【課題】吸気ポンプとガス検知センサを小形化し、これらを一体的に構成して、小形軽量化と操作の簡便化を図るとともに、吸引ガスを導入するセル内容量をコンパクト化し、ガス検知センサに正確かつ速やかに感応させてガス漏れ検知感度を向上し、しかも吸気ポンプの脈動を低減して安定した検知作動を得られ、これを安価に製作できるガスリ−クディテクタ−を提供する。
【解決手段】被検体から漏洩するサンプルガスと測定基準のリファレンスガスとを吸引する吸気ポンプ４０、吸引ガスの熱伝導率に基づく電気抵抗値の変化を測定可能な熱伝導型のガス検知センサ３０、３１、吸引ガスを導入可能なセル２８を内部に備えたセルブロック２１を設ける。 （もっと読む）

【課題】ワークに漏洩箇所が存在するか否かを短時間で高精度に判断する。
【解決手段】チャンバ１６に収容されたケース部材１８（ワーク）の中空室２４からガスが排気された後、該中空室２４に検査ガスが導入される。モニタスペース６９内のガスは、第１ファン９４及び第２ファン１１０の作用下に撹拌され、循環用配管１１６に送られる。ガスがディテクタ１２２に到達すると、ディテクタ１２２の表示値は、漏洩ガスの濃度（量）に応じた値を示す。ケース部材１８に漏洩箇所が存在する場合、チャンバ１６に漏洩した検査ガスがモニタスペース６９内のガスと混ざり合う。この混合ガスの一部が、循環用配管１１６及びサンプリングライン１２１を介してディテクタ１２２に送られる。一方、混合ガスの残部は、循環用配管１１６を介してモニタスペース６９に戻される。 （もっと読む）

【課題】ワークから漏洩した検査ガスを高精度に検出するべく、ガス式漏洩検査装置を高精度に校正する。
【解決手段】ワークであるケース部材１８をチャンバ１６に収容するとともに、該チャンバ１６内に基準ガス（例えば、ヘリウム）を導入する。この基準ガスがモニタスペース６９に予め存在していたガスと混合することで、混合ガスとなる。該混合ガスは、モニタスペース６９からサンプリングガスとして抽出される。サンプリングガスの一部が、循環用配管１１６及びサンプリングライン１２１を経てディテクタ１２２に到達すると、ディテクタ１２２は、基準ガスと、モニタスペース６９に予め存在していたガスに含まれて基準ガスと同一種のガスとの総和に応じた値を示す。このときの値を基準値としてガス式漏洩検査装置１０を校正する。なお、校正に供されなかったサンプリングガスの残部は、循環用配管１１６を介してモニタスペース６９に戻される。 （もっと読む）

【課題】ワークに漏洩箇所が存在するか否かを短時間で高精度に判断する。
【解決手段】ケース部材１８（ワーク）の中空室２４からガスが排気された後、該中空室２４に検査ガスが導入される。モニタスペース６９内のガスは、好ましくは第１ファン９４及び第２ファン１１０の作用下に撹拌され、循環用配管１１６に送られる。ガスがディテクタ１２２に到達すると、ディテクタ１２２の表示値は、漏洩ガスの濃度（量）に応じた値を示す。ケース部材１８に漏洩箇所が存在する場合、検査ガスがチャンバ１６に漏洩してモニタスペース６９内のガスと混ざり合う。この混合ガスの一部が、循環用配管１１６及びサンプリングライン１２１を介してディテクタ１２２に送られる。一方、混合ガスの残部は、循環用配管１１６を介してモニタスペース６９に戻される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、しかも、省スペース化を図ることができ、その上、試験体内に残留する水素またはヘリウムを効率よく検出することができるようにした低コストの検出計を提供する。
【解決手段】本発明の検出計Ｍは、金属製のフィラメント１と、グリッド２と、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の電源Ｅ１と、フィラメントより高い電位をグリッドに与えるグリッド用の電源Ｅ２とを備える。フィラメント用の電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントとグリッドとの間でのエミッション電流を測定する検出手段３を更に備える。そして、検出手段で測定したエミッション電流から水素またはヘリウム（濃度）を検出する。 （もっと読む）

