真空プレス硬化装置および方法
【解決課題】短時間で真空状態を作りながら、確実に均一な厚みでプレス硬化処理することが可能な、軽量小型の真空プレス硬化装置を提供することを目的とする。
【解決手段】下固定枠と上移動枠とを当接させることによって
真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成し、該チェンバ中の受台上に配した被加工品に対して加熱加工処理をする真空プレス硬化装置であって、サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理する、真空プレス硬化装置。
【解決手段】下固定枠と上移動枠とを当接させることによって
真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成し、該チェンバ中の受台上に配した被加工品に対して加熱加工処理をする真空プレス硬化装置であって、サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理する、真空プレス硬化装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、薄い被加工品に対して真空あるいはガス雰囲気においてプレス硬化処理する真空プレス硬化装置および方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、薄い被加工品に対して真空あるいはガス雰囲気において加熱プレス処理する真空プレス硬化装置としては、1軸直動式サーボモータ装置と多軸直動式サーボモータが知られている。
【0003】
1軸直動式サーボモータ装置では、プレス板と直結させたサーボシリンダをフレーム中央に固定させたサーボプレスを用いている。サーボプレスは、空圧や油圧プレスと異なり、サーボシリンダ下降時に任意の押圧制御と、下降端停止位置の制御、及び下降途中の上下動の繰り返し動作制御等がデジタル制御できることが知られている。
【0004】
一方、多軸直動式サーボモータ装置では、プレス板と直結させた2から4軸のサーボシリンダをフレームに固定させたサーボプレスとを用いている。本装置では、サーボシリンダ下降時に任意のプレス圧制御と、外周部に設置されたリニアスケール情報によりプレス板の平行移動を制御し、平行度を合わせながら4軸の下降スピードを同期させることができるようになっている。本装置は、常温下での金属鍛造プレスする用途に用いるもので、一般的に偏荷重への対応、平行下降移動による型寿命の向上、停止位置精度の確保が目的となっている。(特許文献1参照。)
【0005】
しかしながら、上記サーボプレスを真空加熱プレスに適用しようとすると以下の問題点があった。即ち、外周部に設置したリニアスケールによりプレス板と被加工品との平行度を感知しプレス板の平行移動を制御してプレス加工する構成とすると、リニアスケール装置を真空チェンバ中に収納させる必要があり、真空中でのリニアスケールの設置が難しく、プレス板のヒータ熱の影響を受けるため、一定の距離に離さなければならず、真空室がより大型化して真空引き時間が増加してしまう。また、加熱プレス加工に使用する場合は、プレス板にヒータを設けてサーボシリンダ構造と直結しているため、サーボシリンダの送りねじの膨張の影響で同一位置での加圧力が次第に増加する問題がある。
【0006】
一方、最近の積層基板やICカードは、より軽薄短小が進み、多機能化して、FPC(フレキシブル印刷配線基板)のみではなく、電子部品(IC,コンデンサ、抵抗など)が熱硬化性あるいは紫外線硬化性の軟質絶縁性の接着シートで挟みこまれ積層パッケージ化される時代となっている。その他、有機EL等のガラスディスプレイ製品や、アンテナ内蔵のカード製品、カーボン繊維等を織り込んだ複合強化材等の積層貼り合わせや、特殊な用途ではガラスにパターンをレーザ加工して、樹脂板に熱転写するナノインプリント技術等、真空中で一定時間内、適合する温度条件と、内部を破壊させない微妙なプレス圧と、硬化後の均一な厚みを必要とする製品作りを対象としてきている。
【0007】
図1(a)は、半導体素子封止構造を示し、1はポリイミド樹脂シート、2は銅箔(配線回路)、3は端子ゲート、4は半導体素子、5は熱硬化性軟質樹脂シート、6はポリイミド樹脂シートである。また、図1(b)は、有機EL(エレクトロルミネッサンス)ディスプレイを示し、7はガラス板、8は電極パターン(+)、9は有機発光層、10は電極パターン(−)、11はポリイミド樹脂シートである。また、太陽電池は、有機ELディスプレイの有機EL層の代わりに電解イオン拡散層を入れている。これらのものでは、いずれも中間に軟質材があり、熱硬化性接着剤か紫外線硬化性硬化剤で封止され、均一な厚み寸法を必要としている。
【0008】
本出願人の従来の方式では、常温使用の場合に、直動式サーボプレスに真空チェンバを搭載した直動式プレス装置を使用しているが、サーボシリンダとプレス板とをフリーシャンク継ぎ手で分離させ、製品に沿って均一にプレスすることが目的で、製品の厚みの平行だしは製品の外周にプレートを敷いて、治具プレートに押し当て均一にしている。多軸均等押しする出願でも下降時は自重でつり降ろし、低圧で製品に押し当て板を着地させてから、一切にシリンダに均一な加圧を加えて均一押しする方式を出願している。(特許文献2参照。)
【0009】
さらに、上記従来の方式の常温での金属鍛造の精密プレス加工を目的としたものでは、サーボシリンダは直結固定されてプレス板を平行移動させ、その状態で下降端の停止位置の平行精度維持を図ろうとしている。
【0010】
【特許文献1】特開2003−230995号公報
【特許文献2】特開2001−47288号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0011】
本発明は、受台の上面に対しプレス板の下面を水平あるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理すべく制御するプレス板駆動・サーボ機構制御装置とからなる、小型化が可能で確実なプレス硬化処理が可能な真空プレス硬化装置を提供することを目的とする。
【0012】
本発明に係る真空プレス硬化装置は、
(1)基台と、
(2)基台上に設置した被加工品の受台と、
(3)該受台から間隔を置いて受台を取り囲むようにして該基台上に配置した下固定枠と、
(4)該基台上方に配置した取付板と、
(5)該取付板の下に配置し、該受台と対向して配置したプレス板と、
(6)該受台と該プレス板の少なくともいずれか一方に設けた硬化手段と、
(7)該プレス板を該受台に対して近接、押圧、離間するよう移動するプレス板駆動装置と、
(8)該プレス板から間隔を置いてプレス板を取り囲むようにして該取付板から垂下した上移動枠であって、該上移動枠と該下固定枠とはその開放面において対向しており、上移動枠は下固定枠に対して上下に移動して近接、離間することができるようになっており、
(9)下固定枠と上移動枠との間に気密性を確保する気密機構であって、下固定枠と、上移動枠と、基台と、取付板とによって真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成する気密機構と、
(10)該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内を真空あるいは所定のガス雰囲気とするための真空吸引口あるいはガス導入口と、
(11)該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつあるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を可能とするサーボ機構と、
(12)サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、あるいはプレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理すべく制御するプレス板駆動・サーボ機構制御装置とからなる。
【0013】
本発明に係る真空プレス硬化装置によれば、プレス板駆動によって該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、プレス板駆動・サーボ機構制御装置によってプレス板駆動装置およびサーボ機構を制御して受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態あるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス処理し、絶えず下降端の均等押しと、停止位置の平行度管理を行い、真空中あるいはガス雰囲気中の加熱下のもと、平行度読み取りリニアスケールを使うことなく、均等な厚みで硬化処理を行いつつ貼り付け作業を行うことが可能となる。なお、プレス板駆動装置としては、空圧シリンダ、油圧シリンダあるいはサーボシリンダを用いることができる。また、硬化には、熱硬化、光硬化等を含むものとする。また、一般的に積層体を貼り合わせる場合には接着剤は硬化して固化し硬くなるが、本明細書で言う「硬化」には、プレス硬化したフレキシブルPC基板のように折れ曲がることを許容する場合も含む。また、本発明では、加熱酸化防止のため真空チェンバ内を予め一時的に不活性ガス(N2、Ar等)のガス雰囲気として、その後真空とする場合にも用いることができる。
【0014】
以下に、本発明に係る真空プレス硬化装置の好ましい実施態様を挙げる。それらを組み合わせた実施態様も、本発明と矛盾しない限り本発明の好ましい態様である。
