【課題】騒音発生を低減させるコスト的に有利な構造を提供する。
【解決手段】本発明は、ガス入口と、ガス出口（５１）と、吸込室（１１）と、およびポンプ段ハウジング（１０）とを有するポンプ段（１７）を備えた潤滑剤シール式回転翼形油回転真空ポンプに関するものである。騒音発生を低減させるために、本発明は、吸込室（１１）およびガス出口の間に配置されている、ガス出口への通路（５０）の流出口の周りの少なくとも一部に溝（５４）が配置され、この溝内に、吸込室から投げ出された潤滑剤が受け取られ、これにより吸込室内への落下が阻止されることを提案する。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で且つ種々の取付姿勢に適した、転がり軸受への潤滑剤の供給装置を提供する。
【解決手段】本発明は、軸受モジュールが転がり軸受の外輪および潤滑剤貯蔵装置を含み、この場合、潤滑剤貯蔵装置は構造を有し、構造は軸側供給構造と滑り接触をなし、軸側供給構造は遠心力により潤滑剤を転がり軸受内に供給する、高速回転軸を有する真空ポンプ用軸受モジュールに関するものである。ターボ分子ポンプの種々の空間方向における位置決めの自由度を得るために、本発明は、転がり軸受に対して構造とは反対側にラジアル供給手段が配置され、ラジアル供給手段は、潤滑剤貯蔵装置内への潤滑剤の戻し供給を行うことを提案する。 （もっと読む）

【課題】消費動力を最小にするための技術的に簡単な解決方法を有する、コンパクトな真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、少なくとも２つのポンプ段と、モータと、モータ操作器と、および動力伝達ユニットとを備えた真空ポンプに関するものである。本発明は、さらに、２つのポンプ段と、モータを少なくとも２つの異なる回転速度で操作可能なモータ操作器とを備えた真空ポンプの運転方法に関するものである。回転速度を自動的に低下可能にするために、本発明は、ポンプ段の中間にガス圧力を検知する信号伝送器を設けることを提案する。本発明は、さらに、方法において、ガス圧力を検知する信号伝送器の信号を評価し且つこの信号に基づいて回転速度を設定することを提案する。 （もっと読む）

【課題】低真空側の転がり軸受の振動可能性および抵抗可能性という特に矛盾する要求を満たす真空ポンプの軸の支持装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ハウジングと、軸線方向に力を発生し且つ軸方向剛性を有する第１の軸受と、転がり軸受として形成され且つ軸方向および半径方向剛性を有するホルダ内に配置されている第２の軸受とを備えた真空ポンプの軸の支持装置に関するものである。第２の軸受に高い軸方向力が加えられたときに軸受の振動可能性が失われることを回避するために、前記ホルダが振動台および固定部を含み、この場合、振動台は、振動台の軸方向および半径方向運動を可能にするメタル結合要素を介して、ハウジング内に保持されている固定部と結合されていることと、および振動台と固定部との間に配置されている軸方向ばねにより、ホルダの軸方向における剛性がホルダの半径方向における剛性より大きく、この場合、ホルダの軸方向剛性が第１の軸受の軸方向剛性より大きいこととが提案される。 （もっと読む）

【課題】電動機のロータ部品とステータ部品との間に気密シール分離を設けた、できるだけ小さなモータ隙間を有する駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明は、モータ・ステータと、モータ・ロータと、モータ・ステータおよびモータ・ロータ間に配置されている、内側および外側を有する分離要素とを備えた真空ポンプ（１）用駆動装置に関するものである。モータ隙間を低減させるために、前記分離要素（９）が、円筒形の、同軸の、および軸方向に間隔をなして配置されている少なくとも２つの案内面内において支持され且つ心出しされた分離スリーブを含み、この場合、案内面は外側と接している。 （もっと読む）

【課題】電気信号案内部のフレキシブルな形態を許容し、真空に対して気密で且つ装着エラーのより少ない導通部の構造を可能にする分離要素を内部空間と周辺との間に有する、真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、周辺内に配置されている真空ポンプ（１）であって、真空ポンプ（１）が、ハウジング（２）、内部空間（８）および駆動装置（１１）を有し、駆動装置（１１）は、内部空間（８）内に配置されている電子／電気部品（９）を操作するための電子回路（１６）を含み、この場合、内部空間内に負圧が作用し、および真空ポンプ（１）が、内部空間と周辺とを相互に分離する分離要素を有している、駆動装置（１１）を有する真空ポンプ（１）に関するものである。電気信号の制御装置内への伝送をより簡単且つよりフレキシブルに形成するために、分離要素が、電流／電圧を内部空間内に導通するための手段（１２）を有するプリント回路板（１０）を含むことが開示される。 （もっと読む）

【課題】Ｌ形シール要素の利点を有し、しかも部品の摩耗を低減させる、ピストン真空ポンプのシリンダ／ピストン装置用シール装置を提供する。
【解決手段】本発明は、シリンダ内壁と、およびシリンダ（１）内に移動可能に支持されたピストン（２ａ、２ｂ、２ｃ）との間をシールするための、ピストン真空ポンプのシリンダ／ピストン装置用シール装置を提供する。Ｌ形シール要素（３）の寿命を増大させ且つ騒音発生を低減させるために、ピストンとシリンダとの間における、シール要素の、圧縮室（５）から離れた側において、ピストンにリング状案内要素（４）を配置することが開示される。 （もっと読む）

【課題】著しくコスト的に有利でしかもＵＨＶ（超高真空）に適している真空ハウジングを提供する。
【解決手段】本発明は円筒部分およびフランジを有する真空ハウジングに関するものである。超高真空用に適したフランジを低コストで製作するために、リング状で且つ真空ポンプの軸方向を向くナイフ・エッジを、少なくともその一部がフランジ面を形成する面上に有する第１のリングが、円筒部分と同心に配置され、および第１のリングが真空ポンプのハウジングより硬い材料からなることが提案される。 （もっと読む）

【課題】簡単な手段により正確でかつ再現可能な結果を提供し、しかも従来の欠点を回避した、ロータ温度の非接触式測定装置を提供する。
【解決手段】本発明は、ロータ温度の非接触式測定装置に関するものである。この装置は、ロータおよびステータと、ロータ上の磁石およびステータに配置した電気コイルと、これらのコイルにかかる電圧を測定するための電子手段と、およびロータを回転させる駆動装置とを含む。温度範囲内の測定もまた可能な改善した温度測定を可能にするために、磁石によってコイルに誘導された電圧を測定し、そしてこの電圧を温度に比例した信号に変換することを提案する。 （もっと読む）

【課題】真空ポンプおよび制御電子装置の自由な組み合わせ可能性が与えられ且つ確実な超過回転速度保護が保証されている真空ポンプ装置を提供する。
【解決手段】真空ポンプ（１）および制御ユニット（２）を備えた真空ポンプ装置であって、この場合、真空ポンプが、永久磁石で励起されるロータを備えたブラシレス多相同期電動機（３）を有し、およびこの場合、制御ユニットが、駆動マイクロ・コントローラ（５）および最終段（６ａ、６ｂ）を含み、およびモータの回転速度をモニタリングする第２のマイクロ・コントローラを備えた前記真空ポンプが開示される。異なる制御ユニットおよび真空ポンプの組み合わせ可能性を可能にし且つ超過回転速度に対する確実な保護を保証するために、最高回転速度の超過を検出したときに最終段（６ａ、６ｂ）を遮断する第２のマイクロ・コントローラ（７）が制御ユニット内に配置され、および真空ポンプがポンプ・タイプ識別手段（４）を有していることが開示される。 （もっと読む）