダに上記ワークカプセルが１群ずつ配置され、
さらに連結制御手段を備え、この連結制御手段は、上記複数のホルダを上記テーブル本体に対して選択的に連結したり連結解除し、上記テスト位置にあるホルダをテーブル本体に対して連結解除するとともに上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体に連結することにより、上記テスト位置にあるホルダを静止させたままで上記非テスト位置にあるホルダをテーブル本体と一緒に回動可能にすることを特徴とするリークテスト装置。
【請求項２】
さらにガイド機構を備え、このガイド機構は、上記ホルダを支持するとともに、上記回転軸線を中心とする円の軌跡に沿って案内することを特徴とする請求項１に記載のリークテスト装置。
【請求項３】
上記ガイド機構が、上記回転軸線を中心とする円環形状のレールと、各ホルダに設けられこのレールに沿って走行するスライダとを有することを特徴とする請求項２に記載のリークテスト装置。
【請求項４】
上記連結制御手段は、上記ホルダ毎に設けられた連結機構と、テスト位置に対応して設けられた解除機構とを備え、
上記連結機構は、上記テーブル本体に形成された第１係合穴に対して挿入離脱される係合シャフトと、この係合シャフトを第１係合穴への挿入位置に向かって付勢する付勢手段とを有し、この係合シャフトの第１係合穴への挿入により、上記ホルダとテーブル本体との連結が得られるようになっており、
上記解除機構は、通常時には係合シャフトと干渉しない位置にある作動部材と、この作動部材を移動させて係合シャフトに係合させるとともにこの係合シャフトを上記第１係合穴から離脱させる駆動手段とを有することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項５】
上記テーブル本体に対向して支持部材が固定位置に配置され、この支持部材に第２係合穴が形成されており、上記係合シャフトは上記第１係合穴から離脱した時に上記第２係合穴に挿入されることを特徴とする請求項４に記載のリークテスト装置。
【請求項６】
上記回転駆動手段は、上記非テスト位置のホルダを、リークテストの最中に、少なくとも１つの搬出位置から少なくとも１つの搬入位置へと回動させ、
上記ワーク搬出・搬入手段は、上記搬出位置にあるホルダのワークカプセル群から上記回収部へワークを搬出するワーク搬出機構と、上記供給部から上記搬入位置にあるホルダのワークカプセル群へワークを搬入するワーク搬入機構とを有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項７】
全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第１角度ずつ離れて配置され、
上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬出位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬出点に順に位置させるようにし、
上記ワーク搬出機構は、上記整数に相当する数の第１吸着ノズルと、この第１吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第１移動手段とを有し、上記特定搬出点にあるワークカプセル内のワークを上記第１吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記回収部の特定回収点で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダからのワークの搬出を完了することを特徴とする請求項６に記載のリークテスト装置。
【請求項８】
さらに上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の搬入位置で停止させて、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定搬入点に順に位置させるようにし、
上記ワーク搬入機構は、上記整数に相当する数の第２吸着ノズルと、この第２吸着ノズルを所定軌跡に沿って往復移動させる第２移動手段とを有し、上記供給部の特定供給点にあるワークを上記第２吸着ノズルで吸着し、上記所定軌跡を経て上記特定搬入点にあるワークカプセル上で離脱させ、これを複数回繰り返すことにより、上記非テスト位置のホルダへのワークの搬入を完了することを特徴とする請求項７に記載のリークテスト装置。
【請求項９】
上記ホルダは、所定の角度にある時に、上記搬出位置の１つに位置するとともに上記複数の搬入位置の１つに位置し、これにより、上記ホルダの１群のワークカプセルのうち、上記整数に相当する数のワークカプセルが上記特定搬出点に位置するとともに、上記整数に相当する数の他のワークカプセルが上記特定搬入点に位置し、上記ワーク搬出機構によるワーク搬出と上記ワーク搬入機構によるワーク搬入が同時に行われることを特徴とする請求項８に記載のリークテスト装置。
【請求項１０】
上記整数が１または２であることを特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項１１】
上記複数のホルダが３つのホルダを含み、
上記少なくとも１つのテスト位置は、第１テスト位置と第２テスト位置とを含み、さらに準備位置が設定され、
上記準備位置と、第１テスト位置と、第２テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第２角度ずつ離れており、
上記回転駆動手段は、第１，第２テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、
リークテストが終了した後、上記連結制御手段が第１テスト位置および第２テスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回動制御手段が全てのホルダを上記第２角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダを第１テスト位置へ、第１テスト位置にあるホルダを第２テスト位置へ、第２テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項１２】
上記複数のホルダが２つのホルダを含み、上記少なくとも１つのテスト位置は、単一のテスト位置を含み、さらに準備位置が設定され、
上記準備位置と、テスト位置と、複数の搬出位置のうちの最初の搬出位置は、第２角度ずつ離れており、
上記回転駆動手段は、テスト位置にあるホルダを静止させた状態で、ワーク搬入作業を終了したホルダを上記準備位置まで回動し、
リークテストが終了した後、上記連結制御手段がテスト位置のホルダをテーブル本体に連結し、上記回動制御手段が全てのホルダを上記第２角度だけ回動することにより、準備位置にあるホルダをテスト位置へ、テスト位置にあるホルダを最初の搬出位置へとそれぞれ位置させることを特徴とする請求項８〜１０のいずれかに記載のリークテスト装置。
【請求項１３】
全てのワークカプセルが上記回転軸線を中心とした同一円上に配置され、各ホルダにおいてワークカプセルが周方向に第１角度ずつ離れて配置され、
上記回転駆動手段は、上記テーブル本体を上記第１角度の整数倍の角度で間欠回動させることにより、上記非テスト位置のホルダを複数の位置で停止させることにより、上記整数に相当する数のワークカプセルを特定点に順に位置させ、この特定点においてワーク搬出・搬入手段によるワークの搬出、搬入を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のリークテスト装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２０１０−１６９５１４（Ｐ２０１０−１６９５１４Ａ）
【公開日】平成２２年８月５日（２０１０．８．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１１８２８（Ｐ２００９−１１８２８）
【出願日】平成２１年１月２２日（２００９．１．２２）
【出願人】（３９００１９０３５）株式会社フクダ (23)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年８月５日（２０１０．８．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１月２２日（２００９．１．２２）
【出願人】（３９００１９０３５）株式会社フクダ (23)
【Ｆターム（参考）】
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