(1−1)硬化手段が、ヒータである。硬化手段をヒータとすることによって、真空中あるいはガス雰囲気中の加熱下のもと、平行度読み取りリニアスケールを使うことなく、均等な厚みで硬化処理を行いつつ貼り付け作業を行うことが可能となる。この実施態様は、中間層として熱硬化性樹脂を用いる場合が特に適合する。
(1−2)硬化手段が、紫外線照射手段である。硬化手段を紫外線手段とし、真空中あるいはガス雰囲気中で紫外線照射のもと、平行度読み取りリニアスケールを使うことなく、均等な厚みで紫外線硬化処理を行いつつ貼り付け作業を行うことが可能となる。この実施態様は、中間層として紫外線硬化性樹脂を用いる場合が特に適合する。また、紫外線を被加工品に照射するため、プレス板に紫外線照射手段を設ける場合にはプレス板の少なくとも一部をガラス板等で光透過とする。
(1−3)前記サーボ機構は、サーボモータと、サーボモータによって移動されるカムと、該カムの移動に追随して受台の上面とプレス板の下面との距離を調整するサーボストッパとからなる。さらに、サーボストッパの上部を基台から真空あるいはガス雰囲気チェンバ中に気密に突出させることができる。この場合には、サーボストッパの上部のみ真空あるいはガス雰囲気チェンバ中に突出させサーボ機構のサーボモータとカムとを基台下方あるいは真空あるいはガス雰囲気チェンバの外側に配置するので、該チェンバの大きさを左程大きくする必要がない。
【0015】
(2)前記サーボストッパの下端面がテーパ面とされ、前記カムがテーパ面を有し、ストッパ下端テーパ面がカムのテーパ面に摺動可能に設置され、サーボモータにより該カムを横方向に移動させることによって、該サーボストッパが上下に移動する。この場合には、カムの横方向の摺動の移動距離とサーボストッパの上下移動距離との相関関係が単純となり、サーボストッパにかかるプレス加圧時の受け力が分散されて大幅に軽減され、サーボ機構がすべて小型化でき、プレス板駆動・サーボ駆動制御装置による制御が容易となる。
【0016】
(3)少なくとも前記ストッパ下端テーパ面とカムのテーパ面との摺動部を液蜜にオイルチェンバ中に収納している。このようにすることにより、ストッパ下端テーパ面とカムのテーパ面との摺動摩耗を低減するとともに、摺動動作を円滑に行うことができる。但し低加圧のみの場合はオイル塗布程度でもよい。
【0017】
(4)前記サーボ機構が、サーボモータと、プーリと、プーリを介してサーボモータによって回転され上下に昇降されるボールねじで構成されるサーボストッパとからなり、サーボストッパの上端面が上押プレス部材の下面に当接する。このようにすることによって、サーボモータの回転をプーリを介して直接ボールねじで構成されるサーボストッパにより推進力とすることができ、またサーボストッパが摩耗しても、動作開始ごとまたは必要に応じて原点補正のゼロ点合わせを容易に行うことができる。この実施態様は、必要とされる推進力が小さい場合に特に適合する。なお、本実施態様では、プーリを用いているが、プーリの代わりに、ギアを介して直結させれば、サーボ機構を小型化することができる。
【0018】
(5)前記プレス板駆動装置はプレスシリンダとロッドとからなり、該ロッドが前記取付板を貫通しロッドの下端部が継ぎ手によってプレス板に連結されている。この場合は、真空引き時に、真空チェンバの重量や、真空チェンバにかかる大気圧力を防ぐことができる比較的低加圧範囲まで制御したいものに適している。
【0019】
(6)前記プレス板は前記取付板の下面に固定され、前記プレス板駆動装置はプレスシリンダとロッドとからなり、該ロッドの下端部が継ぎ手によって取付板に連結されている。この場合は、真空引き時に、真空チェンバの重量や、真空チェンバにかかる大気圧力までを加算できるため比較的高加圧制御したいものに適している。
【0020】
(7)前記継ぎ手がフリーシャンク継ぎ手である。このようにすることによって、プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側で当接させ、受台の上面に対しプレス板の下面を傾斜した状態から平行状態に移行せる動作を円滑に行うことができる。
【0021】
(8)前記気密機構がO−リングであり、前記下固定枠上端面と前記上移動枠下端面とがO−リングを介して気密に当接することによって真空チェンバが形成される。
【0022】
(9)前記気密摺動機構は、下固定枠の上端部に設けた摺動部と上移動枠の対応する下端部に設けた起動摺動部とから構成され、下固定枠上端部の気密摺動部と上移動枠下端部の気密摺動部とが気密に摺動することによって下固定枠と上移動枠との間に気密性が確保されるようになっている。
【0023】
(10) 前記サーボストッパを上下2段の上サーボストッパ部と下サーボストッパ部とに分割し、少なくとも上サーボストッパ部と前記受台と下固定枠とを基台上に設置したスライドテーブル上に配置し、スライドテーブルをスライドさせ上サーボストッパ部と下サーボストッパ部と係合あるいは分離可能となっている。
【0024】
(11)前記被加工品が、ICカード、薄型ディスプレイ、燃料電池、太陽電池、実装回路基板、パッケージ素子、機能性新素材、層状半導体素子、層状有機EL等のフィルム積層状部材である。この場合には、本発明の真空プレス硬化装置は、該フィルム積層状部材の貼り合わせのために好適に用いられる。
【0025】
本発明は、さらに真空あるいはガス雰囲気加熱プレス方法を提供するもので、該真空あるいはガス雰囲気加熱プレス方法は、
(1)基台上に設置した被加工品の受台上に被加工品を配置し、
(2)該被加工品の回りに真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成し、
(3)該真空あるいはガス雰囲気チェンバを真空あるいは所定のガス雰囲気とし、
(4)プレス駆動装置によって、該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内で、プレス板を受台上の被加工品に当接させ、プレス板をさらに下降させることによって被加工品にプレス加工し、
(4)プレス加工の際に、受台及びプレス板の少なくともいずれか一方を介して被加工品を加熱するとともに、
(5)サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつあるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を行うことからなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0026】
以下に、図面を参照して本発明をより詳細に説明する。
図2において、本発明に係る真空プレス硬化装置は、基台21と、基台21上に設置した被加工品の受台22と、該受台22から間隔を置いて受台を取り囲むようにして該基台上に配置した下固定枠23と、該基台上方に配置した取付板24と、該取付板24の下に配置し、該受台と対向して配置したプレス板25と、該受台と該プレス板に設けたヒータ26−1、26−2と、該プレス板25を該受台22に対して近接、押圧、離間するよう移動するプレス板駆動装置27と、該プレス板から間隔を置いてプレス板25を取り囲むようにして該取付板から垂下した上移動枠28とを有する。該上移動枠28と該下固定枠23とはその開放面において対向しており、上移動枠28は下固定枠23に対して上下に移動して近接、離間することができるようになっている。
【0027】
本発明に係る真空プレス硬化装置は、さらに下固定枠23と上移動枠24との間に気密性を確保する気密機構29を有し、下固定枠23と、上移動枠28と、基台21と、取付板24(本実施態様では、取付板の下面に気密板24−1が設けられ、気密性を確保している)とによって真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成している。さらに、本発明に係る真空プレス硬化装置は、該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内を真空あるいは所定のガス雰囲気とするための真空吸引口あるいはガス導入口30と、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつあるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を可能とするサーボ機構31と、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態あるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品を加熱プレス処理すべく制御するプレス板駆動・サーボ機構制御装置(CPU)(図2のみに示す)を有する。
【0028】
受台22とヒータ26−1とは一体とされ、断熱板32−1、支柱33と断熱板32−2を介して、受台22とヒータ26−1は基台上に設置されている。一方プレス板25とヒータ26−2とは一体化され、断熱板34−1がヒータ26−2に取り付けられ、断熱板34−1は支柱35を介して断熱板34−2と一体化している。
【0029】
基台21は、下チェンバ受36を介して機台37に設置されている。機台上には複数のポール38が立設され、該ポール38に上記取付板24が摺動保持され、その上方でポールの上端部には上板39が固定され、上板39の上にプレス板駆動装置27が取り付けられている。プレス板駆動装置27のロッド27−1が取付板24及び気密板24−1を貫通し、断熱板34−2の上面にフリーシャンク継ぎ手42によって固定されている。
【0030】
