【課題】真空ポンプをコンパクトに形成する。
【解決手段】第１の入口８０および第２の入口８２を有するハウジング４０と、および第１のポンプ段６０および第２のポンプ段７０と、を備えた真空ポンプであって、真空ポンプは、ガスが第１の入口８０を通過して第１のポンプ段６０内に到達するように、および、第２の入口８２を通過して第２のポンプ段７０内に到達したガスが、はじめに第２のポンプ段７０により圧縮され、次に第１のポンプ段６０により圧縮されるように形成されてい。コンパクトな真空ポンプを得るために、第２のポンプ段７０がホルベック（Ｈｏｌｗｅｃｋ）ポンプ段を含むことが提案される。 （もっと読む）

【課題】ロータ本体が破壊し、その中に蓄積されたエネルギーが急激にハウジングに放出されるいわゆる破裂が発生したときの危険を回避する。
【解決手段】軸は第１のロータ構造部分１０１を支持し、第１のロータ構造部分はロータ羽根リング１１９および羽根１２３を含む。第１のロータ構造部分１０１はさらにロータ・スリーブ１２７を支持し、凹部１３０を有している。凹部１３０は、軸方向および半径方向に伸長して中空空間を形成する。軸方向に伸張し、かつ半径方向内側に存在する凹部、即ち中間空間が形成されるように対称回転軸線から半径方向に伸張する凹部を有することにより、破片の大きさを低減し、かつ破壊過程を長引かせる。 （もっと読む）

【課題】サイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と、同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する、真空ポンプを提供する。
【解決手段】ガス入口、ガス出口およびサイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプであって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部と少なくとも１つの羽根４０２を設けた回転運動させられる羽根車を含み、この場合、前記羽根は、運動方向４０７において後方に位置する、外側角部４０８を設けた後部４０５を有する。簡単な製造可能性において真空特性値を改善するために、前記羽根が前記後部の前記外側角部に面取り部４０６を有する。 （もっと読む）

【課題】サイド・チャネル・ポンプ段が、改善された真空特性値と同時に、ポンプ能動部品の簡単に製造可能な形状とを有する真空ポンプを提供する
【解決手段】ガス入口、ガス出口およびサイド・チャネル・ポンプ段を備えた真空ポンプであって、前記サイド・チャネル・ポンプ段は、外周部を設けた回転運動させられる羽根車を含み、前記羽根車は第１の部分羽根６２１および第２の部分羽根６２２を設けた羽根６０２を有し、前記羽根は羽根車の外周部に配置されている。改善された真空特性値および同時に簡単に製造可能なポンプ能動部品の形状を達成させるために、少なくとも１つの部分羽根６２１、６２２と羽根の運動方向６０７との間の角度６１５が９０°より小さい値であることが提案される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で延長された有効寿命を有する真空ポンプと有効寿命を延長させる真空ポンプの簡単な運転方法を提供する。
【解決手段】少なくとも１つのポンプ段１２および前記ポンプ段を駆動するモータ１４を含む真空ポンプ１０と通電装置２１とを備えた装置で、ポンプ段の部品の摩耗を低減させるために、前記装置が、電気運転変数を決定するための測定装置２４を有している。本発明は、さらに、モータ１４を備えた真空ポンプ１０の運転方法に関するものである。ここでは、前記モータの電力消費量が測定され、および前記電力消費量が低下したときに前記モータの回転速度を低下することが提案される。 （もっと読む）

【課題】大気圧から１０−４ｍｂａｒ以下の高真空に至るまでの全ての圧力範囲をカバーするコンパクト且つ簡単な構造を有している真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸と、第１および第２のラジアル軸受と、およびポンプ装置とを備えた真空ポンプであって、前記ラジアル軸受が動的ガス軸受を含む。前記ポンプ装置が前記ガス軸受間に配置され、且つ２つのポンプ・セクションを有し、前記２つのポンプ・セクションはそれぞれ、前記ガス軸受のいずれかの方向にガスを供給するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】より少ない電力消費を有する回転翼形油回転真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、軸（５）と、翼板（１１、１２）と、軸に対して同軸の円筒面（３３）を含むラジアル滑り軸受（７、８）と、および駆動装置（１４、１５）とを備えた回転翼形油回転真空ポンプ（１）に関するものである。回転速度が低下された運転が可能なように軸受の流体力学的特性を変化させるために、前記円筒面が、軸中心線に対する間隔が増大された外面（４１、４１′、４１′′）をもつ少なくとも１つの凹部（３０、３０′、３０′′）を有することが提案される。 （もっと読む）

【課題】より多量の蒸気成分を有するガス／蒸気混合物を大気に向けて圧縮可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、大気に向けて圧縮する最終ポンプ段（２；２１４）および冷却装置（７；２０７）を備えた真空ポンプ（１；２０１）と、およびこのような真空ポンプの運転方法とに関するものである。ガス／蒸気混合物内においてより多量の蒸気成分を供給するために、本発明は、真空ポンプが、前記冷却装置の冷却量を設定するための運転電子装置（８；２０８）と、および前記運転電子装置と結合されている温度センサ（１３；２１３）と、を有することを提案する。本方法は、温度が測定されること、それに続いて必要な冷却が決定されること、および次に決定された冷却が設定されることを実行する。 （もっと読む）

【課題】ロータ・ステータ・クラッシュの場合においても真空気密性が保持されたままである、高速回転ロータを有する真空ポンプを備えた装置を提供する。
【解決手段】本発明は、高速回転ロータ（２）およびステータ（３）とを有する真空ポンプ(１)と、室フランジ（５）を備えた真空室（４）と、および真空ポンプおよび真空室間に設けられている中間構造部分（６）とを備え、この場合、真空室、真空ポンプおよび中間構造部分が着脱可能に相互に結合されている、装置に関するものである。大きなトルクを真空室に確実に伝達可能な結合を提供するために、真空ポンプが、クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能に室フランジ（５）と結合されている結合手段（７）に配置されていることが提案される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で且つ信頼性の高い潤滑剤ポンプを提供する。
【解決手段】本発明は、高速回転構造部分を支持するために使用される転がり軸受と、少なくとも１つのポンプ作用発生構造を有するロータ（４）を含む潤滑剤ポンプと、およびその中に転がり軸受および潤滑剤ポンプが配置されている閉じた潤滑剤循環回路と、を備えた真空ポンプに関するものである。本発明は、前記ロータが、前記潤滑剤循環回路内に配置されている中空軸（９）上に回転可能に支持されていることを提案する。 （もっと読む）