【課題】第１部材と第２部材とを貼り合わせた貼り合わせ体における中央部とエッジ部の厚さにばらつきがなく、且つエッジ部の厚さが全周に亘って均一である貼り合わせ体を得ることができる貼り合わせ装置を提供する。
【解決手段】ウエハＷ１を上面に載置して保持する下部チャック１０と、下部チャック１０の上部に対向配置されウエハＷ２を保持する上部チャック１１と、下部チャック１０と上部チャック１１との間に形成される空間Ｓを減圧する吸気機構１８とを有し、上部チャック１１は、剛性を有するエッジ部１１ｂと、当該エッジ部１１ｂと分割され、エッジ部１１ｂに外周部が支持された保持部本体１１ａとを有し、保持部本体１１ａは、所定の圧力、例えば０．７気圧で当該保持部本体１１ａの中心部が撓む弾性体からなる。 （もっと読む）

【課題】真空中で接着層に空気の混入を防止しながら、微小な押圧力の調節を可能にして、適度な加圧下で接着剤がはみ出すのを極力抑え良好な厚みの接着層を形成し、素子を基板に真空加熱接合する。
【解決手段】駆動ユニットによって上枠部材12の下端部を下板部材6の周辺部に気密に摺動シールさせて内部に真空隔壁を形成し、加圧剥離フィルムを素子の上面に接触させ大気圧加熱下に軟化させ、真空チェンバー内を真空引きし、さらに下板部材6と中間部材10とを近接する方向に相対移動することによって、加圧剥離フィルムの外周部を下板部材6の基板置台上面と内方枠体13の下面との間に気密に保持した状態とし、真空チェンバー中の加圧剥離フィルム上方空間に大気圧あるいは大気圧より高い圧力をかけて、加圧剥離フィルムを基板及び素子の外表面に密着させて、素子を基板に接合する、真空加熱接合装置。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、シール部の寿命の低下を防止し、ひいては装置の稼働率の低下を防止できる接合装置及び接合方法を提供する。
【解決手段】加圧機構１４と、加圧機構１４からの加圧力の作用方向に複数配置され内部に熱源を有する熱盤部２６と、熱盤部２６の側方に設けられた枠体３０と、加圧力の作用方向に隣接する熱盤部同士が相互に積み重なることにより当該熱盤部間に形成された真空チャンバＣと、を有し、真空チャンバＣ内で貼り合せ用基材同士を熱盤部２６により熱圧着させて接合する接合装置１０であって、熱盤部２６と枠体３０との間に設けられ真空チャンバＣを気密に封止するシール部３４と、枠体３０に設けられ枠体３０及びシール部３４を冷却するための枠体冷却部３８と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】差圧検出、差圧解消用の駆動力の算出処理、差圧解消用の駆動機構を用いることなく差圧を相殺可能な機構を備えた真空プレス成形装置を提案すること。
【解決手段】真空プレス成形装置１のプレス機構５は、真空成形室２の底板２１に内外の差圧に応じてプレス方向に移動可能な第１受圧板２３を配置し、真空成形室２と同一の内圧に保持される補助真空室２５の天板２７に内外の差圧に応じてプレス方向に移動可能な第２受圧板２９を配置し、これらの受圧面を同一面積とすることにより、内外の差圧に起因してプレス用のエアーシリンダ１１の作動ロッド１４に作用する力を相殺している。これにより、プレス力を精度良く管理することができる。 （もっと読む）

【課題】被圧壊物を圧壊し易く分解し易い圧壊工具及び油圧圧壊装置の提供
【解決手段】油圧圧壊装置１の圧壊工具５７，６７は、油圧ポンプ機構２０から吐出される油の油圧により作動される油圧シリンダ機構５０，６０のピストン５３，６３に取付けられ該油圧シリンダ機構５０，６０が作動された際に突出して被圧壊物Ｗを圧壊する圧壊工具５７，６７であって、被圧壊物Ｗに突き刺さり得る先細の先端部５８ａ，６８ａと、該先端部５８ａ，６８ａの基端に形成された鍔状部５８ｂ，６８ｂであって、被圧壊物Ｗの表面に当接して該表面部を凹ませるもの５８ｂ，６８ｂとを有する。先細の先端部５８ａ，６８ａが、先端側の円錐状部５８ｃ，６８ｃと該円錐状部５８ｃ，６８ｃに連続的につながった基端側の円錐台状部５８ｄ，６８ｄとを備え、円錐状部５８ｃ，６８ｃの頂角が円錐台状部５８ｄ，６８ｄの頂角よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】カムシャフトを用いたハンドプレス機について、大型化を伴うことなく同レベルの入力でより大きなプレス力を発揮できるようにする。
【解決手段】カムシャフト３１とこれに接続された操作レバーと本体所定位置に設けられたワーク載置部であるベースプレート２２とその上方で上下にスライド動作可能に配置されたプレス体であるラムベース３３とを備え、操作レバーを手で所定方向に旋回させることにより回転したカムシャフト３１でラムベース３３を押し下げてベースプレート２２上面側に載置したワークに対しプレス動作を行うハンドプレス機であって、カムシャフト３１のカム部３１ａに、外周面に内周面を接しながら内周側と外周側との間で周方向の滑りを生じさせる管状のベアリング部品であるニードルベアリング３５ａ，３５ｂが設けられ、その外周面をラムベース３３上面に押圧しながらプレス動作を行うものとした。 （もっと読む）