サーボ機構31は、サーボモータ31−1と、サーボモータによって横方向に移動されるカム31−2と、該カムの移動に追随して上下動し受台の上面とプレス板の下面との距離を調整するサーボストッパ31−3とからなっている。サーボストッパ31−3の下端面がテーパ面とされ、前記カム31−3がテーパ面を有し、ストッパ下端テーパ面がカムのテーパ面に摺動可能に設置され、サーボモータ31−1により該カムを横方向に移動させることによって、該サーボストッパ31−3が上下に移動する。
【0031】
ストッパ31−3の下端テーパ面とカム31−2のテーパ面との摺動部が液蜜にオイルチェンバ40中に収納されている。40−1はオイルを示す。カムは、ボールねじ機構31−4によって横方向に移動するようになっている。図中、41−1乃至41−4及び41−6は気密性を保つためのOリングを示し、41−5は液蜜を保つためのOリングを示す。
【0032】
図6に前記サーボ機構31を詳細に示す。ただし、図6では、図示を簡便とするため、ストッパ取付構造を横方向に配置しているが、図2乃至図5から分かるようにストッパ取付構造は実際には前後配置としてあり、ヒータに接触するのを回避している。サーボモータ31−1は、サーボモータ軸45と、プーリ46と、サーボモータ軸45とプーリ46とに懸架されたタイミングベルト47とカバー48とを含み、プーリ47の回転がボールねじ31−4に伝えられ、カム34(ストッパ受台)を左右に移動させ、それによってサーボストッパ31−3を上下させるようになっている。サーボストッパ31−3は、上部サーボストッパ部31−3a、下部サーボストッパ部31−3bと上部サーボストッパ部31−3aを常時下部サーボストッパ部31−3bに付勢する付勢手段31−3cとで構成されている。付勢手段31−3cは、基台21に固定したツバ付ボルト31−3c1と、上部サーボストッパ部31−3aの下端部外周に固定したストッパ押さえ板31−3c2と、ツバ付ボルト31−3c1の外周に装着され上部サーボストッパ31−3aを下方へ付勢するスプリング31−3c3とを有する。下部ストッパ部は上部ストッパより大径とされ付勢手段によって常時下方に付勢されている。図中、49はベアリングを示し、50はガイド付き摺動台を示す。
【0033】
以下に、本発明に係る本実施態様の作動を、図2乃至図5に基づいて説明する。
図2において、被加工品を挿入していない状態で、プレスシリンダ27によって取付板(気密板24−1を含む)、プレス板25(ヒータ26−2、断熱板34−1,34−2、支柱35を含む)及び上移動枠を下降させ、プレス板25を受台22に当接させる。次に、サーボモータ31−1を起動し、ストッパ31−3の上端面をプレス板の下面に当接させ、この位置をゼロ点とする。なお、この状態ではヒータをオンとして、加熱膨張状態でゼロ点基準の設定ができる。
【0034】
図3に示すように、プレスシリンダ27によって取付板(気密板24−1を含む)、プレス板25(ヒータ26−2、断熱板34−1,34−2、支柱35を含む)及び上移動枠28を上昇させる。この状態で、サーボストッパ31−3はゼロ点位置に位置しており、被加工品Wを受台上面に設置する。
【0035】
次に、ストッパ31−3をゼロ点位置(起動開始状態)から被加工品の下降制御に必要な指定寸法だけ上昇をさせた後、プレスシリンダ27によってプレス板を下降させ、下固定枠の上端面と上移動枠の下端面とが当接した後、プレスシリンダ27を停止させて真空引きを開始する。図4参照。
【0036】
さらに、プレスシリンダでプレス板を下降させて、ストッパ31−3の上端面及び被加工品の上面にプレス板25の下面を当接させた後、プレス板駆動・サーボ機構制御装置により制御して、サーボストッパ31−3の上端面とプレス板の下面とを常時当接させた状態(または加圧力制御による離反当接の繰り返し状態)で、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品に対して加熱プレス処理する。これによって、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に常時維持しつつ、均一な厚さで被加工品を均一な所定の厚さに加熱プレス処理することが可能となる。図5参照。
【0037】
図7は、別のサーボ機構を示す。図7において、図6と同一類似の番号は同一または類似の部品を示し、その説明は省略する。本実施態様では、前記サーボ機構は、サーボモータ31−1と、サーボモータによって回転され上下方向に延びるサーボモータ軸45と、プーリ47を介してサーボモータ31−1によって回転され昇降されるボールねじ51、その上端部のサーボストッパ31−3とからなり、サーボストッパの上端面がプレス板25の下面に当接する。より詳しくは、プーリ軸がキー51によって固定されその上端部が回転送りねじ軸部53とされ、回転送りねじ軸部53は機台37に取り付けた送りねじ受部54と螺合している。回転送りねじ軸部53の上端面にはストッパ31−3が一体的に設けられている。本実施態様では直接プーリ軸で受けているが、プレス力の推進力が小さい場合には、直接送りねじで受けることができる。本実施態様では、軸が磨耗しても、ゼロ点合わせがその都度または定期的に行うことができるため所定の精度を維持することが可能となる。
【0038】
図8は、プレスシリンダ27のロッド27−1が取付板24の上面に直接フリーシャンク継ぎ手によって取り付けた実施態様を示す。本実施態様では、気密板24−1と上移動枠28とは一体とされ気密に取付板24に取り付けられるとともに、気密板中央部が断熱板34−2とされている。プレスシリンダ27によって取付板24と、上移動枠28とプレス板25とが下降された際にまず上移動枠28の内周面下端部が下固定枠23の外周部上端部とに気密に摺接するようになっており、該上移動枠28の内周面下端部と下固定枠23の外周部上端部とで気密部29を形成するようになっている。上移動枠28の内周面下端部が下固定枠23の外周部上端部と気密に摺接開始し、内部に気密チェンバが形成された後、気密チェンバ内部を真空吸引口を介して真空引きする。その後、さらに取付板24、上移動枠28、プレス板25を一体的に押下げて被加工に対して真空加熱プレスを行う。その他の点については、図1乃至図5の実施態様と同一である。
【0039】
図9は、サーボ機構31のサーボストッパ31−3を分離し、スライドテーブル55を設けて真空チェンバを前後に移動可能としたものである。本実施態様では、機台上37にスライドテーブル55を設置し、スライドテーブル55上に基台21と下固定枠23を固定し、上プレス板25を上に引き上げた状態で、スライドテーブル55によって基台21、受台22、下固定枠23を一体的に前後に移動することができるようにし、被加工品の着脱位置で被加工品を受台上に配置し、その後プレス加工位置に移動して加工をし、再度着脱位置に移動させてプレス加工品を取り除くことがすることが可能となり、それによって、自動化することも可能となる。
【0040】
本実施態様では、図6と同様、図示を簡便とするため、ストッパ取付構造を横方向に配置しているが、図2乃至図5から分かるようにストッパ取付構造は実際には前後配置としてある。サーボストッパ31−3を上部サーボストッパ部31−3d、中間サーボストッパ部31−3e、下部サーボストッパ部31−3f、上部サーボストッパ部31−3dを常時中間サーボストッパ部31−3eに付勢する付勢手段31−3cとで構成する。付勢手段31−3cは、図6と同様、基台21に固定したツバ付ボルト31−3c1と、上部サーボストッパ31−3dの下端部外周に固定したストッパ押さえ板31−3c2と、ツバ付ボルト31−3c1の外周に装着され上部サーボストッパ31−3aを下方へ付勢するスプリング31−3c3とを有する。中間サーボストッパ部31−3eの上面には頭部キャップ31−3e1が一体的に設けられ、頭部キャップ31−3e1の上下面はストッパ押さえ板31−3c2の下面と基台21の上面にそれぞれ当接している。
【0041】
カムが右側方向に移動させられると、付勢手段31−3cに抗して下部サーボストッパ部31−3f及び中間サーボストッパ部31−3eを介して上部サーボストッパ部31−3dが上方に移動する。一方、カムが左側に移動と、図9に示す状態となり、さらにカムを左側に移動させると、中間サーボストッパ部31−3eと下部サーボストッパ部31−3fとが分離し、この状態でスライドテーブル55によって基台21、受台22、下固定枠23を一体的に前後に移動することが可能となる。
【0042】
図10は、貼付け合わせ面での凹凸形状や粘性などにより、空気の追い出しにくい製品に有効な貼り合わせをするための実施態様であり、真空プレス硬化装置自体の基本構成は図1乃至図5の実施態様と同一である。
【0043】
左側ストッパ31−3をゼロ点位置(起動開始状態)から被加工品の指定寸法だけ上昇をさせ、一方右側ストッパ31−3を左側ストッパより若干高い位置まで上昇させた後、プレス板25を下降させ、下固定枠23の上端面と上移動枠28の下端面とを気密に当接させ真空吸引口を介して真空引きする。その際、あるいはその後プレス板をさらに下降させることによってプレス板と左側のストッパの上端面と当接させた後、右側ストッパを徐々に左側ストッパと同一の位置まで下げていくと、フリーシャンク継ぎ手42を介して左側ストッパ31−3を支点としてプレス板25が旋回し、プレス板25が徐々に被加工品Wの左側から右側に至るまで接触していき、貼り合わせ面に空気がこもっていたとしても真空下に空気を追い出すことが可能となる。その後、プレス板駆動・サーボ機構制御装置により、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品に対して加熱プレス処理すべく制御する。これによって、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に常時維持しつつ、均一な厚さで被加工品を均一な所定の厚さに加熱プレス処理することが可能となる。