【課題】漏れ検出器を移動する際の待機時間を通知する。
【解決手段】一次真空ポンプ２に接続されるようになっている二次真空ポンプ３であって、モータと、ロータと、ステータとを備え、ロータは、モータに電力供給されているとき、モータによりステータ内で回転駆動され得るようになっている二次真空ポンプ３と、使用者に漏れ検出器１の稼働状態を通知するための、電力供給され得る少なくとも１つの通知手段とを備える漏れ検出器１を監視するための方法において、モータへの電力供給が切断された場合に、通知手段に電力供給するために、二次真空ポンプ３のロータの回転の運動エネルギーを電気エネルギーの形態で回収することによる監視方法。 （もっと読む）

【課題】成膜装置内を流動される液体用流路の漏洩の有無を高精度に検査する。
【解決手段】冷却水流路２７８内から冷却水を排出する排出工程と、排出工程後、冷却水流路２７８内にＮ₂ガスを導入して冷却水流路２７８内から冷却水を除去する除去工程とを備える。また、除去工程後、冷却水流路２７８内を排気して冷却水流路２７８内を減圧する減圧工程と、減圧工程後、成膜装置内にＨｅガスを導入して、冷却水流路２７８の内外の境界を通過したＨｅガスを検知することにより冷却水流路２７８の漏洩の有無を確認する検査工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検査体に対して洩れ検査を高精度に実施できる洩れ検査装置を提供する。
【解決手段】被検査体（１）を収容する密閉したチャンバー（２）と、前記チャンバー（２）内のヘリウムガス量を計測する計測装置（３）と、前記チャンバー（２）の壁面を貫通する継ぎ手部（５）と被検査体（１）とを連結する接続ホース（１０）であって、該接続ホース（１０）は、それぞれ可撓性を有する外管（１１）と内管（１２）とからなる二重管で構成された接続ホース（１０）と、前記チャンバー（２）外部から、前記継ぎ手部及び前記内管（１２）を通じて、加圧したヘリウムガスを被検査体（１）に供給する、ヘリウムガス供給部（４）とを具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】樹脂製の消火剤貯蔵容器を備えた蓄圧式消火器内のガスのリーク測定方法を提供する。
【解決手段】樹脂を用いて継ぎ目なく成形されるとともに開口部と深さ方向に進むにしたがって外径が大きくなる肩部とを有する消火剤貯蔵容器１０の開口部を閉塞する閉塞工程と、アルゴンガスと窒素ガスからなる群から選択される少なくとも１つの不活性ガス及びヘリウムガスと水素ガスとからなる群から選択される少なくとも１つの軽元素ガスが、その貫通経路を通じて消火剤貯蔵容器１０内に封入される封入工程と、封入工程の後、開口部を下に向けた状態で肩部の一部の外周をシールすることにより、蓋体３１及び開口部が収容される密閉空間が形成された後、密閉空間を排気する排気工程と、排気工程の後、密閉空間内の軽元素ガスの量を測定する。 （もっと読む）

【課題】 特に大型の真空処理装置に発生した微小なリークを確実に検出きるようにする。
【解決手段】 本発明では、例えば、漏洩検知対象物として、内部を真空引きする真空ポンプ２、５が付設されたチャンバを有する真空処理装置の漏洩検知を実施する際に、このチャンバ１１と、ヘリウムガスを検知する質量分析管６１と真空ポンプ６３とを有するリークディテクタ６との間に介設される漏洩検知補助装置８を介設する。漏洩検知補助装置８は、チャンバに設けたテストポート１３に第１の接続ポート８２ａと、質量分析管のターボ分子ポンプに通じる配管が接続可能な第２の接続ポート８２ｂとを有する本体８１を備え、この本体に、第１及び第２の両接続ポート間を連通する接続管８３と、チャンバから第１の接続ポートを経てこの接続管内に引き込まれたヘリウムを第２の接続ポートへと移送し得るターボ分子ポンプ８４とを備える。 （もっと読む）

【課題】板状成形・接合体の接合部の機密性を正確にしかも簡便に検出することができる漏れ検査装置を提供する。
【解決手段】上型10の下面11に上型凹部12を設け下型20の上面21に下型凹部22を設け、下型凹部に検査対象物の周縁を嵌合装着させるための嵌合段差23が下方に向かって形成され、嵌合段差に検査対象物の周縁を装着して検査対象物を下型に固定し、嵌合段差の外方周囲に下型の上面から上方に盛上げかつ環状に環状凸部24を設け、下型凹部の側方にトレーサガスを注入するためのトレーサガス導入口25を設け、上型凹部12の下方周縁に環状のシール溝13を設け上型を下降させたときにシール溝に配設されたシールゴム14のＲ部31が検査対象物外周縁と当接してトレーサガスが上型凹部に上昇することを遮断し、シールゴムの下面14aが下型の環状凸部24の上面と当接してトレーサガスが下型凹部から外へ出るのを遮断するようにして、上型凹部内にガス検出器を配設した。 （もっと読む）

