【課題】合理的な時間の範囲内で低透水性材料の透水性を測定することが可能な測定方法を提案する。
【解決手段】同じ試料の透水性を所定の載荷圧力で測定する一回以上のメインステップで構成される。各メインステップは、予め決定した一定の基準圧力を載荷して上記試料の透水性を測定することを３回以上繰り返す第１のサブステップと、第１のサブステップで測定された透水性の測定値のばらつきを評価する第２のサブステップと、上記第２のサブステップにおいての各測定値のばらつきの程度が基準値以下であるときにそれらの複数の測定値を最終の測定値として採用し、ばらつきの程度が基準値以上であるときには、当該ステップの基準圧力よりも大きな新たな基準圧力を採用して、次のメインステップに移行することを決定する第３のサブステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】低温タンクの工期短縮及び低温タンクの内槽リークテスト終了後のアンモニアパージに要するコスト削減を目的とする。
【解決手段】低温タンクから漏れ出した漏れガスを特定成分に反応するガスセンサで検知する漏れガス検知装置であって、漏れガスに含まれるアンモニアガスを水に溶解させてトラップするアンモニアトラップをガスセンサの前段に備える。 （もっと読む）

【課題】成膜装置内を流動される液体用流路の漏洩の有無を高精度に検査する。
【解決手段】冷却水流路２７８内から冷却水を排出する排出工程と、排出工程後、冷却水流路２７８内にＮ₂ガスを導入して冷却水流路２７８内から冷却水を除去する除去工程とを備える。また、除去工程後、冷却水流路２７８内を排気して冷却水流路２７８内を減圧する減圧工程と、減圧工程後、成膜装置内にＨｅガスを導入して、冷却水流路２７８の内外の境界を通過したＨｅガスを検知することにより冷却水流路２７８の漏洩の有無を確認する検査工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】給油所の地下タンクにおける漏洩発生の判断を容易かつ正確に行うとともに、タンクローリから受け入れる燃料油の気化の影響を受けることもない漏洩検知装置を提供する。
【解決手段】地下タンク２に付設された油面計３の測定値に基づいて算出された、地下タンク内の燃料油の在庫量を記憶する在庫量記憶手段７ｂと、油面計で計測された、地下タンクへの燃料油の受入量を記憶する受入量記憶手段７ｄと、地下タンクへの燃料油の受入時に発生した燃料油の気化分を回収する液化回収装置８からの回収量を記憶する回収量記憶手段７ｅと、地下タンクに接続された計量機５からの給油量を記憶する給油量記憶手段７ｃと、各記憶手段に記憶されたデータを自動集計するデータ自動集計手段７ｆと、データ自動集計手段によって集計されたデータに基づいて地下タンクの漏洩の有無を判断する漏洩判断手段７ｊとを備える漏洩検知装置１等。 （もっと読む）

【課題】 サイクルタイムが長くなることを抑制でき、複数の試験体に対して連続して漏洩検知を行う場合に効率良くリークテストを行い得る漏洩検知システムを提供する。
【解決手段】 本発明の漏洩検知システムは、真空ポンプＰ１に接続されたテストチャンバ１と、試験体ＴＰにヘリウムガスを封入する封入手段２と、テストチャンバに試験体を移送し得る検知準備位置と、封入手段によるヘリウムガスの封入操作が行われる封入操作位置との間で試験体を搬送する搬送手段３と、検知準備位置からテストチャンバ内の検知位置に試験体を移送する移送手段４と、ヘリウムガス封入済みの試験体が検知位置に存する状態でテストチャンバを密閉する密閉手段４２ａ、４２ｂと、密閉手段によりテストチャンバを密閉した後、真空ポンプによりテストチャンバを所定圧力まで真空引きしたときに、この試験体から漏洩するヘリウムを検知する漏洩検知手段５とを備える。 （もっと読む）

【課題】好適なタイミングで検出信号を出力することが可能な漏液検出装置を提供すること。
【解決手段】漏液検出装置１０は、製造装置から漏れた漏液を検出する第１及び第２検出部２５，２６と、各検出部２５，２６にて漏液を検出する検出結果に基づいて、製造装置を停止させるタイミングを変更する出力制御手段とを設けた。 （もっと読む）