【0044】
図11は、プレス板側に設けたヒータを紫外線ランプ60とした場合で、紫外線ランプ60は別体として取付板24と気密板24−1との間に設け、受台側にはヒータを設けない例を示す。被加工品に対して、光硬化を行うための実施態様であり、プレス板25と、チェンバ天井板61とはガラス製で光を透過するようになっており、上移動板28はロッドあるいは円筒状カバー62によって取付板24下方に固定されている。紫外線ランプ60は取付板24の下方でチェンバ天井板61の上方に固定されている。41−6,41−8,41−9はOリングを示す。本実施例では、被加工品をプレス加工する間に、紫外線ランプによって照射して光硬化を行う。基本的な動作は、前述の実施例と同様であるので省略する。
【0045】
上記実施態様では、プレス板駆動装置としてプレスシリンダを用いたが、サーボプレスを使用する方が良い場合もある。この場合はプレスの繰り返し加圧にて凹凸面を均一にしたり、紫外線硬化のための焦点深度を変えながら行う必要がある場合に特に適合する。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】(a)は、半導体素子封止構造を示し、(b)は、有機EL(エレクトロルミネッサンス)ディスプレイを示す。
【図2】本発明に係るヒータを備えた真空プレス硬化装置の一実施態様であり、ゼロ点合わせ工程を示す。
【図3】図2に示す実施態様において、取付板、プレス板及び上移動枠等を上昇させ、被加工品Wを受台上面に設置する工程を示す。
【図4】図2に示す実施態様において、ストッパをゼロ点位置(起動開始状態)から被加工品の指定寸法だけ上昇をさせた後、プレス板を下降させ、下固定枠の上端面と上移動枠の下端面とが当接せた状態を示す。
【図5】図2に示す実施態様において、サーボストッパの上端面とプレス板の下面とを常時当接させた状態で、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品に対して加熱プレス処理する工程を示す。
【図6】図2に示す実施態様のサーボ機構を拡大し詳細に示す。
【図7】別のサーボ機構を示す。
【図8】本発明に係る真空プレス硬化装置の別の実施態様を示す。
【図9】スライドテーブルを備えたさらに別のサーボ機構を示す。
【図10】図2に示す実施態様において、プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理する工程を示す。
【図11】紫外線ランプを備えた本発明に係る真空プレス硬化装置の別の実施態様を示す。
【符号の説明】
【0047】
21・・・基台、22・・・被加工品用受台、23・・・下固定枠、24・・・取付板、25・・・プレス板、26−1,26−2・・・ヒータ、27・・・プレス板駆動装置、28・・・上移動枠、29・・・気密機構、30・・・真空吸引口(ガス雰囲気)、31・・・サーボ機構、CPU・・・プレス板駆動・サーボ機構制御装置32−1,32−2・・・断熱版、36・・・下チェンバ受、37・・・機台
【技術分野】
【0001】
本発明は、薄い被加工品に対して真空あるいはガス雰囲気においてプレス硬化処理する真空プレス硬化装置および方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、薄い被加工品に対して真空あるいはガス雰囲気において加熱プレス処理する真空プレス硬化装置としては、1軸直動式サーボモータ装置と多軸直動式サーボモータが知られている。
【0003】
1軸直動式サーボモータ装置では、プレス板と直結させたサーボシリンダをフレーム中央に固定させたサーボプレスを用いている。サーボプレスは、空圧や油圧プレスと異なり、サーボシリンダ下降時に任意の押圧制御と、下降端停止位置の制御、及び下降途中の上下動の繰り返し動作制御等がデジタル制御できることが知られている。
【0004】
一方、多軸直動式サーボモータ装置では、プレス板と直結させた2から4軸のサーボシリンダをフレームに固定させたサーボプレスとを用いている。本装置では、サーボシリンダ下降時に任意のプレス圧制御と、外周部に設置されたリニアスケール情報によりプレス板の平行移動を制御し、平行度を合わせながら4軸の下降スピードを同期させることができるようになっている。本装置は、常温下での金属鍛造プレスする用途に用いるもので、一般的に偏荷重への対応、平行下降移動による型寿命の向上、停止位置精度の確保が目的となっている。(特許文献1参照。)
【0005】
しかしながら、上記サーボプレスを真空加熱プレスに適用しようとすると以下の問題点があった。即ち、外周部に設置したリニアスケールによりプレス板と被加工品との平行度を感知しプレス板の平行移動を制御してプレス加工する構成とすると、リニアスケール装置を真空チェンバ中に収納させる必要があり、真空中でのリニアスケールの設置が難しく、プレス板のヒータ熱の影響を受けるため、一定の距離に離さなければならず、真空室がより大型化して真空引き時間が増加してしまう。また、加熱プレス加工に使用する場合は、プレス板にヒータを設けてサーボシリンダ構造と直結しているため、サーボシリンダの送りねじの膨張の影響で同一位置での加圧力が次第に増加する問題がある。
【0006】
一方、最近の積層基板やICカードは、より軽薄短小が進み、多機能化して、FPC(フレキシブル印刷配線基板)のみではなく、電子部品(IC,コンデンサ、抵抗など)が熱硬化性あるいは紫外線硬化性の軟質絶縁性の接着シートで挟みこまれ積層パッケージ化される時代となっている。その他、有機EL等のガラスディスプレイ製品や、アンテナ内蔵のカード製品、カーボン繊維等を織り込んだ複合強化材等の積層貼り合わせや、特殊な用途ではガラスにパターンをレーザ加工して、樹脂板に熱転写するナノインプリント技術等、真空中で一定時間内、適合する温度条件と、内部を破壊させない微妙なプレス圧と、硬化後の均一な厚みを必要とする製品作りを対象としてきている。
【0007】
図1(a)は、半導体素子封止構造を示し、1はポリイミド樹脂シート、2は銅箔(配線回路)、3は端子ゲート、4は半導体素子、5は熱硬化性軟質樹脂シート、6はポリイミド樹脂シートである。また、図1(b)は、有機EL(エレクトロルミネッサンス)ディスプレイを示し、7はガラス板、8は電極パターン(+)、9は有機発光層、10は電極パターン(−)、11はポリイミド樹脂シートである。また、太陽電池は、有機ELディスプレイの有機EL層の代わりに電解イオン拡散層を入れている。これらのものでは、いずれも中間に軟質材があり、熱硬化性接着剤か紫外線硬化性硬化剤で封止され、均一な厚み寸法を必要としている。
【0008】
本出願人の従来の方式では、常温使用の場合に、直動式サーボプレスに真空チェンバを搭載した直動式プレス装置を使用しているが、サーボシリンダとプレス板とをフリーシャンク継ぎ手で分離させ、製品に沿って均一にプレスすることが目的で、製品の厚みの平行だしは製品の外周にプレートを敷いて、治具プレートに押し当て均一にしている。多軸均等押しする出願でも下降時は自重でつり降ろし、低圧で製品に押し当て板を着地させてから、一切にシリンダに均一な加圧を加えて均一押しする方式を出願している。(特許文献2参照。)
【0009】
さらに、上記従来の方式の常温での金属鍛造の精密プレス加工を目的としたものでは、サーボシリンダは直結固定されてプレス板を平行移動させ、その状態で下降端の停止位置の平行精度維持を図ろうとしている。
【0010】
【特許文献1】特開2003−230995号公報
【特許文献2】特開2001−47288号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0011】
本発明は、受台の上面に対しプレス板の下面を水平あるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理すべく制御するプレス板駆動・サーボ機構制御装置とからなる、小型化が可能で確実なプレス硬化処理が可能な真空プレス硬化装置を提供することを目的とする。
【0012】
本発明に係る真空プレス硬化装置は、
(1)基台と、
(2)基台上に設置した被加工品の受台と、
(3)該受台から間隔を置いて受台を取り囲むようにして該基台上に配置した下固定枠と、
(4)該基台上方に配置した取付板と、
(5)該取付板の下に配置し、該受台と対向して配置したプレス板と、
(6)該受台と該プレス板の少なくともいずれか一方に設けた硬化手段と、
(7)該プレス板を該受台に対して近接、押圧、離間するよう移動するプレス板駆動装置と、
(8)該プレス板から間隔を置いてプレス板を取り囲むようにして該取付板から垂下した上移動枠であって、該上移動枠と該下固定枠とはその開放面において対向しており、上移動枠は下固定枠に対して上下に移動して近接、離間することができるようになっており、
(9)下固定枠と上移動枠との間に気密性を確保する気密機構であって、下固定枠と、上移動枠と、基台と、取付板とによって真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成する気密機構と、
(10)該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内を真空あるいは所定のガス雰囲気とするための真空吸引口あるいはガス導入口と、
(11)該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつあるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を可能とするサーボ機構と、