【課題】複合基板の処理効率を高めかつ、品質のばらつきを防止できるプレス機構及び接合装置を提供する。
【解決手段】加圧手段２４により所定の荷重が付与される台座部２６、３０と、加熱手段を備えた熱盤部４０Ａ〜４０Ｅと、台座部２６、３０に付与された荷重を加圧力として熱盤部４０Ａ〜４０Ｅに伝達し、先端部と熱盤部４０Ａ〜４０Ｅとが固定されておらず先端部が自由端となる支持部２８、３２と、を備えた接合装置２０であって、熱盤部４０Ａ〜４０Ｅは、加圧力の作用方向に複数配置され、加圧力の作用方向に隣接する熱盤部同士が相互に積み重なることにより熱盤部間に真空チャンバが形成され、真空チャンバで複数の貼り合せ用基材を熱圧着させて接合する。 （もっと読む）

【課題】スリップ事故の発生を防止しまた成形製品の厚みのバラツキを抑えることが可能であり、且つ仕組み工程を止めることなく被加工物の成形を行うことが可能なプレス装置システムを提供する。
【解決手段】プレス装置システムが、熱盤間２１１，２１２，２１３に被加工物Ｐを挟んで加熱プレスする複数の加熱プレス装置２００Ａ〜Ｃと、複数の加熱プレス装置２００Ａ〜Ｃに対して被加工物Ｐの搬入及び搬出を行うローダと、複数の加熱プレス装置２００Ａ〜Ｃ及び前記ローダの制御を行う制御手段とを有し、制御手段は、複数の加熱プレス装置２００Ａ〜Ｃの１つで被加工物Ｐの加熱プレスを行っている間に、他の加熱プレス装置及び前記ローダを制御して、他の加熱プレス装置に対して被加工物の搬入及び搬出を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来の手動式カシメ機と比べてコンパクトな形状を有し、且つ、小さな力で、確実に、扁平形電池をカシメることができ、したがって、標準的なグローボックス内で好適に使用可能な扁平形電池用手動式カシメ機を提供する。
【解決手段】操作者によって回転される操作部８０と、操作部８０と連動して回転する入力軸４０と、入力軸４０の回転と連動して、一定軌道を所定のストロークで往復運動するスライド部材３０と、入力軸４０と歯車機構部７０を介して連結する出力軸４２と、出力軸４２とともに回転するクランク部材５０と、クランク部材５０及びスライド部材３０と連結するリンク機構部と、を備え、入力軸４０の回転トルクよりも、出力軸４２の回転トルクの方が大きくなるように歯車機構部７０を構成した。 （もっと読む）

【課題】ベルト路程ずれの修正が良好に行われるプレス機を提供する。
【解決手段】互いの間隔を変更可能な下側のプレスプレート３と上側のプレスプレート４とから開閉操作される少なくとも１つのプレス段１と、下側のプレスプレート３の周りを回動するとともに加工すべき加工物をプレス段１に対して搬出入するためのコンベアベルト５とを備え、この下側のプレスプレート３が、コンベアベルト５に対して張力の付与と弛緩とを行うテンショナー６とコンベアベルト路程修正手段とを有するプレス機。コンベアベルト路程修正手段がコンベアベルト５をコンベア進行方向に対して交差する方向にずらすためのずらし手段９を含む。ずらし手段９がテンショナー６と同期制御され、コンベアベルト５が弛緩状態でかつ停止状態である場合に路程修正動作を実施する。 （もっと読む）