【課題】 ワーク搬出、搬入のための構造を簡略化したリークテスト装置を提供する。
【解決手段】
インデックステーブル１０は、モータにより回転駆動されるテーブル本体１１と、このテーブル本体１１と別体をなし互いに周方向に離れた複数のホルダ１２とを有している。各ホルダ１２には所定数のワークカプセル１６が配置されている。複数のホルダ１２はテーブル本体１１に対して選択的に連結されたり連結解除される。テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体１１に対して連結解除するとともに非テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体１１に連結することにより、テスト位置にあるホルダ１２を静止させたままで非テスト位置にあるホルダ１２をテーブル本体と一緒に回動させて、ワーク搬出と搬入を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】リークチェック機構及び真空装置において、Ｈｅガス等の検査用ガスと真空室に設置したリークディテクタの組み合わせでリークを正確に検出可能とすることを目的とする。
【解決手段】真空室に接続された真空ポンプの排気を行う排気弁の近傍のリークをチェックするリークチェック機構において、真空ポンプ内部と真空ポンプ内部を迂回して真空室へ接続されたバイパスラインの一方に切り替え接続可能なリークチェック部と、排気時には真空ポンプ内部と開けられた排気弁が連通し、リークチェック時には閉められた排気弁とバイパスラインが連通するようにリークチェック部を切り替え制御する制御部を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】サロゲート化合物を利用せずに異常状態を判定する診断ルーチン化学検出システム内で実行する装置および方法を提供する。
【解決手段】化学検出システムは、排出化学物質を測定するまえにニューマティックコンポーネントおよび化学センサを診断すべく、制御された暴露を実行する。制御モジュールは、前記診断を行うべく、システム制御およびデータ処理を行う。かかる制御モジュールは、診断ルーチン中に正確な暴露を行うべく、排出物質サンプル受け取りシステムを操作する。センサインターフェイス回路は、前記化学センサにデータの問い合わせを行い、データを取り出し、格納し、解析する。前記化学センサは、所定の暴露シナリオの間に、それに応じて予測可能な変化を起こす。複数の時間ドメイン信号処理技術を用いて、システムレベルおよびセンサレベルにおける異常状態が求められる。 （もっと読む）

【課題】複数の漏れ試験をすばやく連続して、互いに影響し合うことなしに行うことができる漏れ検知器を提供する。
【解決手段】漏れ検知器は、試験気体を受けるための漏れ検知器入口と、前記漏れ検知器入口に接続された真空ポンプと、前記試験気体を感知するために通路を介して前記漏れ検知器入口に接続された試験気体感知ユニットと、前記試験気体に対する透過性があり、前記漏れ検知器入口と前記試験気体感知ユニットとの間の前記通路に配置された膜と、前記膜を介した前記試験気体の通過を、500ミリ秒以下の時間内で実質的に終了させる制御機構とを含んでいる。他の実施形態では、前記制御機構は、前記膜を介した前記試験気体の通過を、100ミリ秒以下の時間内で実質的に終了させる。 （もっと読む）

流量制御装置（１００）において自己漏洩を判定する方法を開示する。流量制御装置（１００）は、流量センサ（１０２）、流量制御バルブ（１０６）、及び電子回路（１０４）を備えている。電子回路は、流量センサ、流量制御弁に結合されており、流量制御装置を通過する物質の設定流速を維持するように、物質の流速を示す流量センサの信号に応答して、流量制御弁を調節するように構成されている。本方法のステップは、流量センサ（１０２）についてゼロ・ドリフト（Qdrift）を判定するステップ（３０２）を備えている。制御弁（１０６）が全閉位置にあるときに、流量制御装置（１００）を通過する流速（Qflow）を判定する（３０４）。そして、流量制御装置（１００）を通過する自己漏洩を判定する（３０６）。自己漏洩は、Qflow−Qdriftに等しい。
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【課題】 膜破損を判断する為の様々な条件における基準データを取得することなく、膜破損状態の診断が中空糸膜の形状や加圧気体を封入した密閉容積が異なる場合においても、簡便かつ正確で応用性の高い膜ろ過装置の膜破損診断方法および装置を提供する。
【解決手段】 中空糸膜の内側に加圧気体を導入し、予め設定した圧力に到達した際に加圧気体の導入を停止して加圧側を密閉し、密閉後の高圧空間における圧力の経時変化から膜破損状態を診断する方法において、中空糸膜の破損状態を仮に想定した場合における前記高圧空間の圧力の経時変化を演算により求め、前記圧力の経時変化の実測値と前記演算値とを比較することにより、前記中空糸膜の破損状態を診断する。 （もっと読む）

【課題】 小型で簡単な構造でありながら、被試験物の周囲を低圧にでき、被試験物の観察ができる簡易負圧試験装置を提供する。
【解決手段】 簡易負圧試験装置１０は、下端に口部１１を開放し被試験物Ｗ１を内部に収納できる透明ケース１と、被試験物（封止材Ｗ１）及び透明ケース１の下端を支持できる支持体２と、透明ケース１が支持体２に支持された状態で透明ケース１の口部１１の周縁と支持体２との間の気密を保持するシール材３と、透明ケース１の内部から空気を排出する負圧発生手段４と、内圧を所望の値になるよう調整する内圧調整手段５とを備える。被試験物は、大気圧の中に置かれたときと、大気圧より低い気圧の中に置かれたときに、その形状又は様態が視覚的に判別できる程度に変化するものであれば何でも良い。 （もっと読む）