(12)サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、あるいはプレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理すべく制御するプレス板駆動・サーボ機構制御装置とからなる。
【0013】
本発明に係る真空プレス硬化装置によれば、プレス板駆動によって該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、プレス板駆動・サーボ機構制御装置によってプレス板駆動装置およびサーボ機構を制御して受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態あるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス処理し、絶えず下降端の均等押しと、停止位置の平行度管理を行い、真空中あるいはガス雰囲気中の加熱下のもと、平行度読み取りリニアスケールを使うことなく、均等な厚みで硬化処理を行いつつ貼り付け作業を行うことが可能となる。なお、プレス板駆動装置としては、空圧シリンダ、油圧シリンダあるいはサーボシリンダを用いることができる。また、硬化には、熱硬化、光硬化等を含むものとする。また、一般的に積層体を貼り合わせる場合には接着剤は硬化して固化し硬くなるが、本明細書で言う「硬化」には、プレス硬化したフレキシブルPC基板のように折れ曲がることを許容する場合も含む。また、本発明では、加熱酸化防止のため真空チェンバ内を予め一時的に不活性ガス(N2、Ar等)のガス雰囲気として、その後真空とする場合にも用いることができる。
【0014】
以下に、本発明に係る真空プレス硬化装置の好ましい実施態様を挙げる。それらを組み合わせた実施態様も、本発明と矛盾しない限り本発明の好ましい態様である。
(1−1)硬化手段が、ヒータである。硬化手段をヒータとすることによって、真空中あるいはガス雰囲気中の加熱下のもと、平行度読み取りリニアスケールを使うことなく、均等な厚みで硬化処理を行いつつ貼り付け作業を行うことが可能となる。この実施態様は、中間層として熱硬化性樹脂を用いる場合が特に適合する。
(1−2)硬化手段が、紫外線照射手段である。硬化手段を紫外線手段とし、真空中あるいはガス雰囲気中で紫外線照射のもと、平行度読み取りリニアスケールを使うことなく、均等な厚みで紫外線硬化処理を行いつつ貼り付け作業を行うことが可能となる。この実施態様は、中間層として紫外線硬化性樹脂を用いる場合が特に適合する。また、紫外線を被加工品に照射するため、プレス板に紫外線照射手段を設ける場合にはプレス板の少なくとも一部をガラス板等で光透過とする。
(1−3)前記サーボ機構は、サーボモータと、サーボモータによって移動されるカムと、該カムの移動に追随して受台の上面とプレス板の下面との距離を調整するサーボストッパとからなる。さらに、サーボストッパの上部を基台から真空あるいはガス雰囲気チェンバ中に気密に突出させることができる。この場合には、サーボストッパの上部のみ真空あるいはガス雰囲気チェンバ中に突出させサーボ機構のサーボモータとカムとを基台下方あるいは真空あるいはガス雰囲気チェンバの外側に配置するので、該チェンバの大きさを左程大きくする必要がない。
【0015】
(2)前記サーボストッパの下端面がテーパ面とされ、前記カムがテーパ面を有し、ストッパ下端テーパ面がカムのテーパ面に摺動可能に設置され、サーボモータにより該カムを横方向に移動させることによって、該サーボストッパが上下に移動する。この場合には、カムの横方向の摺動の移動距離とサーボストッパの上下移動距離との相関関係が単純となり、サーボストッパにかかるプレス加圧時の受け力が分散されて大幅に軽減され、サーボ機構がすべて小型化でき、プレス板駆動・サーボ駆動制御装置による制御が容易となる。
【0016】
(3)少なくとも前記ストッパ下端テーパ面とカムのテーパ面との摺動部を液蜜にオイルチェンバ中に収納している。このようにすることにより、ストッパ下端テーパ面とカムのテーパ面との摺動摩耗を低減するとともに、摺動動作を円滑に行うことができる。但し低加圧のみの場合はオイル塗布程度でもよい。
【0017】
(4)前記サーボ機構が、サーボモータと、プーリと、プーリを介してサーボモータによって回転され上下に昇降されるボールねじで構成されるサーボストッパとからなり、サーボストッパの上端面が上押プレス部材の下面に当接する。このようにすることによって、サーボモータの回転をプーリを介して直接ボールねじで構成されるサーボストッパにより推進力とすることができ、またサーボストッパが摩耗しても、動作開始ごとまたは必要に応じて原点補正のゼロ点合わせを容易に行うことができる。この実施態様は、必要とされる推進力が小さい場合に特に適合する。なお、本実施態様では、プーリを用いているが、プーリの代わりに、ギアを介して直結させれば、サーボ機構を小型化することができる。
【0018】
(5)前記プレス板駆動装置はプレスシリンダとロッドとからなり、該ロッドが前記取付板を貫通しロッドの下端部が継ぎ手によってプレス板に連結されている。この場合は、真空引き時に、真空チェンバの重量や、真空チェンバにかかる大気圧力を防ぐことができる比較的低加圧範囲まで制御したいものに適している。
【0019】
(6)前記プレス板は前記取付板の下面に固定され、前記プレス板駆動装置はプレスシリンダとロッドとからなり、該ロッドの下端部が継ぎ手によって取付板に連結されている。この場合は、真空引き時に、真空チェンバの重量や、真空チェンバにかかる大気圧力までを加算できるため比較的高加圧制御したいものに適している。
【0020】
(7)前記継ぎ手がフリーシャンク継ぎ手である。このようにすることによって、プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側で当接させ、受台の上面に対しプレス板の下面を傾斜した状態から平行状態に移行せる動作を円滑に行うことができる。
【0021】
(8)前記気密機構がO−リングであり、前記下固定枠上端面と前記上移動枠下端面とがO−リングを介して気密に当接することによって真空チェンバが形成される。
【0022】
(9)前記気密摺動機構は、下固定枠の上端部に設けた摺動部と上移動枠の対応する下端部に設けた起動摺動部とから構成され、下固定枠上端部の気密摺動部と上移動枠下端部の気密摺動部とが気密に摺動することによって下固定枠と上移動枠との間に気密性が確保されるようになっている。
【0023】
(10) 前記サーボストッパを上下2段の上サーボストッパ部と下サーボストッパ部とに分割し、少なくとも上サーボストッパ部と前記受台と下固定枠とを基台上に設置したスライドテーブル上に配置し、スライドテーブルをスライドさせ上サーボストッパ部と下サーボストッパ部と係合あるいは分離可能となっている。
【0024】
(11)前記被加工品が、ICカード、薄型ディスプレイ、燃料電池、太陽電池、実装回路基板、パッケージ素子、機能性新素材、層状半導体素子、層状有機EL等のフィルム積層状部材である。この場合には、本発明の真空プレス硬化装置は、該フィルム積層状部材の貼り合わせのために好適に用いられる。
【0025】
本発明は、さらに真空あるいはガス雰囲気加熱プレス方法を提供するもので、該真空あるいはガス雰囲気加熱プレス方法は、
(1)基台上に設置した被加工品の受台上に被加工品を配置し、
(2)該被加工品の回りに真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成し、
(3)該真空あるいはガス雰囲気チェンバを真空あるいは所定のガス雰囲気とし、
(4)プレス駆動装置によって、該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内で、プレス板を受台上の被加工品に当接させ、プレス板をさらに下降させることによって被加工品にプレス加工し、
(4)プレス加工の際に、受台及びプレス板の少なくともいずれか一方を介して被加工品を加熱するとともに、
(5)サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつあるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を行うことからなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0026】
以下に、図面を参照して本発明をより詳細に説明する。
図2において、本発明に係る真空プレス硬化装置は、基台21と、基台21上に設置した被加工品の受台22と、該受台22から間隔を置いて受台を取り囲むようにして該基台上に配置した下固定枠23と、該基台上方に配置した取付板24と、該取付板24の下に配置し、該受台と対向して配置したプレス板25と、該受台と該プレス板に設けたヒータ26−1、26−2と、該プレス板25を該受台22に対して近接、押圧、離間するよう移動するプレス板駆動装置27と、該プレス板から間隔を置いてプレス板25を取り囲むようにして該取付板から垂下した上移動枠28とを有する。該上移動枠28と該下固定枠23とはその開放面において対向しており、上移動枠28は下固定枠23に対して上下に移動して近接、離間することができるようになっている。
【0027】
