【課題】従来技術の欠点を回避する、センサのない正弦波整流同期電動機の冗長回転速度モニタ装置を提供する。
【解決手段】本発明は、永久磁石で励起されるロータを備えたセンサのない正弦波整流同期電動機の冗長回転速度モニタ装置であって、第１の制御ユニットと、駆動最終段と、および複数の駆動相とを有する前記冗長回転速度モニタ装置に関するものである。回転速度センサの使用を回避するために、第２の制御ユニットが少なくとも１つの駆動相の電気変数をモニタリングし、および結線が第２の制御ユニットと駆動最終段との間に形成され、エラーのある回転速度状態が検出されたとき、第２の制御ユニットが結線を介して駆動最終段を遮断することが開示される。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を回避し、特により低コストの製作工具の使用を可能にし、およびステータ・ディスクのより高い精度を達成する、ターボ分子ポンプ用ステータ・ディスクを提供する。
【解決手段】本発明は、ステータ・ディスクの羽根がディスク平面から外方へ起こされ、この場合、ステータ・ディスクが、内側リング、外側リングおよび羽根とリングとの間の結合部を有する、ターボ分子ポンプ用ステータ・ディスクに関するものである。追加加工ステップを必要とし且つ達成可能な寸法精度を低下させる材料内の応力を回避するために、羽根とリングとの間にウェブを設けることが提案される。 （もっと読む）

【課題】高価な手段を用いることなく、したがって全体としてコスト的に有利に、真空ポンプ内部と真空ポンプ周囲との間の著しく改善された磁気減結合を達成する。
【解決手段】本発明は、真空ポンプがそれにより外部空間から磁気減結合される、真空ポンプにより使用される破損防止装置に関するものである。真空ポンプの吸込フランジ開口を覆う破損防止装置の構造部分を、高い相対透磁率係数μ_ｒを有する材料から製作することが提案される。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を解消する、きわめて高い排気速度を有する真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、１つのフランジ（２）と、少なくとも２つのガス流入開口（４）と、少なくとも１つのガス流出開口（５）と、少なくとも２つのロータ軸（６）であって、ロータ軸（６）はそれぞれ回転ポンプ作用構造部分（７）を支持し、回転ポンプ作用構造部分（７）はそれぞれ固定ポンプ作用構造部分（８）と向かい合っている前記ロータ軸（６）と、少なくとも１つのハウジング下部部分（９）と、フランジ（２）を支持するハウジング上部部分（１０）と、ロータ軸（６）を回転させる駆動手段（１１）とを有する真空ポンプ（１）に関するものである。全てのガス流入開口（４）がフランジ（２）の内部に存在し、およびフランジ（２）が共通ハウジング上部部分（１０）に配置されている。 （もっと読む）