【課題】地中に埋設された状態のままで、破損の有無及び破損箇所の特定を行うことが可能な地中埋設物の破損検査法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、通気性を有する地中に埋設された地中埋設物の中空部にガスを注入し、地中埋設物外へのガスの漏れを検知することにより地中埋設物の破損を検査する地中埋設物の破損検査法において、地中埋設物の外形に沿ってガス検知部１４を複数設ける準備工程と、準備工程の後に空気より比重の小さいガスを中空部に注入する注入工程と、注入工程の後に複数の各ガス検知部１４によって中空部から漏れ出るガスを検知する検知工程と、検知工程の後であってガスが検知された場合には、全てのガス検知部１４の内から該ガスが検知されたガス検知部１４を特定することにより地中埋設物の破損箇所を特定する特定工程とから構成される。 （もっと読む）

【課題】ヘリウムリークディテクタに使用するマイクロチャンネルプレートへの過大なイオン電流の入射によって、マイクロチャンネルプレートの寿命が短くなることを避ける。
【解決手段】ヘリウムイオンの検出用にマイクロチャンネルプレートを備えたヘリウムリークディテクタであって、ヘリウムイオンビームがマイクロチャンネルプレートに入射するように偏向するセクター電極を備える。グロスリークの場合は、ヘリウムイオンビームを偏向せず、マイクロチャンネルプレートに入射させないで、セクター電極に入射し、セクター電極でイオンビーム電流を検出する。 （もっと読む）

【課題】 部品点数の増加を招くことなく確実に圧力を把握でき、リークディテクタの使用継続時間に関係なく、正確にリーク値を測定することに最適なリークディテクタ用の質量分析管を提供することにある。
【解決手段】 磁場偏向型の質量分析管２は、ガス導入口２２が開設された管体２１を有し、この管体内にフィラメント２３ａとグリッド２３ｂとを有してガス導入口から導入されたガス分子をイオン化するイオンソース２３と、ヘリウムイオンを捕集する第１のイオンコレクタ２５と、管体内でイオンソースとイオンコレクタとの間に介設され、このイオンソースから所定の加速電圧下で放出されたイオンをその質量数に応じて偏向させる磁場を形成してヘリウムイオンのみをイオンコレクタへと導くマグネット２４とを備え、イオンソースの周囲に第２のイオンコレクタ２７が付設され、この第２のイオンコレクタにイオンソースによりイオン化された正イオンを捕集する。 （もっと読む）

【課題】 短時間で効率よくリークテストできるようにしたリークディテクタを提供する。
【解決手段】 ヘリウムガスを用いて試験体からの微小なリークの有無を検知する本発明のリークディテクタ１０は、試験体ＴＰが配置される真空チャンバ１から真空ポンプ６に通じる排気管５内に挿設され、この排気管内の流線方向に対して開口する開口部１６ａを備えたガイド管１６を有する。そして、ヘリウムを検知する質量分析管１１を、開閉弁Ｖ３を介して上記ガイド管に接続して構成する。 （もっと読む）

【課題】 サイクルタイムが長くなることを抑制でき、複数の試験体に対して連続して漏洩検知を行う場合に効率良くリークテストを行い得る漏洩検知システムを提供する。
【解決手段】 本発明の漏洩検知システムは、真空ポンプＰ１に接続されたテストチャンバ１と、試験体ＴＰにヘリウムガスを封入する封入手段２と、テストチャンバに試験体を移送し得る検知準備位置と、封入手段によるヘリウムガスの封入操作が行われる封入操作位置との間で試験体を搬送する搬送手段３と、検知準備位置からテストチャンバ内の検知位置に試験体を移送する移送手段４と、ヘリウムガス封入済みの試験体が検知位置に存する状態でテストチャンバを密閉する密閉手段４２ａ、４２ｂと、密閉手段によりテストチャンバを密閉した後、真空ポンプによりテストチャンバを所定圧力まで真空引きしたときに、この試験体から漏洩するヘリウムを検知する漏洩検知手段５とを備える。 （もっと読む）