【課題】真空中で接着層に空気の混入を防止しながら、微小な押圧力の調節を可能にして、適度な加圧下で接着剤がはみ出すのを極力抑え良好な厚みの接着層を形成し、素子を基板に真空加熱接合する。
【解決手段】駆動ユニットによって上枠部材12の下端部を下板部材6の周辺部に気密に摺動シールさせて内部に真空隔壁を形成し、加圧剥離フィルムを素子の上面に接触させ大気圧加熱下に軟化させ、真空チェンバー内を真空引きし、さらに下板部材6と中間部材10とを近接する方向に相対移動することによって、加圧剥離フィルムの外周部を下板部材6の基板置台上面と内方枠体13の下面との間に気密に保持した状態とし、真空チェンバー中の加圧剥離フィルム上方空間に大気圧あるいは大気圧より高い圧力をかけて、加圧剥離フィルムを基板及び素子の外表面に密着させて、素子を基板に接合する、真空加熱接合装置。 （もっと読む）

【課題】第2種圧力容器（労働安全衛生施工令第１条第７号）の範疇に入ることなく、高圧加圧含浸時に本来必要な高圧加圧容積を大きくすることを可能とする、真空高圧充填装置を提供する。
【解決手段】前記摺動枠体駆動機構が摺動枠体７を摺動させて、基台１と、下枠体２と、上枠体１１と、摺動枠体とにより気密性の真空隔室ユニットチェンバーを形成し、多孔質性被加工品を真空脱気し、真空状態を保持した状態で、枠体移動機構を作動させ上枠体あるいは下枠体を移動させて、真空隔室ユニットの体積を減少させて、多孔質性被加工品を充填液中に浸漬し、枠体移動阻止機構１４により、上枠体あるいは下枠体の移動するのを阻止させて高圧加圧用隔室ユニットチェンバーを形成し、高圧ガスにより高圧を印加して充填液を多孔質性被加工品に含浸させることを特徴とする、真空高圧充填装置。 （もっと読む）

【課題】耐熱伸縮性膜部材の垂れ防止して水平に位置ずれなく保持し、該膜部材を外周半径外側方向に拡がるのを防止しつつ、薄板状被加工部材に対して所定のホットプレス加工を均一な圧力下で正確なホットプレス加工を行う。
【解決手段】上枠部材の下端部に張られた耐熱伸縮性膜部材と上部ヒータ板と上枠部材とで画成された熱媒体充填空間に熱媒体を充填し、膜部材水平保持部材を設けて該膜部材を垂れ防止して実質的に水平に保持しかつ水平方向に見て該膜部材を保持する位置をほぼ一定に保持し、下型部材と上枠部材とを相対移動させ、上枠部材の下端部底面を下枠部材の上端部上面に当接させ、該膜部材の下面を下型部材上の被加工部材の上面に当接させ、被加工部材を予熱し、熱媒体充填空間内の熱媒体に圧力をかけて、該膜部材を外周半径方向外方に拡がるのを防止しつつ、耐熱伸縮性膜部材により被加工部材に対して所定のホットプレス加工を行う、薄板状被加工部材用ホットプレス加工装置。 （もっと読む）

【解決課題】短時間で真空状態を作りながら、確実に均一な厚みでプレス硬化処理することが可能な、軽量小型の真空プレス硬化装置を提供することを目的とする。
【解決手段】下固定枠と上移動枠とを当接させることによって
真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成し、該チェンバ中の受台上に配した被加工品に対して加熱加工処理をする真空プレス硬化装置であって、サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理する、真空プレス硬化装置。 （もっと読む）