本発明に係る真空プレス硬化装置は、さらに下固定枠23と上移動枠24との間に気密性を確保する気密機構29を有し、下固定枠23と、上移動枠28と、基台21と、取付板24(本実施態様では、取付板の下面に気密板24−1が設けられ、気密性を確保している)とによって真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成している。さらに、本発明に係る真空プレス硬化装置は、該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内を真空あるいは所定のガス雰囲気とするための真空吸引口あるいはガス導入口30と、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつあるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を可能とするサーボ機構31と、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態あるいは傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品を加熱プレス処理すべく制御するプレス板駆動・サーボ機構制御装置(CPU)(図2のみに示す)を有する。
【0028】
受台22とヒータ26−1とは一体とされ、断熱板32−1、支柱33と断熱板32−2を介して、受台22とヒータ26−1は基台上に設置されている。一方プレス板25とヒータ26−2とは一体化され、断熱板34−1がヒータ26−2に取り付けられ、断熱板34−1は支柱35を介して断熱板34−2と一体化している。
【0029】
基台21は、下チェンバ受36を介して機台37に設置されている。機台上には複数のポール38が立設され、該ポール38に上記取付板24が摺動保持され、その上方でポールの上端部には上板39が固定され、上板39の上にプレス板駆動装置27が取り付けられている。プレス板駆動装置27のロッド27−1が取付板24及び気密板24−1を貫通し、断熱板34−2の上面にフリーシャンク継ぎ手42によって固定されている。
【0030】
サーボ機構31は、サーボモータ31−1と、サーボモータによって横方向に移動されるカム31−2と、該カムの移動に追随して上下動し受台の上面とプレス板の下面との距離を調整するサーボストッパ31−3とからなっている。サーボストッパ31−3の下端面がテーパ面とされ、前記カム31−3がテーパ面を有し、ストッパ下端テーパ面がカムのテーパ面に摺動可能に設置され、サーボモータ31−1により該カムを横方向に移動させることによって、該サーボストッパ31−3が上下に移動する。
【0031】
ストッパ31−3の下端テーパ面とカム31−2のテーパ面との摺動部が液蜜にオイルチェンバ40中に収納されている。40−1はオイルを示す。カムは、ボールねじ機構31−4によって横方向に移動するようになっている。図中、41−1乃至41−4及び41−6は気密性を保つためのOリングを示し、41−5は液蜜を保つためのOリングを示す。
【0032】
図6に前記サーボ機構31を詳細に示す。ただし、図6では、図示を簡便とするため、ストッパ取付構造を横方向に配置しているが、図2乃至図5から分かるようにストッパ取付構造は実際には前後配置としてあり、ヒータに接触するのを回避している。サーボモータ31−1は、サーボモータ軸45と、プーリ46と、サーボモータ軸45とプーリ46とに懸架されたタイミングベルト47とカバー48とを含み、プーリ47の回転がボールねじ31−4に伝えられ、カム34(ストッパ受台)を左右に移動させ、それによってサーボストッパ31−3を上下させるようになっている。サーボストッパ31−3は、上部サーボストッパ部31−3a、下部サーボストッパ部31−3bと上部サーボストッパ部31−3aを常時下部サーボストッパ部31−3bに付勢する付勢手段31−3cとで構成されている。付勢手段31−3cは、基台21に固定したツバ付ボルト31−3c1と、上部サーボストッパ部31−3aの下端部外周に固定したストッパ押さえ板31−3c2と、ツバ付ボルト31−3c1の外周に装着され上部サーボストッパ31−3aを下方へ付勢するスプリング31−3c3とを有する。下部ストッパ部は上部ストッパより大径とされ付勢手段によって常時下方に付勢されている。図中、49はベアリングを示し、50はガイド付き摺動台を示す。
【0033】
以下に、本発明に係る本実施態様の作動を、図2乃至図5に基づいて説明する。
図2において、被加工品を挿入していない状態で、プレスシリンダ27によって取付板(気密板24−1を含む)、プレス板25(ヒータ26−2、断熱板34−1,34−2、支柱35を含む)及び上移動枠を下降させ、プレス板25を受台22に当接させる。次に、サーボモータ31−1を起動し、ストッパ31−3の上端面をプレス板の下面に当接させ、この位置をゼロ点とする。なお、この状態ではヒータをオンとして、加熱膨張状態でゼロ点基準の設定ができる。
【0034】
図3に示すように、プレスシリンダ27によって取付板(気密板24−1を含む)、プレス板25(ヒータ26−2、断熱板34−1,34−2、支柱35を含む)及び上移動枠28を上昇させる。この状態で、サーボストッパ31−3はゼロ点位置に位置しており、被加工品Wを受台上面に設置する。
【0035】
次に、ストッパ31−3をゼロ点位置(起動開始状態)から被加工品の下降制御に必要な指定寸法だけ上昇をさせた後、プレスシリンダ27によってプレス板を下降させ、下固定枠の上端面と上移動枠の下端面とが当接した後、プレスシリンダ27を停止させて真空引きを開始する。図4参照。
【0036】
さらに、プレスシリンダでプレス板を下降させて、ストッパ31−3の上端面及び被加工品の上面にプレス板25の下面を当接させた後、プレス板駆動・サーボ機構制御装置により制御して、サーボストッパ31−3の上端面とプレス板の下面とを常時当接させた状態(または加圧力制御による離反当接の繰り返し状態)で、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品に対して加熱プレス処理する。これによって、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に常時維持しつつ、均一な厚さで被加工品を均一な所定の厚さに加熱プレス処理することが可能となる。図5参照。
【0037】
図7は、別のサーボ機構を示す。図7において、図6と同一類似の番号は同一または類似の部品を示し、その説明は省略する。本実施態様では、前記サーボ機構は、サーボモータ31−1と、サーボモータによって回転され上下方向に延びるサーボモータ軸45と、プーリ47を介してサーボモータ31−1によって回転され昇降されるボールねじ51、その上端部のサーボストッパ31−3とからなり、サーボストッパの上端面がプレス板25の下面に当接する。より詳しくは、プーリ軸がキー51によって固定されその上端部が回転送りねじ軸部53とされ、回転送りねじ軸部53は機台37に取り付けた送りねじ受部54と螺合している。回転送りねじ軸部53の上端面にはストッパ31−3が一体的に設けられている。本実施態様では直接プーリ軸で受けているが、プレス力の推進力が小さい場合には、直接送りねじで受けることができる。本実施態様では、軸が磨耗しても、ゼロ点合わせがその都度または定期的に行うことができるため所定の精度を維持することが可能となる。
【0038】
図8は、プレスシリンダ27のロッド27−1が取付板24の上面に直接フリーシャンク継ぎ手によって取り付けた実施態様を示す。本実施態様では、気密板24−1と上移動枠28とは一体とされ気密に取付板24に取り付けられるとともに、気密板中央部が断熱板34−2とされている。プレスシリンダ27によって取付板24と、上移動枠28とプレス板25とが下降された際にまず上移動枠28の内周面下端部が下固定枠23の外周部上端部とに気密に摺接するようになっており、該上移動枠28の内周面下端部と下固定枠23の外周部上端部とで気密部29を形成するようになっている。上移動枠28の内周面下端部が下固定枠23の外周部上端部と気密に摺接開始し、内部に気密チェンバが形成された後、気密チェンバ内部を真空吸引口を介して真空引きする。その後、さらに取付板24、上移動枠28、プレス板25を一体的に押下げて被加工に対して真空加熱プレスを行う。その他の点については、図1乃至図5の実施態様と同一である。
【0039】
図9は、サーボ機構31のサーボストッパ31−3を分離し、スライドテーブル55を設けて真空チェンバを前後に移動可能としたものである。本実施態様では、機台上37にスライドテーブル55を設置し、スライドテーブル55上に基台21と下固定枠23を固定し、上プレス板25を上に引き上げた状態で、スライドテーブル55によって基台21、受台22、下固定枠23を一体的に前後に移動することができるようにし、被加工品の着脱位置で被加工品を受台上に配置し、その後プレス加工位置に移動して加工をし、再度着脱位置に移動させてプレス加工品を取り除くことがすることが可能となり、それによって、自動化することも可能となる。
【0040】
本実施態様では、図6と同様、図示を簡便とするため、ストッパ取付構造を横方向に配置しているが、図2乃至図5から分かるようにストッパ取付構造は実際には前後配置としてある。サーボストッパ31−3を上部サーボストッパ部31−3d、中間サーボストッパ部31−3e、下部サーボストッパ部31−3f、上部サーボストッパ部31−3dを常時中間サーボストッパ部31−3eに付勢する付勢手段31−3cとで構成する。付勢手段31−3cは、図6と同様、基台21に固定したツバ付ボルト31−3c1と、上部サーボストッパ31−3dの下端部外周に固定したストッパ押さえ板31−3c2と、ツバ付ボルト31−3c1の外周に装着され上部サーボストッパ31−3aを下方へ付勢するスプリング31−3c3とを有する。中間サーボストッパ部31−3eの上面には頭部キャップ31−3e1が一体的に設けられ、頭部キャップ31−3e1の上下面はストッパ押さえ板31−3c2の下面と基台21の上面にそれぞれ当接している。
【0041】
カムが右側方向に移動させられると、付勢手段31−3cに抗して下部サーボストッパ部31−3f及び中間サーボストッパ部31−3eを介して上部サーボストッパ部31−3dが上方に移動する。一方、カムが左側に移動と、図9に示す状態となり、さらにカムを左側に移動させると、中間サーボストッパ部31−3eと下部サーボストッパ部31−3fとが分離し、この状態でスライドテーブル55によって基台21、受台22、下固定枠23を一体的に前後に移動することが可能となる。
【0042】
図10は、貼付け合わせ面での凹凸形状や粘性などにより、空気の追い出しにくい製品に有効な貼り合わせをするための実施態様であり、真空プレス硬化装置自体の基本構成は図1乃至図5の実施態様と同一である。
【0043】
左側ストッパ31−3をゼロ点位置(起動開始状態)から被加工品の指定寸法だけ上昇をさせ、一方右側ストッパ31−3を左側ストッパより若干高い位置まで上昇させた後、プレス板25を下降させ、下固定枠23の上端面と上移動枠28の下端面とを気密に当接させ真空吸引口を介して真空引きする。その際、あるいはその後プレス板をさらに下降させることによってプレス板と左側のストッパの上端面と当接させた後、右側ストッパを徐々に左側ストッパと同一の位置まで下げていくと、フリーシャンク継ぎ手42を介して左側ストッパ31−3を支点としてプレス板25が旋回し、プレス板25が徐々に被加工品Wの左側から右側に至るまで接触していき、貼り合わせ面に空気がこもっていたとしても真空下に空気を追い出すことが可能となる。その後、プレス板駆動・サーボ機構制御装置により、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品に対して加熱プレス処理すべく制御する。これによって、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に常時維持しつつ、均一な厚さで被加工品を均一な所定の厚さに加熱プレス処理することが可能となる。
【0044】
図11は、プレス板側に設けたヒータを紫外線ランプ60とした場合で、紫外線ランプ60は別体として取付板24と気密板24−1との間に設け、受台側にはヒータを設けない例を示す。被加工品に対して、光硬化を行うための実施態様であり、プレス板25と、チェンバ天井板61とはガラス製で光を透過するようになっており、上移動板28はロッドあるいは円筒状カバー62によって取付板24下方に固定されている。紫外線ランプ60は取付板24の下方でチェンバ天井板61の上方に固定されている。41−6,41−8,41−9はOリングを示す。本実施例では、被加工品をプレス加工する間に、紫外線ランプによって照射して光硬化を行う。基本的な動作は、前述の実施例と同様であるので省略する。
【0045】
上記実施態様では、プレス板駆動装置としてプレスシリンダを用いたが、サーボプレスを使用する方が良い場合もある。この場合はプレスの繰り返し加圧にて凹凸面を均一にしたり、紫外線硬化のための焦点深度を変えながら行う必要がある場合に特に適合する。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】(a)は、半導体素子封止構造を示し、(b)は、有機EL(エレクトロルミネッサンス)ディスプレイを示す。
【図2】本発明に係るヒータを備えた真空プレス硬化装置の一実施態様であり、ゼロ点合わせ工程を示す。
【図3】図2に示す実施態様において、取付板、プレス板及び上移動枠等を上昇させ、被加工品Wを受台上面に設置する工程を示す。
【図4】図2に示す実施態様において、ストッパをゼロ点位置(起動開始状態)から被加工品の指定寸法だけ上昇をさせた後、プレス板を下降させ、下固定枠の上端面と上移動枠の下端面とが当接せた状態を示す。
【図5】図2に示す実施態様において、サーボストッパの上端面とプレス板の下面とを常時当接させた状態で、受台の上面に対しプレス板の下面を平行状態に維持しつつ該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品に対して加熱プレス処理する工程を示す。
【図6】図2に示す実施態様のサーボ機構を拡大し詳細に示す。
【図7】別のサーボ機構を示す。
【図8】本発明に係る真空プレス硬化装置の別の実施態様を示す。
【図9】スライドテーブルを備えたさらに別のサーボ機構を示す。
【図10】図2に示す実施態様において、プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理する工程を示す。
【図11】紫外線ランプを備えた本発明に係る真空プレス硬化装置の別の実施態様を示す。
【符号の説明】
【0047】
21・・・基台、22・・・被加工品用受台、23・・・下固定枠、24・・・取付板、25・・・プレス板、26−1,26−2・・・ヒータ、27・・・プレス板駆動装置、28・・・上移動枠、29・・・気密機構、30・・・真空吸引口(ガス雰囲気)、31・・・サーボ機構、CPU・・・プレス板駆動・サーボ機構制御装置32−1,32−2・・・断熱版、36・・・下チェンバ受、37・・・機台
【特許請求の範囲】
【請求項1】
(1)基台と、
(2)基台上に設置した被加工品の受台と、
(3)該受台から間隔を置いて受台を取り囲むようにして該基台上に配置した下固定枠と、
(4)該基台上方に配置した取付板と、
(5)該取付板の下に配置し、該受台と対向して配置したプレス板と、
(6)該受台と該プレス板の少なくともいずれか一方に設けた硬化手段と、
(7)該プレス板を該受台に対して近接、押圧、離間するよう移動するプレス板駆動装置と、
(8)該プレス板から間隔を置いてプレス板を取り囲むようにして該取付板から垂下した上移動枠であって、該上移動枠と該下固定枠とはその開放面において対向しており、上移動枠は下固定枠に対して上下に移動して近接、離間することができるようになっており、
(9)下固定枠と上移動枠との間に気密性を確保する気密機構であって、下固定枠と、上移動枠と、基台と、取付板とによって真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成する気密機構と、
(10)該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内を真空あるいは所定のガス雰囲気とするための真空吸引口あるいはガス導入口と、
(11)該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、あるいはプレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を可能とするサーボ機構と、
(12)サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、あるいはプレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理すべく制御するプレス板駆動・サーボ機構制御装置とからなる、真空プレス硬化装置。
【請求項2】
前記硬化手段がヒータである、請求項1の真空プレス硬化装置。
【請求項3】
前記硬化手段が紫外線照射手段である、請求項1の真空プレス硬化装置。
【請求項4】
前記サーボ機構は、サーボモータと、サーボモータによって移動されるカムと、該カムの移動に追随して受台の上面とプレス板の下面との距離を調整するサーボストッパとからなる、請求項1乃至3のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項5】
前記サーボストッパの下端面がテーパ面とされ、前記カムがテーパ面を有し、ストッパ下端テーパ面がカムのテーパ面に摺動可能に設置され、サーボモータにより該カムを横方向に移動させることによって、該サーボストッパが上下に移動する、請求項4に記載の真空プレス硬化装置。
【請求項6】
少なくとも前記ストッパ下端テーパ面とカムのテーパ面との摺動部を液蜜にオイルチェンバ中に収納している、請求項5の真空プレス硬化装置。
【請求項7】
前記サーボ機構が、サーボモータと、プーリと、プーリを介してサーボモータによって回転され上下に昇降されるボールねじで構成されるサーボストッパとからなり、サーボストッパの上端面が上押プレス部材の下面に当接する、請求項4に記載の真空プレス硬化装置。
【請求項8】
前記プレス板駆動装置はプレスシリンダとロッドとからなり、該ロッドが前記取付板を貫通しロッドの下端部が継ぎ手によってプレス板に連結されている、請求項1乃至4のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項9】
前記プレス板は前記取付板の下面に設置され、前記プレス板駆動装置はプレスシリンダとロッドとからなり、該ロッドの下端部が継ぎ手によって取付板に連結されている、請求項1乃至7のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項10】
前記継ぎ手がフリーシャンク継ぎ手である、請求項8あるいは9に記載の真空プレス硬化装置。
【請求項11】
前記気密機構がO−リングであり、前記下固定枠上端面と前記上移動枠下端面とがO−リングを介して気密に当接することによって真空チェンバが形成される、請求項1乃至10のいずれかの真空プレス硬化装置。
【請求項12】
前記気密摺動機構は、下固定枠の上端部に設けた摺動部と上移動枠の対応する下端部に設けた起動摺動部とから構成され、下固定枠上端部の気密摺動部と上移動枠下端部の気密摺動部とが気密に摺動することによって下固定枠と上移動枠との間に気密性が確保されるようになっている、請求項1乃至11のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項13】
前記サーボストッパを上下2段の上サーボストッパ部と下サーボストッパ部とに分割し、少なくとも上サーボストッパ部と前記受台と下固定枠とを基台上に設置したスライドテーブル上に配置し、スライドテーブルをスライドさせ上サーボストッパ部と下サーボストッパ部と係合あるいは分離可能となっている、請求項4乃至12のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項14】
前記被加工品がICカード、薄型ディスプレイ、燃料電池、太陽電池、実装回路基板、パッケージ素子、機能性新素材、層状半導体素子、層状有機EL等のフィルム積層状部材であり、該フィルム積層状部材の貼り合わせのために用いる、請求項1乃至13のいずれかの真空プレス硬化装置。
【請求項15】
(1)基台上に設置した被加工品の受台上に被加工品を配置し、
(2)該被加工品の回りに真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成し、
(3)該真空あるいはガス雰囲気チェンバを真空あるいは所定のガス雰囲気とし、
(4)プレス駆動装置によって、該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内で、プレス板を受台上の被加工品に当接させ、プレス板をさらに下降させることによって被加工品にプレス加工し、
(4)プレス加工の際に、受台及びプレス板の少なくともいずれか一方を介して被加工品を加熱または紫外線照射するとともに、
(5)サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、あるいはプレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を行う、真空プレス硬化方法。
【請求項1】
(1)基台と、
(2)基台上に設置した被加工品の受台と、
(3)該受台から間隔を置いて受台を取り囲むようにして該基台上に配置した下固定枠と、
(4)該基台上方に配置した取付板と、
(5)該取付板の下に配置し、該受台と対向して配置したプレス板と、
(6)該受台と該プレス板の少なくともいずれか一方に設けた硬化手段と、
(7)該プレス板を該受台に対して近接、押圧、離間するよう移動するプレス板駆動装置と、
(8)該プレス板から間隔を置いてプレス板を取り囲むようにして該取付板から垂下した上移動枠であって、該上移動枠と該下固定枠とはその開放面において対向しており、上移動枠は下固定枠に対して上下に移動して近接、離間することができるようになっており、
(9)下固定枠と上移動枠との間に気密性を確保する気密機構であって、下固定枠と、上移動枠と、基台と、取付板とによって真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成する気密機構と、
(10)該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内を真空あるいは所定のガス雰囲気とするための真空吸引口あるいはガス導入口と、
(11)該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、あるいはプレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を可能とするサーボ機構と、
(12)サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、あるいはプレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態を維持しつつ、該プレス板駆動装置によってプレス板を下降させて受台の上面に設置した被加工品をプレス硬化処理すべく制御するプレス板駆動・サーボ機構制御装置とからなる、真空プレス硬化装置。
【請求項2】
前記硬化手段がヒータである、請求項1の真空プレス硬化装置。
【請求項3】
前記硬化手段が紫外線照射手段である、請求項1の真空プレス硬化装置。
【請求項4】
前記サーボ機構は、サーボモータと、サーボモータによって移動されるカムと、該カムの移動に追随して受台の上面とプレス板の下面との距離を調整するサーボストッパとからなる、請求項1乃至3のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項5】
前記サーボストッパの下端面がテーパ面とされ、前記カムがテーパ面を有し、ストッパ下端テーパ面がカムのテーパ面に摺動可能に設置され、サーボモータにより該カムを横方向に移動させることによって、該サーボストッパが上下に移動する、請求項4に記載の真空プレス硬化装置。
【請求項6】
少なくとも前記ストッパ下端テーパ面とカムのテーパ面との摺動部を液蜜にオイルチェンバ中に収納している、請求項5の真空プレス硬化装置。
【請求項7】
前記サーボ機構が、サーボモータと、プーリと、プーリを介してサーボモータによって回転され上下に昇降されるボールねじで構成されるサーボストッパとからなり、サーボストッパの上端面が上押プレス部材の下面に当接する、請求項4に記載の真空プレス硬化装置。
【請求項8】
前記プレス板駆動装置はプレスシリンダとロッドとからなり、該ロッドが前記取付板を貫通しロッドの下端部が継ぎ手によってプレス板に連結されている、請求項1乃至4のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項9】
前記プレス板は前記取付板の下面に設置され、前記プレス板駆動装置はプレスシリンダとロッドとからなり、該ロッドの下端部が継ぎ手によって取付板に連結されている、請求項1乃至7のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項10】
前記継ぎ手がフリーシャンク継ぎ手である、請求項8あるいは9に記載の真空プレス硬化装置。
【請求項11】
前記気密機構がO−リングであり、前記下固定枠上端面と前記上移動枠下端面とがO−リングを介して気密に当接することによって真空チェンバが形成される、請求項1乃至10のいずれかの真空プレス硬化装置。
【請求項12】
前記気密摺動機構は、下固定枠の上端部に設けた摺動部と上移動枠の対応する下端部に設けた起動摺動部とから構成され、下固定枠上端部の気密摺動部と上移動枠下端部の気密摺動部とが気密に摺動することによって下固定枠と上移動枠との間に気密性が確保されるようになっている、請求項1乃至11のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項13】
前記サーボストッパを上下2段の上サーボストッパ部と下サーボストッパ部とに分割し、少なくとも上サーボストッパ部と前記受台と下固定枠とを基台上に設置したスライドテーブル上に配置し、スライドテーブルをスライドさせ上サーボストッパ部と下サーボストッパ部と係合あるいは分離可能となっている、請求項4乃至12のいずれかに記載の真空プレス硬化装置。
【請求項14】
前記被加工品がICカード、薄型ディスプレイ、燃料電池、太陽電池、実装回路基板、パッケージ素子、機能性新素材、層状半導体素子、層状有機EL等のフィルム積層状部材であり、該フィルム積層状部材の貼り合わせのために用いる、請求項1乃至13のいずれかの真空プレス硬化装置。
【請求項15】
(1)基台上に設置した被加工品の受台上に被加工品を配置し、
(2)該被加工品の回りに真空あるいはガス雰囲気チェンバを形成し、
(3)該真空あるいはガス雰囲気チェンバを真空あるいは所定のガス雰囲気とし、
(4)プレス駆動装置によって、該真空あるいはガス雰囲気チェンバ内で、プレス板を受台上の被加工品に当接させ、プレス板をさらに下降させることによって被加工品にプレス加工し、
(4)プレス加工の際に、受台及びプレス板の少なくともいずれか一方を介して被加工品を加熱または紫外線照射するとともに、
(5)サーボ機構およびサーボ機構制御装置を用いて、該プレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品に当接させ、受台の上面に対してプレス板の下面を平行に維持しつつ、あるいはプレス板を下降させてプレス板を受台上に設置した被加工品の一方側に当接させ傾斜した状態から平行状態に移行させた後平行状態に維持しつつプレス板による被加工品のプレス加工を行う、真空プレス硬化方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【公開番号】特開2006−136916(P2006−136916A)
【公開日】平成18年6月1日(2006.6.1)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2004−327776(P2004−327776)
【出願日】平成16年11月11日(2004.11.11)
【出願人】(391020665)ミカドテクノス株式会社 (4)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成18年6月1日(2006.6.1)
【国際特許分類】
【出願日】平成16年11月11日(2004.11.11)
【出願人】(391020665)ミカドテクノス株式会社 (4)
【Fターム(参考)】
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